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|
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},
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
|
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"<1,26>": "0",
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"<1,28>": "",
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"<1,29>": "",
|
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"<1,30>": "",
|
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"<1,31>": "",
|
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"<1,32>": {
|
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"<1,32,1>": "0x7FFFE",
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"<1,32,2>": "0xF001E988"
|
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|
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|
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|
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|
|
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|
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|
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|
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|
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|
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|
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"<1,51>": "",
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"<1,52>": ""
|
|
}
|
|
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"record3": {
|
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|
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"<1,1>": "SPECIAL_INST",
|
|
"<1,2>": "",
|
|
"<1,3>": "EDITBOX",
|
|
"<1,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<1,5>": "9",
|
|
"<1,6>": "64",
|
|
"<1,7>": "298",
|
|
"<1,8>": "110",
|
|
"<1,9>": "",
|
|
"<1,10>": {
|
|
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|
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|
|
},
|
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|
|
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|
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"<1,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<1,12>": "1",
|
|
"<1,13>": "-2",
|
|
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|
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"<1,15>": {
|
|
"<1,15,1>": {
|
|
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|
|
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|
|
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|
|
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|
|
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|
|
"<1,15,1,6>": "0",
|
|
"<1,15,1,7>": "0",
|
|
"<1,15,1,8>": "34",
|
|
"<1,15,1,9>": "0",
|
|
"<1,15,1,10>": "1",
|
|
"<1,15,1,11>": "2",
|
|
"<1,15,1,12>": "1",
|
|
"<1,15,1,13>": "0",
|
|
"<1,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
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"<1,16>": "",
|
|
"<1,17>": "",
|
|
"<1,18>": "",
|
|
"<1,19>": "",
|
|
"<1,20>": "",
|
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"<1,21>": "",
|
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"<1,22>": "",
|
|
"<1,23>": "",
|
|
"<1,24>": "",
