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8.0 KiB
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"header": {
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|
"version": 1,
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"type": "record"
|
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},
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"body": {
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"record1": {
|
|
"<1>": "-2",
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"<2>": "-2",
|
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"<3>": "-1",
|
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"<4>": "-1",
|
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"<5>": "-2",
|
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"<6>": {
|
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"<6,1>": {
|
|
"<6,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<6,1,2>": "-11",
|
|
"<6,1,3>": "400",
|
|
"<6,1,4>": "0",
|
|
"<6,1,5>": "0",
|
|
"<6,1,6>": "0",
|
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"<6,1,7>": "0",
|
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"<6,1,8>": "34",
|
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"<6,1,9>": "0",
|
|
"<6,1,10>": "1",
|
|
"<6,1,11>": "2",
|
|
"<6,1,12>": "1",
|
|
"<6,1,13>": "0",
|
|
"<6,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<7>": "",
|
|
"<8>": {
|
|
"<8,1>": {
|
|
"<8,1,1>": "BLD",
|
|
"<8,1,2>": "Building"
|
|
},
|
|
"<8,2>": {
|
|
"<8,2,1>": "CANC",
|
|
"<8,2,2>": "Cancelled"
|
|
},
|
|
"<8,3>": {
|
|
"<8,3,1>": "COMP",
|
|
"<8,3,2>": "FQA Label Check"
|
|
},
|
|
"<8,4>": {
|
|
"<8,4,1>": "PSV",
|
|
"<8,4,2>": "Pre Ship Verification"
|
|
},
|
|
"<8,5>": {
|
|
"<8,5,1>": "RTS",
|
|
"<8,5,2>": "Ready to Ship"
|
|
},
|
|
"<8,6>": {
|
|
"<8,6,1>": "HOLD",
|
|
"<8,6,2>": "On Hold"
|
|
},
|
|
"<8,7>": {
|
|
"<8,7,1>": "SHIP",
|
|
"<8,7,2>": "Shipped"
|
|
},
|
|
"<8,8>": {
|
|
"<8,8,1>": "RTU",
|
|
"<8,8,2>": "Ready to Use"
|
|
},
|
|
"<8,9>": {
|
|
"<8,9,1>": "MT",
|
|
"<8,9,2>": "Empty"
|
|
},
|
|
"<8,10>": {
|
|
"<8,10,1>": "RTB",
|
|
"<8,10,2>": "Ready to Build"
|
|
},
|
|
"<8,11>": {
|
|
"<8,11,1>": "INF",
|
|
"<8,11,2>": "In Fab"
|
|
},
|
|
"<8,12>": {
|
|
"<8,12,1>": "VER",
|
|
"<8,12,2>": "Verify Qty"
|
|
},
|
|
"<8,13>": {
|
|
"<8,13,1>": "PREC",
|
|
"<8,13,2>": "PreEpi Clean"
|
|
},
|
|
"<8,14>": {
|
|
"<8,14,1>": "PREI",
|
|
"<8,14,2>": "PreEpi Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,15>": {
|
|
"<8,15,1>": "PRES",
|
|
"<8,15,2>": "PreEpi SurfScan"
|
|
},
|
|
"<8,16>": {
|
|
"<8,16,1>": "LOAD",
|
|
"<8,16,2>": "Reactor Load"
|
|
},
|
|
"<8,17>": {
|
|
"<8,17,1>": "FWII",
|
|
"<8,17,2>": "First wafer Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,18>": {
|
|
"<8,18,1>": "FWIS",
|
|
"<8,18,2>": "First Wafer SurfScan"
|
|
},
|
|
"<8,19>": {
|
|
"<8,19,1>": "WFRI",
|
|
"<8,19,2>": "First/Last Wafer Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,20>": {
|
|
"<8,20,1>": "WFRS",
|
|
"<8,20,2>": "First/Last Wafer SurfScan"
|
|
},
|
|
"<8,21>": {
|
