117 lines
3.5 KiB
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{
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"header": {
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"version": 1,
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"type": "record"
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},
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"body": {
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"record1": {
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"<1>": "-2",
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"<3>": "-1",
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"<4>": "-1",
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"<5>": "16777215",
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"<6>": {
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"<6,1>": {
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"<6,1,1>": "MS Sans Serif",
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"<6,1,2>": "-11",
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"<6,1,3>": "700",
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"<6,1,4>": "0",
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"<6,1,5>": "0",
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"<6,1,6>": "6",
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"<6,1,7>": "0",
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"<6,1,8>": "33",
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"<6,1,9>": "0",
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"<6,1,10>": "0",
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"<6,1,11>": "0",
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"<6,1,12>": "0",
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"<6,1,13>": "11",
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"<6,1,14>": "2",
|
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"<6,1,15>": "0",
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"<6,1,16>": "12"
|
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}
|
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},
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"<7>": "",
|
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"<8>": {
|
|
"<8,1>": {
|
|
"<8,1,1>": "N2 Purge Cylinder",
|
|
"<8,1,2>": "N2 Purge Cylinder"
|
|
},
|
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"<8,2>": {
|
|
"<8,2,1>": "Arsine Change",
|
|
"<8,2,2>": "E"
|
|
},
|
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"<8,3>": {
|
|
"<8,3,1>": "Diborine Change",
|
|
"<8,3,2>": "D"
|
|
},
|
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"<8,4>": {
|
|
"<8,4,1>": "Diclorosilane Change",
|
|
"<8,4,2>": "C"
|
|
},
|
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"<8,5>": {
|
|
"<8,5,1>": "Germane Change",
|
|
"<8,5,2>": "H"
|
|
},
|
|
"<8,6>": {
|
|
"<8,6,1>": "Helium leak test",
|
|
"<8,6,2>": "G"
|
|
},
|
|
"<8,7>": {
|
|
"<8,7,1>": "Phosphine Change",
|
|
"<8,7,2>": "F"
|
|
},
|
|
"<8,8>": {
|
|
"<8,8,1>": "Silane Change",
|
|
"<8,8,2>": "B"
|
|
},
|
|
"<8,9>": {
|
|
"<8,9,1>": "TCS Change",
|
|
"<8,9,2>": "A"
|
|
},
|
|
"<8,10>": {
|
|
"<8,10,1>": "1% Diborine Change",
|
|
"<8,10,2>": "I"
|
|
},
|
|
"<8,11>": {
|
|
"<8,11,1>": "1000ppm Arsine Change",
|
|
"<8,11,2>": "J"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "1",
|
|
"<9,1,2>": "20",
|
|
"<9,1,3>": "",
|
|
"<9,1,4>": "",
|
|
"<9,1,5>": "",
|
|
"<9,1,6>": "Category"
|
|
},
|
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"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "2",
|
|
"<9,2,2>": "0",
|
|
"<9,2,3>": "",
|
|
"<9,2,4>": "",
|
|
"<9,2,5>": "",
|
|
"<9,2,6>": ""
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": "L",
|
|
"<11>": "1",
|
|
"<12>": "Category",
|
|
"<13>": "2",
|
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"<14>": "F",
|
|
"<15>": "1",
|
|
"<16>": "1",
|
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"<17>": "1",
|
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"<18>": "1",
|
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"<19>": "1",
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"<23>": "0",
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"<24>": "0",
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"<25>": "0",
|
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"<26>": ""
|
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}
|
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}
|
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} |