|
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"<1,25>": "0",
|
|
"<1,26>": "0",
|
|
"<1,27>": "",
|
|
"<1,28>": "<<None>>",
|
|
"<1,29>": "<<None>>",
|
|
"<1,30>": "<<None>>",
|
|
"<1,31>": "0",
|
|
"<1,32>": {
|
|
"<1,32,1>": "0x7fffe",
|
|
"<1,32,2>": "0xf0012008"
|
|
},
|
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"<1,33>": "",
|
|
"<1,34>": "",
|
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"<1,35>": "",
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"<1,36>": "",
|
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"<1,37>": "",
|
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"<1,38>": "",
|
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"<1,39>": "",
|
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"<1,40>": "",
|
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"<1,41>": "",
|
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"<1,42>": "",
|
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"<1,43>": "",
|
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|
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"<1,45>": "",
|
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"<1,46>": "",
|
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"<1,47>": "",
|
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"<1,48>": "",
|
|
"<1,49>": "",
|
|
"<1,50>": "",
|
|
"<1,51>": "",
|
|
"<1,52>": ""
|
|
},
|
|
"<2>": {
|
|
"<2,1>": "PROVEIN_INST",
|
|
"<2,2>": "",
|
|
"<2,3>": "EDITBOX",
|
|
"<2,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<2,5>": "327",
|
|
"<2,6>": "64",
|
|
"<2,7>": "298",
|
|
"<2,8>": "110",
|
|
"<2,9>": "",
|
|
"<2,10>": {
|
|
"<2,10,1>": "0x56A00044",
|
|
"<2,10,2>": "0x200"
|
|
},
|
|
"<2,11>": {
|
|
"<2,11,1>": "0x0",
|
|
"<2,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<2,12>": "2",
|
|
"<2,13>": "-2",
|
|
"<2,14>": "12632256",
|
|
"<2,15>": {
|
|
"<2,15,1>": {
|
|
"<2,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<2,15,1,2>": "-11",
|
|
"<2,15,1,3>": "700",
|
|
"<2,15,1,4>": "0",
|
|
"<2,15,1,5>": "0",
|
|
"<2,15,1,6>": "0",
|
|
"<2,15,1,7>": "0",
|
|
"<2,15,1,8>": "34",
|
|
"<2,15,1,9>": "0",
|
|
"<2,15,1,10>": "1",
|
|
"<2,15,1,11>": "2",
|
|
"<2,15,1,12>": "1",
|
|
"<2,15,1,13>": "0",
|
|
"<2,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<2,16>": "",
|
|
"<2,17>": "",
|
|
"<2,18>": "",
|
|
"<2,19>": "",
|
|
"<2,20>": "",
|
|
"<2,21>": "",
|
|
"<2,22>": "",
|
|
"<2,23>": "",
|
|
"<2,24>": "",
|
|
"<2,25>": "0",
|
|
"<2,26>": "0",
|
|
"<2,27>": "",
|
|
"<2,28>": "<<None>>",
|
|
"<2,29>": "<<None>>",
|
|
"<2,30>": "<<None>>",
|
|
"<2,31>": "0",
|
|
"<2,32>": {
|
|
"<2,32,1>": "0x7fffe",
|
|
"<2,32,2>": "0xf0012008"
|
|
},
|
|
"<2,33>": "",
|
|
"<2,34>": "",
|
|
"<2,35>": "",
|
|
"<2,36>": "",
|
|
"<2,37>": "",
|
|
"<2,38>": "",
|
|
"<2,39>": "",
|
|
"<2,40>": "",
|
|
"<2,41>": "",
|
|
"<2,42>": "",
|
|
"<2,43>": "",
|
|
"<2,44>": "",
|
|
"<2,45>": "",
|
|
"<2,46>": "",
|
|
"<2,47>": "",
|
|
"<2,48>": "",
|
|
"<2,49>": "",
|
|
"<2,50>": "",
|
|
"<2,51>": "",
|
|
"<2,52>": ""
|
|
},
|
|
"<3>": {
|
|
"<3,1>": "TEXT_1",
|
|
"<3,2>": "",
|
|
"<3,3>": "STATIC",
|
|
"<3,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<3,5>": "328",
