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"version": 1,
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"<6,1>": {
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"<6,1,1>": "Tahoma",
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"<6,1,2>": "-11",
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"<6,1,14>": "2",
|
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"<6,1,15>": "0",
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"<6,1,16>": "21"
|
|
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|
},
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|
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"<8>": {
|
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"<8,1>": {
|
|
"<8,1,1>": "VER",
|
|
"<8,1,2>": "Verify",
|
|
"<8,1,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
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"<8,2>": {
|
|
"<8,2,1>": "PREC",
|
|
"<8,2,2>": "PreClean",
|
|
"<8,2,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,3>": {
|
|
"<8,3,1>": "PREI",
|
|
"<8,3,2>": "PreInspection",
|
|
"<8,3,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,4>": {
|
|
"<8,4,1>": "PRES",
|
|
"<8,4,2>": "PreSurfScan",
|
|
"<8,4,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,5>": {
|
|
"<8,5,1>": "LOAD",
|
|
"<8,5,2>": "Reactor Load",
|
|
"<8,5,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,6>": {
|
|
"<8,6,1>": "WFRC",
|
|
"<8,6,2>": "First/Last Clean",
|
|
"<8,6,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,7>": {
|
|
"<8,7,1>": "WFRI",
|
|
"<8,7,2>": "First/Last Inspection",
|
|
"<8,7,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,8>": {
|
|
"<8,8,1>": "WFRS",
|
|
"<8,8,2>": "First/Last SurfScan",
|
|
"<8,8,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,9>": {
|
|
"<8,9,1>": "UNLOAD",
|
|
"<8,9,2>": "Reactor Unload",
|
|
"<8,9,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,10>": {
|
|
"<8,10,1>": "PSTC",
|
|
"<8,10,2>": "PostClean",
|
|
"<8,10,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,11>": {
|
|
"<8,11,1>": "PSTI",
|
|
"<8,11,2>": "Post Inspection",
|
|
"<8,11,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,12>": {
|
|
"<8,12,1>": "PSTS",
|
|
"<8,12,2>": "Post SurfScan",
|
|
"<8,12,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,13>": {
|
|
"<8,13,1>": "QA",
|
|
"<8,13,2>": "Final QA",
|
|
"<8,13,3>": "ASM/HTR"
|
|
},
|
|
"<8,14>": {
|
|
"<8,14,1>": "MI_VER",
|
|
"<8,14,2>": "Material In Verify",
|
|
"<8,14,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,15>": {
|
|
"<8,15,1>": "MI_PREC",
|
|
"<8,15,2>": "Material In PreClean",
|
|
"<8,15,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,16>": {
|
|
"<8,16,1>": "MI_PREI",
|
|
"<8,16,2>": "Material In PreInspection",
|
|
"<8,16,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,17>": {
|
|
"<8,17,1>": "MI_PRES",
|
|
"<8,17,2>": "Material In PreSurfScan",
|
|
"<8,17,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,18>": {
|
|
"<8,18,1>": "RN_LOAD",
|
|
"<8,18,2>": "Reactor Load",
|
|
"<8,18,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,19>": {
|
|
"<8,19,1>": "RN_UNLOAD",
|
|
"<8,19,2>": "Reactor Unload",
|
|
"<8,19,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,20>": {
|
|
"<8,20,1>": "RN_WFRC",
|
|
"<8,20,2>": "Reactor First/Last Clean",
|
|
"<8,20,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,21>": {
|
|
"<8,21,1>": "RN_WFRI",
|
|
"<8,21,2>": "Reactor First/Last Inspection",
|
|
"<8,21,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,22>": {
|
|
"<8,22,1>": "RN_WFRS",
|
|
"<8,22,2>": "Reactor First/Last SurfScan",
|
|
"<8,22,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,23>": {
|
|
"<8,23,1>": "MO_PSTC",
|
|
"<8,23,2>": "Material Out PostClean",
|
|
"<8,23,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,24>": {
|
|
"<8,24,1>": "MO_PSTI",
|
|
"<8,24,2>": "Material Out PostInspection",
|
|
"<8,24,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,25>": {
|
|
"<8,25,1>": "MO_PSTS",
|
|
"<8,25,2>": "Material Out PostSurfScan",
|
|
"<8,25,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,26>": {
|
|
"<8,26,1>": "MO_QA",
|
|
"<8,26,2>": "Material Out Final QA",
|
|
"<8,26,3>": "EpiPRO"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "1",
|
|
"<9,1,2>": "10",
|
|
"<9,1,3>": "L",
|
|
"<9,1,4>": "C",
|
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"<9,1,5>": "",
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|
"<9,1,6>": "Run Step"
|
|
},
|
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"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "2",
|
|
"<9,2,2>": "20",
|
|
"<9,2,3>": "L",
|
|
"<9,2,4>": "C",
|
|
"<9,2,5>": "",
|
|
"<9,2,6>": "Step Desc"
|
|
},
|
|
"<9,3>": {
|
|
"<9,3,1>": "3",
|
|
"<9,3,2>": "10",
|
|
"<9,3,3>": "L",
|
|
"<9,3,4>": "C",
|
|
"<9,3,5>": "",
|
|
"<9,3,6>": "React Type"
|
|
},
|
|
"<9,4>": {
|
|
"<9,4,1>": "",
|
|
"<9,4,2>": "",
|
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"<9,4,3>": "",
|
|
"<9,4,4>": "",
|
|
"<9,4,5>": "",
|
|
"<9,4,6>": ""
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": "L",
|
|
"<11>": "1",
|
|
"<12>": "Run Steps",
|
|
"<13>": "1",
|
|
"<14>": "F",
|
|
"<15>": "1",
|
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"<16>": "1",
|
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|
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"<18>": "1",
|
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"<19>": "1",
|
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"<20>": "1",
|
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|
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"<22>": "0",
|
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|
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|
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|
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"<26>": "",
|
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|
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"<28>": "",
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"<29>": "0",
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"<30>": "1",
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|
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"<32>": "0",
|
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"<33>": "1",
|
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"<34>": "16777215",
|
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"<35>": "16777215"
|
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