|
"<8,21,1>": "UNLOAD",
|
|
"<8,21,2>": "Reactor Unload"
|
|
},
|
|
"<8,22>": {
|
|
"<8,22,1>": "LWII",
|
|
"<8,22,2>": "Last WaferInspection"
|
|
},
|
|
"<8,23>": {
|
|
"<8,23,1>": "LWIS",
|
|
"<8,23,2>": "Last Wafer Surfscan"
|
|
},
|
|
"<8,24>": {
|
|
"<8,24,1>": "PSTC",
|
|
"<8,24,2>": "PostEpi Clean"
|
|
},
|
|
"<8,25>": {
|
|
"<8,25,1>": "PSTI",
|
|
"<8,25,2>": "PostEpi Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,26>": {
|
|
"<8,26,1>": "PSTS",
|
|
"<8,26,2>": "PostEpi SurfScan"
|
|
},
|
|
"<8,27>": {
|
|
"<8,27,1>": "POST",
|
|
"<8,27,2>": "PostEpi"
|
|
},
|
|
"<8,28>": {
|
|
"<8,28,1>": "QA",
|
|
"<8,28,2>": "Final QA"
|
|
},
|
|
"<8,29>": {
|
|
"<8,29,1>": "REL",
|
|
"<8,29,2>": "Released"
|
|
},
|
|
"<8,30>": {
|
|
"<8,30,1>": "RX",
|
|
"<8,30,2>": "Received"
|
|
},
|
|
"<8,31>": {
|
|
"<8,31,1>": "RTP",
|
|
"<8,31,2>": "Ready to Process"
|
|
},
|
|
"<8,32>": {
|
|
"<8,32,1>": "RQA",
|
|
"<8,32,2>": "Ready for QA"
|
|
},
|
|
"<8,33>": {
|
|
"<8,33,1>": "AWM",
|
|
"<8,33,2>": "Awaiting Material"
|
|
},
|
|
"<8,34>": {
|
|
"<8,34,1>": "NCR",
|
|
"<8,34,2>": "Open NCR"
|
|
},
|
|
"<8,35>": {
|
|
"<8,35,1>": "REJ",
|
|
"<8,35,2>": "Cassette Rejected"
|
|
},
|
|
"<8,36>": {
|
|
"<8,36,1>": "VOID",
|
|
"<8,36,2>": "Record Voided"
|
|
},
|
|
"<8,37>": {
|
|
"<8,37,1>": "PKO",
|
|
"<8,37,2>": "Awaiting Packaging"
|
|
},
|
|
"<8,38>": {
|
|
"<8,38,1>": "SHOLD",
|
|
"<8,38,2>": "Shipping Hold"
|
|
},
|
|
"<8,39>": {
|
|
"<8,39,1>": "RFW",
|
|
"<8,39,2>": "Ready for WIP"
|
|
},
|
|
"<8,40>": {
|
|
"<8,40,1>": "PACK",
|
|
"<8,40,2>": "Loaded in PT Out"
|
|
},
|
|
"<8,41>": {
|
|
"<8,41,1>": "RTF",
|
|
"<8,41,2>": "Return To Fab Active"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "1",
|
|
"<9,1,2>": "10",
|
|
"<9,1,3>": "C",
|
|
"<9,1,4>": "C",
|
|
"<9,1,5>": "",
|
|
"<9,1,6>": "Code"
|
|
},
|
|
"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "2",
|
|
"<9,2,2>": "30",
|
|
"<9,2,3>": "L",
|
|
"<9,2,4>": "C",
|
|
"<9,2,5>": "",
|
|
"<9,2,6>": "Current Status Description"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": "L",
|
|
"<11>": "1",
|
|
"<12>": "WO_MAT Current Status Codes",
|
|
"<13>": "1",
|
|
"<14>": "F",
|
|
"<15>": "1",
|
|
"<16>": "1",
|
|
"<17>": "1",
|
|
"<18>": "1",
|
|
"<19>": "1",
|
|
"<20>": "1",
|
|
"<21>": "1",
|
|
"<22>": "0",
|
|
"<23>": "0",
|
|
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|
|
"<25>": "0",
|
|
"<26>": "",
|
|
"<27>": "",
|
|
"<28>": "",
|
|
"<29>": "0",
|
|
"<30>": "1",
|
|
"<31>": "0",
|
|
"<32>": "0",
|
|
"<33>": "1",
|
|
"<34>": "16777215",
|
|
"<35>": "16777215",
|
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"<36>": "",
|
|
"<37>": "",
|
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"<38>": "",
|
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"<39>": "",
|
|
"<40>": "-2",
|
|
"<41>": "1000",
|
|
"<42>": "",
|
|
"<43>": "",
|
|
"<44>": "",
|
|
"<45>": ""
|
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|
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|
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