|
|
"<3,6>": "49",
|
|
"<3,7>": "124",
|
|
"<3,8>": "14",
|
|
"<3,9>": "Prove-In Instructions:",
|
|
"<3,10>": {
|
|
"<3,10,1>": "0x56000000",
|
|
"<3,10,2>": "0x0"
|
|
},
|
|
"<3,11>": {
|
|
"<3,11,1>": "0x0",
|
|
"<3,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<3,12>": "3",
|
|
"<3,13>": "-1",
|
|
"<3,14>": "0",
|
|
"<3,15>": {
|
|
"<3,15,1>": {
|
|
"<3,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<3,15,1,2>": "-11",
|
|
"<3,15,1,3>": "700",
|
|
"<3,15,1,4>": "0",
|
|
"<3,15,1,5>": "0",
|
|
"<3,15,1,6>": "0",
|
|
"<3,15,1,7>": "0",
|
|
"<3,15,1,8>": "34",
|
|
"<3,15,1,9>": "0",
|
|
"<3,15,1,10>": "1",
|
|
"<3,15,1,11>": "2",
|
|
"<3,15,1,12>": "1",
|
|
"<3,15,1,13>": "0",
|
|
"<3,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<3,16>": "",
|
|
"<3,17>": "",
|
|
"<3,18>": "",
|
|
"<3,19>": "",
|
|
"<3,20>": "",
|
|
"<3,21>": "",
|
|
"<3,22>": "",
|
|
"<3,23>": "",
|
|
"<3,24>": "",
|
|
"<3,25>": "0",
|
|
"<3,26>": "0",
|
|
"<3,27>": "",
|
|
"<3,28>": "<<None>>",
|
|
"<3,29>": "<<None>>",
|
|
"<3,30>": "<<None>>",
|
|
"<3,31>": "0",
|
|
"<3,32>": {
|
|
"<3,32,1>": "0x7fffe",
|
|
"<3,32,2>": "0xf0016c08"
|
|
},
|
|
"<3,33>": "",
|
|
"<3,34>": "",
|
|
"<3,35>": "",
|
|
"<3,36>": "",
|
|
"<3,37>": "",
|
|
"<3,38>": "",
|
|
"<3,39>": "",
|
|
"<3,40>": "",
|
|
"<3,41>": "",
|
|
"<3,42>": "",
|
|
"<3,43>": "",
|
|
"<3,44>": "",
|
|
"<3,45>": "",
|
|
"<3,46>": "",
|
|
"<3,47>": "",
|
|
"<3,48>": "",
|
|
"<3,49>": "",
|
|
"<3,50>": "",
|
|
"<3,51>": "",
|
|
"<3,52>": ""
|
|
},
|
|
"<4>": {
|
|
"<4,1>": "TEXT_2",
|
|
"<4,2>": "",
|
|
"<4,3>": "STATIC",
|
|
"<4,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<4,5>": "10",
|
|
"<4,6>": "49",
|
|
"<4,7>": "124",
|
|
"<4,8>": "14",
|
|
"<4,9>": "Special Instructions:",
|
|
"<4,10>": {
|
|
"<4,10,1>": "0x56000000",
|
|
"<4,10,2>": "0x0"
|
|
},
|
|
"<4,11>": {
|
|
"<4,11,1>": "0x0",
|
|
"<4,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<4,12>": "4",
|
|
"<4,13>": "-1",
|
|
"<4,14>": "0",
|
|
"<4,15>": {
|
|
"<4,15,1>": {
|
|
"<4,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<4,15,1,2>": "-11",
|
|
"<4,15,1,3>": "700",
|
|
"<4,15,1,4>": "0",
|
|
"<4,15,1,5>": "0",
|
|
"<4,15,1,6>": "0",
|
|
"<4,15,1,7>": "0",
|
|
"<4,15,1,8>": "34",
|
|
"<4,15,1,9>": "0",
|
|
"<4,15,1,10>": "1",
|
|
"<4,15,1,11>": "2",
|
|
"<4,15,1,12>": "1",
|
|
"<4,15,1,13>": "0",
|
|
"<4,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<4,16>": "",
|
|
"<4,17>": "",
|
|
"<4,18>": "",
|
|
"<4,19>": "",
|
|
"<4,20>": "",
|
|
"<4,21>": "",
|
|
"<4,22>": "",
|
|
"<4,23>": "",
|
|
"<4,24>": "",
|
|
"<4,25>": "0",
|
|
"<4,26>": "0",
|
|
"<4,27>": "",
|
|
"<4,28>": "<<None>>",
|
|
"<4,29>": "<<None>>",
|
|
"<4,30>": "<<None>>",
|
|
"<4,31>": "0",
|
|
"<4,32>": {
|
|
"<4,32,1>": "0x7fffe",
|
|
"<4,32,2>": "0xf0016c08"
|
|
},
|
|
"<4,33>": "",
|
|
"<4,34>": "",
|
|
"<4,35>": "",
|
|
"<4,36>": "",
|
|
"<4,37>": "",
|
|
"<4,38>": "",
|
|
"<4,39>": "",
|
|
"<4,40>": "",
|
|
"<4,41>": "",
|
|
"<4,42>": "",
|
|
"<4,43>": "",
|
|
"<4,44>": "",
|
|
"<4,45>": "",
|
|
"<4,46>": "",
|
|
"<4,47>": "",
|
|
"<4,48>": "",
|
|
"<4,49>": "",
|
|
"<4,50>": "",
|
|
"<4,51>": "",
|
|
"<4,52>": ""
|
|
},
|
