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5.7 KiB
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"<8,2>": {
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"<8,2,1>": "Elevator",
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"<8,2,2>": "Elevator"
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"<8,3>": {
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"<8,3,1>": "Foxboro",
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"<8,3,2>": "Foxboro Controller"
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"<8,4>": {
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"<8,4,1>": "Gas",
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"<8,4,2>": "Gas Panel"
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"<8,5>": {
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"<8,6>": {
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"<8,6,1>": "Rotation",
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"<8,6,2>": "Susceptor Rotation"
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"<8,7,1>": "SPurge",
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"<8,8>": {
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"<8,8,1>": "Transfer",
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"<8,8,2>": "Wafer Transfer"
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"<8,9>": {
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"<8,9,1>": "Tube",
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"<8,9,2>": "Tube"
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|
},
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"<8,10>": {
|
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"<8,10,1>": "Vent",
|
|
"<8,10,2>": "Vent"
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|
},
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"<8,11>": {
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"<8,11,1>": "Z-Motion",
|
|
"<8,11,2>": "Z-Motion "
|
|
},
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"<8,12>": {
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"<8,12,1>": "N2",
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"<8,12,2>": "Nitrogen"
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"<8,13>": {
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"<8,13,1>": "H2",
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"<8,13,2>": "Hydrogen"
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|
},
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"<8,14>": {
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"<8,15,1>": "DCS",
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},
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"<8,16>": {
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"<8,16,1>": "TCS",
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"<8,16,2>": "Trichlorosilane"
|
|
},
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"<8,17>": {
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"<8,17,1>": "P Type",
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"<8,17,2>": "P Type Dopant"
|
|
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"<8,18>": {
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"<8,18,1>": "N Type",
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"<8,18,2>": "N Type Dopant"
|
|
},
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"<8,19>": {
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"<8,19,1>": "RP",
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"<8,19,2>": "Reduced Pressure"
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"<8,20>": {
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"<8,20,1>": "Power",
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"<8,20,2>": "Power Supply"
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|
},
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"<8,21>": {
|
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"<8,21,1>": "Water",
|
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"<8,21,2>": "Water Supply"
|
|
},
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"<8,22>": {
|
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"<8,22,1>": "Spares",
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"<8,22,2>": "Storeroom"
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},
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"<8,23>": {
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"<8,23,1>": "General",
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"<8,23,2>": "General "
|
|
},
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"<8,24>": {
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"<8,24,1>": "Doc",
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"<8,24,2>": "Documentation"
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"<9>": {
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"<9,1>": {
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"<9,1,1>": "1",
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"<9,1,3>": "C",
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"<9,1,4>": "L",
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"<9,1,6>": "Code"
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"<9,2,3>": "L",
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"<9,2,4>": "L",
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"<9,2,5>": "",
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"<9,2,6>": "Description"
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"<9,3,6>": ""
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"<10>": "L",
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"<11>": "1",
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"<12>": "Reactor Systems",
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"<35>": "16777215"
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