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Common ResourceID and IsViewerFile Test data and vba
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vendored
Normal file
@ -0,0 +1,176 @@
|
||||
{
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||||
"Id": -1,
|
||||
"AreaCountAvg": "1",
|
||||
"AreaCountMax": "1",
|
||||
"AreaCountMin": "1",
|
||||
"AreaCountStdDev": "0",
|
||||
"AreaTotalAvg": "0.10",
|
||||
"AreaTotalMax": "0.21",
|
||||
"AreaTotalMin": "0.019",
|
||||
"AreaTotalStdDev": "0.10",
|
||||
"Date": "4/24/2025 4:46:29 PM",
|
||||
"HazeAverageAvg": "1.15",
|
||||
"HazeAverageMax": "1.18",
|
||||
"HazeAverageMin": "1.12",
|
||||
"HazeAverageStdDev": "0.0291",
|
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"HazeRegionAvg": "100",
|
||||
"HazeRegionMax": "100",
|
||||
"HazeRegionMin": "100",
|
||||
"HazeRegionStdDev": "0",
|
||||
"Layer": null,
|
||||
"LotID": "667227",
|
||||
"LPDCM2Avg": "0.013",
|
||||
"LPDCM2Max": "0.019",
|
||||
"LPDCM2Min": "0.006",
|
||||
"LPDCM2StdDev": "0.006",
|
||||
"LPDCountAvg": "2",
|
||||
"LPDCountMax": "3",
|
||||
"LPDCountMin": "1",
|
||||
"LPDCountStdDev": "1",
|
||||
"Operator": "",
|
||||
"ParseErrorText": "ParseErrorText",
|
||||
"PSN": "5142",
|
||||
"RDS": "667227",
|
||||
"Reactor": "36",
|
||||
"Recipe": "6IN_THIN ROTR",
|
||||
"ScratchCountAvg": "0.3",
|
||||
"ScratchCountMax": "1",
|
||||
"ScratchCountMin": "0",
|
||||
"ScratchCountStdDev": "0.6",
|
||||
"ScratchTotalAvg": "0.34",
|
||||
"ScratchTotalMax": "1.02",
|
||||
"ScratchTotalMin": "0",
|
||||
"ScratchTotalStdDev": "0.59",
|
||||
"SumOfDefectsAvg": "3",
|
||||
"SumOfDefectsMax": "4",
|
||||
"SumOfDefectsMin": "2",
|
||||
"SumOfDefectsStdDev": "1",
|
||||
"Title": null,
|
||||
"UniqueId": "TENCOR1_1T667227_202504241646295374",
|
||||
"Zone": null,
|
||||
"CellName": "TENCOR1",
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"Data": "*Data*",
|
||||
"i": -1,
|
||||
"Details": [
|
||||
{
|
||||
"Id": 0,
|
||||
"AreaCount": "1",
|
||||
"AreaTotal": "0.0716mm2",
|
||||
"Bin1": "2",
|
||||
"Bin2": "1",
|
||||
"Bin3": "0",
|
||||
"Bin4": "0",
|
||||
"Bin5": "0",
|
||||
"Bin6": "0",
|
||||
"Bin7": null,
|
||||
"Bin8": null,
|
||||
"Comments": "- High Thruput",
|
||||
"Date": "4/24/2025 4:46:29 PM",
|
||||
"Diameter": "150 mm",
|
||||
"Exclusion": "4mm",
|
||||
"Gain": "4",
|
||||
"HazeAverage": "1.16ppm",
|
||||
"HazePeak": "25.5ppm",
|
||||
"HazeRegion": "100%",
|
||||
"HazeRng": "500ppm",
|
||||
"HeaderUniqueId": "TENCOR1_1T667227_202504241646295374",
|
||||
"LPDCM2": "0.019",
|
||||
"LPDCount": "3",
|
||||
"Laser": "488nm",