|
"<5>": {
|
|
"<5,1>": "RECIPE_LIMITS",
|
|
"<5,2>": "",
|
|
"<5,3>": "EDITTABLE",
|
|
"<5,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<5,5>": "8",
|
|
"<5,6>": "196",
|
|
"<5,7>": "354",
|
|
"<5,8>": "50",
|
|
"<5,9>": "",
|
|
"<5,10>": {
|
|
"<5,10,1>": "0x560000D1",
|
|
"<5,10,2>": "0x200"
|
|
},
|
|
"<5,11>": {
|
|
"<5,11,1>": "0x60000",
|
|
"<5,11,2>": "0x80000001"
|
|
},
|
|
"<5,12>": "5",
|
|
"<5,13>": "-2",
|
|
"<5,14>": "0",
|
|
"<5,15>": {
|
|
"<5,15,1>": {
|
|
"<5,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<5,15,1,2>": "-11",
|
|
"<5,15,1,3>": "700",
|
|
"<5,15,1,4>": "0",
|
|
"<5,15,1,5>": "0",
|
|
"<5,15,1,6>": "0",
|
|
"<5,15,1,7>": "0",
|
|
"<5,15,1,8>": "34",
|
|
"<5,15,1,9>": "0",
|
|
"<5,15,1,10>": "1",
|
|
"<5,15,1,11>": "2",
|
|
"<5,15,1,12>": "1",
|
|
"<5,15,1,13>": "0",
|
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"<5,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<5,16>": "",
|
|
"<5,17>": "POSCHANGED",
|
|
"<5,18>": "",
|
|
"<5,19>": "",
|
|
"<5,20>": "",
|
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"<5,21>": "",
|
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"<5,22>": "",
|
|
"<5,23>": "",
|
|
"<5,24>": "",
|
|
"<5,25>": "0",
|
|
"<5,26>": "0",
|
|
"<5,27>": "",
|
|
"<5,28>": {
|
|
"<5,28,1>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,2>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,3>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,4>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,5>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,6>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,7>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,8>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,9>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,10>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,11>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,12>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,13>": "<<None>>",
|
|
"<5,28,14>": "<<None>>"
|
|
},
|
|
"<5,29>": {
|
|
"<5,29,1>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,2>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,3>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,4>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,5>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,6>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,7>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,8>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,9>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,10>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,11>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,12>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,13>": "<<None>>",
|
|
"<5,29,14>": "<<None>>"
|
|
},
|
|
"<5,30>": {
|
|
"<5,30,1>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,2>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,3>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,4>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,5>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,6>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,7>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,8>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,9>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,10>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,11>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,12>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,13>": "<<None>>",
