182 lines
5.6 KiB
JSON
182 lines
5.6 KiB
JSON
{
|
|
"header": {
|
|
"version": 1,
|
|
"type": "record"
|
|
},
|
|
"body": {
|
|
"record1": {
|
|
"<1>": "-2",
|
|
"<2>": "-2",
|
|
"<3>": "-1",
|
|
"<4>": "-1",
|
|
"<5>": "16777215",
|
|
"<6>": {
|
|
"<6,1>": {
|
|
"<6,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<6,1,2>": "-11",
|
|
"<6,1,3>": "400",
|
|
"<6,1,4>": "0",
|
|
"<6,1,5>": "0",
|
|
"<6,1,6>": "0",
|
|
"<6,1,7>": "0",
|
|
"<6,1,8>": "34",
|
|
"<6,1,9>": "0",
|
|
"<6,1,10>": "1",
|
|
"<6,1,11>": "2",
|
|
"<6,1,12>": "1",
|
|
"<6,1,13>": "0",
|
|
"<6,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<7>": "",
|
|
"<8>": {
|
|
"<8,1>": {
|
|
"<8,1,1>": "VER",
|
|
"<8,1,2>": "Verify"
|
|
},
|
|
"<8,2>": {
|
|
"<8,2,1>": "PREI",
|
|
"<8,2,2>": "Pre-Epi Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,3>": {
|
|
"<8,3,1>": "PREC",
|
|
"<8,3,2>": "Pre-Epi Clean"
|
|
},
|
|
"<8,4>": {
|
|
"<8,4,1>": "PRES",
|
|
"<8,4,2>": " Pre-Epi SurfScan "
|
|
},
|
|
"<8,5>": {
|
|
"<8,5,1>": "LOAD",
|
|
"<8,5,2>": "Load"
|
|
},
|
|
"<8,6>": {
|
|
"<8,6,1>": "FWII",
|
|
"<8,6,2>": "First Wfr Inspection "
|
|
},
|
|
"<8,7>": {
|
|
"<8,7,1>": "FWIS",
|
|
"<8,7,2>": "First Wfr SurfScan"
|
|
},
|
|
"<8,8>": {
|
|
"<8,8,1>": "UNLOAD",
|
|
"<8,8,2>": "Unload"
|
|
},
|
|
"<8,9>": {
|
|
"<8,9,1>": "LWIC",
|
|
"<8,9,2>": "Last Wfr Clean"
|
|
},
|
|
"<8,10>": {
|
|
"<8,10,1>": "LWII",
|
|
"<8,10,2>": "Last Wfr Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,11>": {
|
|
"<8,11,1>": "LWIS",
|
|
"<8,11,2>": "Last Wfr Surfscan"
|
|
},
|
|
"<8,12>": {
|
|
"<8,12,1>": "PSTC",
|
|
"<8,12,2>": " Post Clean"
|
|
},
|
|
"<8,13>": {
|
|
"<8,13,1>": "PSTI",
|
|
"<8,13,2>": "Post-Epi Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,14>": {
|
|
"<8,14,1>": "PSTS",
|
|
"<8,14,2>": "Post-Epi SurfScan"
|
|
},
|
|
"<8,15>": {
|
|
"<8,15,1>": "QA",
|
|
"<8,15,2>": "Final QA"
|
|
},
|
|
"<8,16>": {
|
|
"<8,16,1>": "COMP",
|
|
"<8,16,2>": "Processing Complete"
|
|
},
|
|
"<8,17>": {
|
|
"<8,17,1>": "WFRI",
|
|
"<8,17,2>": "Wafer Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,18>": {
|
|
"<8,18,1>": "WFRS",
|
|
"<8,18,2>": "Wafer Surfscan"
|
|
},
|
|
"<8,19>": {
|
|
"<8,19,1>": "HOLD",
|
|
"<8,19,2>": "On Hold"
|
|
},
|
|
"<8,20>": {
|
|
"<8,20,1>": "SPEC",
|
|
"<8,20,2>": "Out of Spec"
|
|
},
|
|
"<8,21>": {
|
|
"<8,21,1>": "NCR",
|
|
"<8,21,2>": "Open NCR"
|
|
},
|
|
"<8,22>": {
|
|
"<8,22,1>": "MET",
|
|
"<8,22,2>": "Incomplete Metrology"
|
|
},
|
|
"<8,23>": {
|
|
"<8,23,1>": "PSV",
|
|
"<8,23,2>": "Pre Ship Verification"
|
|
},
|
|
"<8,24>": "",
|
|
"<8,25>": ""
|
|
},
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "1",
|
|
"<9,1,2>": "10",
|
|
"<9,1,3>": "C",
|
|
"<9,1,4>": "C",
|
|
"<9,1,5>": "",
|
|
"<9,1,6>": "Code"
|
|
},
|
|
"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "2",
|
|
"<9,2,2>": "30",
|
|
"<9,2,3>": "L",
|
|
"<9,2,4>": "C",
|
|
"<9,2,5>": "",
|
|
"<9,2,6>": "Current Status Description"
|
|
},
|
|
"<9,3>": {
|
|
"<9,3,1>": "",
|
|
"<9,3,2>": "",
|
|
"<9,3,3>": "",
|
|
"<9,3,4>": "",
|
|
"<9,3,5>": "",
|
|
"<9,3,6>": ""
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": "L",
|
|
"<11>": "1",
|
|
"<12>": "RDS Current Status Codes",
|
|
"<13>": "1",
|
|
"<14>": "F",
|
|
"<15>": "1",
|
|
"<16>": "1",
|
|
"<17>": "1",
|
|
"<18>": "1",
|
|
"<19>": "1",
|
|
"<20>": "1",
|
|
"<21>": "1",
|
|
"<22>": "0",
|
|
"<23>": "0",
|
|
"<24>": "0",
|
|
"<25>": "0",
|
|
"<26>": "",
|
|
"<27>": "",
|
|
"<28>": "",
|
|
"<29>": "0",
|
|
"<30>": "1",
|
|
"<31>": "0",
|
|
"<32>": "0",
|
|
"<33>": "0",
|
|
"<34>": "16777215",
|
|
"<35>": "16777215"
|
|
}
|
|
}
|
|
} |