177 lines
5.7 KiB
JSON
177 lines
5.7 KiB
JSON
{
|
|
"header": {
|
|
"version": 1,
|
|
"type": "record"
|
|
},
|
|
"body": {
|
|
"record1": {
|
|
"<1>": "-1",
|
|
"<2>": "-1",
|
|
"<3>": "-1",
|
|
"<4>": "-1",
|
|
"<5>": "16777215",
|
|
"<6>": {
|
|
"<6,1>": {
|
|
"<6,1,1>": "Tahoma",
|
|
"<6,1,2>": "-12",
|
|
"<6,1,3>": "400",
|
|
"<6,1,4>": "0",
|
|
"<6,1,5>": "0",
|
|
"<6,1,6>": "0",
|
|
"<6,1,7>": "0",
|
|
"<6,1,8>": "34",
|
|
"<6,1,9>": "0",
|
|
"<6,1,10>": "3",
|
|
"<6,1,11>": "2",
|
|
"<6,1,12>": "1",
|
|
"<6,1,13>": "11",
|
|
"<6,1,14>": "2",
|
|
"<6,1,15>": "0",
|
|
"<6,1,16>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<7>": "WO_WFR_AUDIT",
|
|
"<8>": "WITH WFR_ID \"163138.1.3\" BY EVENT_DTM",
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "WFR_ID",
|
|
"<9,1,2>": "12",
|
|
"<9,1,3>": "C",
|
|
"<9,1,4>": "C",
|
|
"<9,1,5>": "",
|
|
"<9,1,6>": "Wafer Id"
|
|
},
|
|
"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "EVENT_DTM",
|
|
"<9,2,2>": "16",
|
|
"<9,2,3>": "C",
|
|
"<9,2,4>": "C",
|
|
"<9,2,5>": "DT4^S",
|
|
"<9,2,6>": "Event Dtm"
|
|
},
|
|
"<9,3>": {
|
|
"<9,3,1>": "EVENT_BY",
|
|
"<9,3,2>": "14",
|
|
"<9,3,3>": "L",
|
|
"<9,3,4>": "C",
|
|
"<9,3,5>": "",
|
|
"<9,3,6>": "Event By"
|
|
},
|
|
"<9,4>": {
|
|
"<9,4,1>": "EVENT",
|
|
"<9,4,2>": "10",
|
|
"<9,4,3>": "L",
|
|
"<9,4,4>": "C",
|
|
"<9,4,5>": "",
|
|
"<9,4,6>": "Event"
|
|
},
|
|
"<9,5>": {
|
|
"<9,5,1>": "CURR_SLOT_ID",
|
|
"<9,5,2>": "12",
|
|
"<9,5,3>": "C",
|
|
"<9,5,4>": "C",
|
|
"<9,5,5>": "",
|
|
"<9,5,6>": "Curr Slot Id"
|
|
},
|
|
"<9,6>": {
|
|
"<9,6,1>": "NEW_SLOT_ID",
|
|
"<9,6,2>": "12",
|
|
"<9,6,3>": "C",
|
|
"<9,6,4>": "C",
|
|
"<9,6,5>": "",
|
|
"<9,6,6>": "New Slot Id"
|
|
},
|
|
"<9,7>": {
|
|
"<9,7,1>": "CURR_TOOL_ID",
|
|
"<9,7,2>": "10",
|
|
"<9,7,3>": "C",
|
|
"<9,7,4>": "C",
|
|
"<9,7,5>": "",
|
|
"<9,7,6>": "Curr Tool Id"
|
|
},
|
|
"<9,8>": {
|
|
"<9,8,1>": "NEW_TOOL_ID",
|
|
"<9,8,2>": "10",
|
|
"<9,8,3>": "C",
|
|
"<9,8,4>": "C",
|
|
"<9,8,5>": "",
|
|
"<9,8,6>": "New Tool Id"
|
|
},
|
|
"<9,9>": {
|
|
"<9,9,1>": "CURR_INV_LOC",
|
|
"<9,9,2>": "12",
|
|
"<9,9,3>": "L",
|
|
"<9,9,4>": "C",
|
|
"<9,9,5>": "",
|
|
"<9,9,6>": "Curr Inv Loc"
|
|
},
|
|
"<9,10>": {
|
|
"<9,10,1>": "NEW_INV_LOC",
|
|
"<9,10,2>": "12",
|
|
"<9,10,3>": "L",
|
|
"<9,10,4>": "C",
|
|
"<9,10,5>": "",
|
|
"<9,10,6>": "New Inv Loc"
|
|
},
|
|
"<9,11>": {
|
|
"<9,11,1>": "RUN_LOC",
|
|
"<9,11,2>": "12",
|
|
"<9,11,3>": "L",
|
|
"<9,11,4>": "C",
|
|
"<9,11,5>": "",
|
|
"<9,11,6>": "Run Loc"
|
|
},
|
|
"<9,12>": {
|
|
"<9,12,1>": "SCRIBE",
|
|
"<9,12,2>": "16",
|
|
"<9,12,3>": "L",
|
|
"<9,12,4>": "C",
|
|
"<9,12,5>": "",
|
|
"<9,12,6>": "Scribe"
|
|
},
|
|
"<9,13>": {
|
|
"<9,13,1>": "TW_USE",
|
|
"<9,13,2>": "14",
|
|
"<9,13,3>": "L",
|
|
"<9,13,4>": "C",
|
|
"<9,13,5>": "",
|
|
"<9,13,6>": "Tw Use"
|
|
},
|
|
"<9,14>": {
|
|
"<9,14,1>": "NCR_NO",
|
|
"<9,14,2>": "10",
|
|
"<9,14,3>": "L",
|
|
"<9,14,4>": "C",
|
|
"<9,14,5>": "",
|
|
"<9,14,6>": "NCR No"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": "T",
|
|
"<11>": "1",
|
|
"<12>": "WO Wfr Audit",
|
|
"<13>": "1",
|
|
"<14>": "F",
|
|
"<15>": "1",
|
|
"<16>": "1",
|
|
"<17>": "1",
|
|
"<18>": "1",
|
|
"<19>": "1",
|
|
"<20>": "1",
|
|
"<21>": "1",
|
|
"<22>": "0",
|
|
"<23>": "0",
|
|
"<24>": "0",
|
|
"<25>": "0",
|
|
"<26>": "",
|
|
"<27>": "",
|
|
"<28>": "",
|
|
"<29>": "0",
|
|
"<30>": "1",
|
|
"<31>": "0",
|
|
"<32>": "0",
|
|
"<33>": "1",
|
|
"<34>": "16777215",
|
|
"<35>": "16777215"
|
|
}
|
|
}
|
|
} |