|
|
"<5,30,14>": "<<None>>"
|
|
},
|
|
"<5,31>": {
|
|
"<5,31,1>": "0",
|
|
"<5,31,2>": "0",
|
|
"<5,31,3>": "0",
|
|
"<5,31,4>": "0",
|
|
"<5,31,5>": "0",
|
|
"<5,31,6>": "0",
|
|
"<5,31,7>": "0",
|
|
"<5,31,8>": "0",
|
|
"<5,31,9>": "0",
|
|
"<5,31,10>": "0",
|
|
"<5,31,11>": "0",
|
|
"<5,31,12>": "0",
|
|
"<5,31,13>": "0",
|
|
"<5,31,14>": "0"
|
|
},
|
|
"<5,32>": {
|
|
"<5,32,1>": "0x7e07e",
|
|
"<5,32,2>": "0xc001ea08"
|
|
},
|
|
"<5,33>": "",
|
|
"<5,34>": "",
|
|
"<5,35>": "",
|
|
"<5,36>": "",
|
|
"<5,37>": "",
|
|
"<5,38>": "",
|
|
"<5,39>": {
|
|
"<5,39,1>": "80",
|
|
"<5,39,2>": "80",
|
|
"<5,39,3>": "80",
|
|
"<5,39,4>": "80",
|
|
"<5,39,5>": "80",
|
|
"<5,39,6>": "80",
|
|
"<5,39,7>": "80",
|
|
"<5,39,8>": "80",
|
|
"<5,39,9>": "80",
|
|
"<5,39,10>": "80",
|
|
"<5,39,11>": "80",
|
|
"<5,39,12>": "80",
|
|
"<5,39,13>": "80",
|
|
"<5,39,14>": "80"
|
|
},
|
|
"<5,40>": "14",
|
|
"<5,41>": {
|
|
"<5,41,1>": "1",
|
|
"<5,41,2>": "",
|
|
"<5,41,3>": "",
|
|
"<5,41,4>": "",
|
|
"<5,41,5>": "",
|
|
"<5,41,6>": "",
|
|
"<5,41,7>": "",
|
|
"<5,41,8>": "40"
|
|
},
|
|
"<5,42>": {
|
|
"<5,42,1>": "16402",
|
|
"<5,42,2>": "16402",
|
|
"<5,42,3>": "16402",
|
|
"<5,42,4>": "16402",
|
|
"<5,42,5>": "16402",
|
|
"<5,42,6>": "16402",
|
|
"<5,42,7>": "16402",
|
|
"<5,42,8>": "16402",
|
|
"<5,42,9>": "16402",
|
|
"<5,42,10>": "16402",
|
|
"<5,42,11>": "16402",
|
|
"<5,42,12>": "16402",
|
|
"<5,42,13>": "16402",
|
|
"<5,42,14>": "16386"
|
|
},
|
|
"<5,43>": {
|
|
"<5,43,1>": "86",
|
|
"<5,43,2>": "86",
|
|
"<5,43,3>": "94",
|
|
"<5,43,4>": "86",
|
|
"<5,43,5>": "86",
|
|
"<5,43,6>": "86",
|
|
"<5,43,7>": "86",
|
|
"<5,43,8>": "86",
|
|
"<5,43,9>": "86",
|
|
"<5,43,10>": "86",
|
|
"<5,43,11>": "54",
|
|
"<5,43,12>": "54",
|
|
"<5,43,13>": "54",
|
|
"<5,43,14>": "2"
|
|
},
|
|
"<5,44>": {
|
|
"<5,44,1>": "Deposit",
|
|
"<5,44,2>": "Diluent",
|
|
"<5,44,3>": "Dopant flow",
|
|
"<5,44,4>": "HCL Flow",
|
|
"<5,44,5>": "Bake Time",
|
|
"<5,44,6>": "H2 Flow",
|
|
"<5,44,7>": "TCS Flow",
|
|
"<5,44,8>": "DCS Flow",
|
|
"<5,44,9>": "Aux 1 Flow",
|
|
"<5,44,10>": "Aux 2 Flow",
|
|
"<5,44,11>": "F Offset",
|
|
"<5,44,12>": "S Offset",
|
|
"<5,44,13>": "R Offset",
|
|
"<5,44,14>": " "
|
|
},
|
|
"<5,45>": "",
|
|
"<5,46>": "",
|
|
"<5,47>": "",
|
|
"<5,48>": "",
|
|
"<5,49>": "",
|
|
"<5,50>": "",
|
|
"<5,51>": {
|
|
"<5,51,1>": "",
|
|
"<5,51,2>": "",
|
|
"<5,51,3>": "",
|
|
"<5,51,4>": "",
|
|
"<5,51,5>": "",
|
|
"<5,51,6>": "",
|
|
"<5,51,7>": "",
|
|
"<5,51,8>": "",
|
|
"<5,51,9>": "",
|
|
"<5,51,10>": "",
|
|
"<5,51,11>": "",
|
|
"<5,51,12>": "",
|
|
"<5,51,13>": ""
|
|
},
|
|
"<5,52>": "",
|
|
"<5,53>": "",
|
|
"<5,54>": "",
|
|
"<5,55>": "",
|
|
"<5,56>": "",
|
|
"<5,57>": "",
|
|
"<5,58>": "",
|
|
"<5,59>": "",
|
|
"<5,60>": {
|
|
"<5,60,1>": "18",
|
|
"<5,60,2>": "18",
|
|
"<5,60,3>": "18",
|
|
"<5,60,4>": "18",
|
|
"<5,60,5>": "18",
|
|
"<5,60,6>": "18",
|
|