|
||||
"Mean": "0.252",
|
||||
"Recipe": "6IN_THIN ROTR",
|
||||
"ScratchCount": "1",
|
||||
"ScratchTotal": "1.02mm",
|
||||
"Slot": "01",
|
||||
"Sort": "PASS",
|
||||
"StdDev": "0.043",
|
||||
"SumOfDefects": "4",
|
||||
"Thresh": "0.200um",
|
||||
"Thruput": "Normal",
|
||||
"Title": null,
|
||||
"UniqueId": "TENCOR1_1T667227_202504241646295374_Item-1",
|
||||
"Data": "*Data*",
|
||||
"i": -1
|
||||
},
|
||||
{
|
||||
"Id": 0,
|
||||
"AreaCount": "1",
|
||||
"AreaTotal": "0.0195mm2",
|
||||
"Bin1": "1",
|
||||
"Bin2": "0",
|
||||
"Bin3": "0",
|
||||
"Bin4": "0",
|
||||
"Bin5": "1",
|
||||
"Bin6": "0",
|
||||
"Bin7": null,
|
||||
"Bin8": null,
|
||||
"Comments": "- High Thruput",
|
||||
"Date": "4/24/2025 4:46:29 PM",
|
||||
"Diameter": "150 mm",
|
||||
"Exclusion": "4mm",
|
||||
"Gain": "4",
|
||||
"HazeAverage": "1.18ppm",
|
||||
"HazePeak": "25.0ppm",
|
||||
"HazeRegion": "100%",
|
||||
"HazeRng": "500ppm",
|
||||
"HeaderUniqueId": "TENCOR1_1T667227_202504241646295374",
|
||||
"LPDCM2": "0.013",
|
||||
"LPDCount": "2",
|
||||
"Laser": "488nm",
|
||||
"Mean": "1.32",
|
||||
"Recipe": "6IN_THIN ROTR",
|
||||
"ScratchCount": "0",
|
||||
"ScratchTotal": "0mm",
|
||||
"Slot": "15",
|
||||
"Sort": "PASS",
|
||||
"StdDev": "1.54",
|
||||
"SumOfDefects": "3",
|
||||
"Thresh": "0.200um",
|
||||
"Thruput": "Normal",
|
||||
"Title": null,
|
||||
"UniqueId": "TENCOR1_1T667227_202504241646295374_Item-2",
|
||||
"Data": "*Data*",
|
||||
"i": -1
|
||||
},
|
||||
{
|
||||
"Id": 0,
|
||||
"AreaCount": "1",
|
||||
"AreaTotal": "0.213mm2",
|
||||
"Bin1": "0",
|
||||
"Bin2": "1",
|
||||
"Bin3": "0",
|
||||
"Bin4": "0",
|
||||
"Bin5": "0",
|
||||
"Bin6": "0",
|
||||
"Bin7": null,
|
||||
"Bin8": null,
|
||||
"Comments": "- High Thruput",
|
||||
"Date": "4/24/2025 4:46:29 PM",
|
||||
"Diameter": "150 mm",
|
||||
"Exclusion": "4mm",
|
||||
"Gain": "4",
|
||||
"HazeAverage": "1.12ppm",
|
||||
"HazePeak": "22.5ppm",
|
||||
"HazeRegion": "100%",
|
||||
"HazeRng": "500ppm",
|
||||
"HeaderUniqueId": "TENCOR1_1T667227_202504241646295374",
|
||||
"LPDCM2": "0.006",
|
||||
"LPDCount": "1",
|
||||
"Laser": "488nm",
|
||||
"Mean": "0.307",
|
||||
"Recipe": "6IN_THIN ROTR",
|
||||
"ScratchCount": "0",
|
||||
"ScratchTotal": "0mm",
|
||||
"Slot": "25",
|
||||
"Sort": "PASS",
|
||||
"StdDev": "0.000",
|
||||
"SumOfDefects": "2",
|
||||
"Thresh": "0.200um",
|
||||
"Thruput": "Normal",
|
||||
"Title": null,
|
||||
"UniqueId": "TENCOR1_1T667227_202504241646295374_Item-3",
|
||||
"Data": "*Data*",
|
||||
"i": -1
|
||||
}
|
||||
]
|
||||
}
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