"<5,60,7>": "18",
|
|
"<5,60,8>": "18",
|
|
"<5,60,9>": "18",
|
|
"<5,60,10>": "18",
|
|
"<5,60,11>": "18",
|
|
"<5,60,12>": "18",
|
|
"<5,60,13>": "18",
|
|
"<5,60,14>": "18"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<6>": {
|
|
"<6,1>": "TEXT_3",
|
|
"<6,2>": "",
|
|
"<6,3>": "STATIC",
|
|
"<6,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<6,5>": "127",
|
|
"<6,6>": "181",
|
|
"<6,7>": "126",
|
|
"<6,8>": "14",
|
|
"<6,9>": "Current Recipe Limits",
|
|
"<6,10>": {
|
|
"<6,10,1>": "0x56000000",
|
|
"<6,10,2>": "0x0"
|
|
},
|
|
"<6,11>": {
|
|
"<6,11,1>": "0x0",
|
|
"<6,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<6,12>": "6",
|
|
"<6,13>": "-1",
|
|
"<6,14>": "0",
|
|
"<6,15>": {
|
|
"<6,15,1>": {
|
|
"<6,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<6,15,1,2>": "-11",
|
|
"<6,15,1,3>": "700",
|
|
"<6,15,1,4>": "0",
|
|
"<6,15,1,5>": "0",
|
|
"<6,15,1,6>": "0",
|
|
"<6,15,1,7>": "0",
|
|
"<6,15,1,8>": "34",
|
|
"<6,15,1,9>": "0",
|
|
"<6,15,1,10>": "1",
|
|
"<6,15,1,11>": "2",
|
|
"<6,15,1,12>": "1",
|
|
"<6,15,1,13>": "0",
|
|
"<6,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<6,16>": "",
|
|
"<6,17>": "",
|
|
"<6,18>": "",
|
|
"<6,19>": "",
|
|
"<6,20>": "",
|
|
"<6,21>": "",
|
|
"<6,22>": "",
|
|
"<6,23>": "",
|
|
"<6,24>": "",
|
|
"<6,25>": "0",
|
|
"<6,26>": "0",
|
|
"<6,27>": "",
|
|
"<6,28>": "<<None>>",
|
|
"<6,29>": "<<None>>",
|
|
"<6,30>": "<<None>>",
|
|
"<6,31>": "0",
|
|
"<6,32>": {
|
|
"<6,32,1>": "0x7fffe",
|
|
"<6,32,2>": "0xf0016c08"
|
|
},
|
|
"<6,33>": "",
|
|
"<6,34>": "",
|
|
"<6,35>": "",
|
|
"<6,36>": "",
|
|
"<6,37>": "",
|
|
"<6,38>": "",
|
|
"<6,39>": "",
|
|
"<6,40>": "",
|
|
"<6,41>": "",
|
|
"<6,42>": "",
|
|
"<6,43>": "",
|
|
"<6,44>": "",
|
|
"<6,45>": "",
|
|
"<6,46>": "",
|
|
"<6,47>": "",
|
|
"<6,48>": "",
|
|
"<6,49>": "",
|
|
"<6,50>": "",
|
|
"<6,51>": "",
|
|
"<6,52>": ""
|
|
},
|
|
"<7>": {
|
|
"<7,1>": "RECIPE_LAYER_LIMITS",
|
|
"<7,2>": "",
|
|
"<7,3>": "EDITTABLE",
|
|
"<7,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<7,5>": "381",
|
|
"<7,6>": "197",
|
|
"<7,7>": "244",
|
|
"<7,8>": "48",
|
|
"<7,9>": "",
|
|
"<7,10>": {
|
|
"<7,10,1>": "0x560000D1",
|
|
"<7,10,2>": "0x200"
|
|
},
|
|
"<7,11>": {
|
|
"<7,11,1>": "0x60000",
|
|
"<7,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<7,12>": "7",
|
|
"<7,13>": "-2",
|
|
"<7,14>": "0",
|
|
"<7,15>": {
|
|
"<7,15,1>": {
|
|
"<7,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<7,15,1,2>": "-11",
|
|
"<7,15,1,3>": "700",
|
|
"<7,15,1,4>": "0",
|
|
"<7,15,1,5>": "0",
|
|
"<7,15,1,6>": "0",
|
|
"<7,15,1,7>": "0",
|
|
"<7,15,1,8>": "34",
|
|
"<7,15,1,9>": "0",
|
|
"<7,15,1,10>": "1",
|
|
"<7,15,1,11>": "2",
|
|
"<7,15,1,12>": "1",
|
|
"<7,15,1,13>": "0",
|
|
"<7,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<7,16>": "",
|
|
"<7,17>": "POSCHANGED",
|
|
"<7,18>": "",
|
|
"<7,19>": "",
|
|
"<7,20>": "",
|
|
"<7,21>": "",
|
|
"<7,22>": "",
|
|
"<7,23>": "",
|
|
"<7,24>": "",
|
|
"<7,25>": "0",
|
|
"<7,26>": "0",
|
|
"<7,27>": "",
|
|
"<7,28>": {
|
|
"<7,28,1>": "<<None>>",
|
|
"<7,28,2>": "<<None>>",
|
|
"<7,28,3>": "<<None>>"
|
|
},
|
|
"<7,29>": {
|
|
"<7,29,1>": "<<None>>",
|
|
"<7,29,2>": "<<None>>",
|
|
"<7,29,3>": "<<None>>"
|
|
},
|
|
"<7,30>": {
|
|
"<7,30,1>": "<<None>>",
|
|
"<7,30,2>": "<<None>>",
|
|
"<7,30,3>": "<<None>>"
|
|
},
|
|
"<7,31>": {
|
|
"<7,31,1>": "0",
|
|
"<7,31,2>": "0",
|
|
"<7,31,3>": "0"
|
|
},
|
|
"<7,32>": {
|
|
"<7,32,1>": "0x7e07e",
|
|
"<7,32,2>": "0xc001ea08"
|
|
},
|
|
"<7,33>": "",
|
|
"<7,34>": "",
|
|
"<7,35>": "",
|
|
"<7,36>": "",
|
|
"<7,37>": "",
|
|
"<7,38>": "",
|
|
"<7,39>": {
|
|
"<7,39,1>": "80",
|
|
"<7,39,2>": "80",
|
|
"<7,39,3>": "80"
|
|
},
|
|
"<7,40>": "3",
|
|
"<7,41>": {
|
|
"<7,41,1>": "1",
|
|
"<7,41,2>": "",
|
|
"<7,41,3>": "",
|
|
"<7,41,4>": "",
|
|
"<7,41,5>": "",
|
|
"<7,41,6>": "",
|
|
"<7,41,7>": "",
|
|
"<7,41,8>": "40"
|
|
},
|
|
"<7,42>": {
|
|
"<7,42,1>": "16402",
|
|
"<7,42,2>": "16402",
|
|
"<7,42,3>": "16402"
|
|
},
|
|
"<7,43>": {
|
|
"<7,43,1>": "62",
|
|
"<7,43,2>": "86",
|
|
"<7,43,3>": "94"
|
|
},
|
|
"<7,44>": {
|
|
"<7,44,1>": "Layer#",
|
|
"<7,44,2>": "Deposit",
|
|
"<7,44,3>": "Dopant flow"
|
|
},
|
|
"<7,45>": "",
|
|
"<7,46>": "",
|
|
"<7,47>": "",
|
|
"<7,48>": "",
|
|
"<7,49>": "",
|
|
"<7,50>": "",
|
|
"<7,51>": {
|
|
"<7,51,1>": "",
|
|
"<7,51,2>": "",
|
|
"<7,51,3>": ""
|
|
},
|
|
"<7,52>": "",
|
|
"<7,53>": "",
|
|
"<7,54>": "",
|
|
"<7,55>": "",
|
|
"<7,56>": "",
|
|
"<7,57>": "",
|
|
"<7,58>": "",
|
|
"<7,59>": "",
|
|
"<7,60>": {
|
|
"<7,60,1>": "18",
|
|
"<7,60,2>": "18",
|
|
"<7,60,3>": "18"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<8>": {
|
|
"<8,1>": "TEXT_4",
|
|
"<8,2>": "",
|
|
"<8,3>": "STATIC",
|
|
"<8,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<8,5>": "431",
|
|
"<8,6>": "181",
|
|
"<8,7>": "163",
|
|
"<8,8>": "14",
|
|
"<8,9>": "Current Recipe Layer Limits",
|
|
"<8,10>": {
|
|
"<8,10,1>": "0x56000000",
|
|
"<8,10,2>": "0x0"
|
|
},
|
|
"<8,11>": {
|
|
"<8,11,1>": "0x0",
|
|
"<8,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<8,12>": "8",
|
|
"<8,13>": "-1",
|
|
"<8,14>": "0",
|
|
"<8,15>": {
|
|
"<8,15,1>": {
|
|
"<8,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<8,15,1,2>": "-11",
|
|
"<8,15,1,3>": "700",
|
|
"<8,15,1,4>": "0",
|
|
"<8,15,1,5>": "0",
|
|
"<8,15,1,6>": "0",
|
|
"<8,15,1,7>": "0",
|
|
"<8,15,1,8>": "34",
|
|
"<8,15,1,9>": "0",
|
|
"<8,15,1,10>": "1",
|
|
"<8,15,1,11>": "2",
|
|
"<8,15,1,12>": "1",
|
|
"<8,15,1,13>": "0",
|
|
"<8,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<8,16>": "",
|
|
"<8,17>": "",
|
|
"<8,18>": "",
|
|
"<8,19>": "",
|
|
"<8,20>": "",
|
|
"<8,21>": "",
|
|
"<8,22>": "",
|
|
"<8,23>": "",
|
|
"<8,24>": "",
|
|
"<8,25>": "0",
|
|
"<8,26>": "0",
|
|
"<8,27>": "",
|
|
"<8,28>": "<<None>>",
|
|
"<8,29>": "<<None>>",
|
|
"<8,30>": "<<None>>",
|
|
"<8,31>": "0",
|
|
"<8,32>": {
|
|
"<8,32,1>": "0x7fffe",
|
|
"<8,32,2>": "0xf0016c08"
|
|
},
|
|
"<8,33>": "",
|
|
"<8,34>": "",
|
|
"<8,35>": "",
|
|
"<8,36>": "",
|
|
"<8,37>": "",
|
|
"<8,38>": "",
|
|
"<8,39>": "",
|
|
"<8,40>": "",
|
|
"<8,41>": "",
|
|
"<8,42>": "",
|
|
"<8,43>": "",
|
|
"<8,44>": "",
|
|
"<8,45>": "",
|
|
"<8,46>": "",
|
|
"<8,47>": "",
|
|
"<8,48>": "",
|
|
"<8,49>": "",
|
|
"<8,50>": "",
|
|
"<8,51>": "",
|
|
"<8,52>": ""
|
|
},
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": "PRINT",
|
|
"<9,2>": "",
|
|
"<9,3>": "PUSHBMP",
|
|
"<9,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<9,5>": "39",
|
|
"<9,6>": "11",
|
|
"<9,7>": "24",
|
|
"<9,8>": "24",
|
|
"<9,9>": "|Print Instructions and Recipe Limits",
|
|
"<9,10>": {
|
|
"<9,10,1>": "0x5600000B",
|
|
"<9,10,2>": "0x0"
|
|
},
|
|
"<9,11>": {
|
|
"<9,11,1>": "0x0",
|
|
"<9,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<9,12>": "9",
|
|
"<9,13>": "-2",
|
|
"<9,14>": "0",
|
|
"<9,15>": {
|
|
"<9,15,1>": {
|
|
"<9,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<9,15,1,2>": "-11",
|
|
"<9,15,1,3>": "700",
|
|
"<9,15,1,4>": "0",
|
|
"<9,15,1,5>": "0",
|
|
"<9,15,1,6>": "0",
|
|
"<9,15,1,7>": "0",
|
|
"<9,15,1,8>": "34",
|
|
"<9,15,1,9>": "0",
|
|
"<9,15,1,10>": "1",
|
|
"<9,15,1,11>": "2",
|
|
"<9,15,1,12>": "1",
|
|
"<9,15,1,13>": "0",
|
|
"<9,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<9,16>": "",
|
|
"<9,17>": "CLICK",
|
|
"<9,18>": "",
|
|
"<9,19>": "",
|
|
"<9,20>": "",
|
|
"<9,21>": "",
|
|
"<9,22>": "",
|
|
"<9,23>": "",
|
|
"<9,24>": "",
|
|
"<9,25>": "0",
|
|
"<9,26>": "0",
|
|
"<9,27>": "",
|
|
"<9,28>": "<<None>>",
|
|
"<9,29>": "<<None>>",
|
|
"<9,30>": "<<None>>",
|
|
"<9,31>": "0",
|
|
"<9,32>": {
|
|
"<9,32,1>": "0x7fffc",
|
|
"<9,32,2>": "0xf0016000"
|
|
},
|
|
"<9,33>": "LSL2*IMAGE*BMP*PRINTER2",
|
|
"<9,34>": "",
|
|
"<9,35>": "",
|
|
"<9,36>": "",
|
|
"<9,37>": "",
|
|
"<9,38>": "",
|
|
"<9,39>": "",
|
|
"<9,40>": "",
|
|
"<9,41>": "",
|
|
"<9,42>": "",
|
|
"<9,43>": "",
|
|
"<9,44>": "",
|
|
"<9,45>": "",
|
|
"<9,46>": "",
|
|
"<9,47>": "",
|
|
"<9,48>": "",
|
|
"<9,49>": "",
|
|
"<9,50>": "",
|
|
"<9,51>": "",
|
|
"<9,52>": "",
|
|
"<9,53>": "",
|
|
"<9,54>": {
|
|
"<9,54,1>": "-5",
|
|
"<9,54,2>": "0",
|
|
"<9,54,3>": "",
|
|
"<9,54,4>": "",
|
|
"<9,54,5>": "",
|
|
"<9,54,6>": "3"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": {
|
|
"<10,1>": "CLOSE",
|
|
"<10,2>": "",
|
|
"<10,3>": "PUSHBMP",
|
|
"<10,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<10,5>": "13",
|
|
"<10,6>": "11",
|
|
"<10,7>": "24",
|
|
"<10,8>": "23",
|
|
"<10,9>": "|Exit",
|
|
"<10,10>": {
|
|
"<10,10,1>": "0x5600000B",
|
|
"<10,10,2>": "0x0"
|
|
},
|
|
"<10,11>": {
|
|
"<10,11,1>": "0x0",
|
|
"<10,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<10,12>": "10",
|
|
"<10,13>": "-2",
|
|
"<10,14>": "0",
|
|
"<10,15>": {
|
|
"<10,15,1>": {
|
|
"<10,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<10,15,1,2>": "-11",
|
|
"<10,15,1,3>": "700",
|
|
"<10,15,1,4>": "0",
|
|
"<10,15,1,5>": "0",
|
|
"<10,15,1,6>": "0",
|
|
"<10,15,1,7>": "0",
|
|
"<10,15,1,8>": "34",
|
|
"<10,15,1,9>": "0",
|
|
"<10,15,1,10>": "1",
|
|
"<10,15,1,11>": "2",
|
|
"<10,15,1,12>": "1",
|
|
"<10,15,1,13>": "0",
|
|
"<10,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10,16>": "",
|
|
"<10,17>": "",
|
|
"<10,18>": {
|
|
"<10,18,1>": {
|
|
"<10,18,1,1>": "E",
|
|
"<10,18,1,2>": "CLOSE",
|
|
"<10,18,1,3>": "@WINDOW",
|
|
"<10,18,1,4>": "",
|
|
"<10,18,1,5>": "",
|
|
"<10,18,1,6>": ""
|
|
},
|
|
"<10,18,2>": ""
|
|
},
|
|
"<10,19>": {
|
|
"<10,19,1>": "CLICK",
|
|
"<10,19,2>": ""
|
|
},
|
|
"<10,20>": "",
|
|
"<10,21>": "",
|
|
"<10,22>": "",
|
|
"<10,23>": "",
|
|
"<10,24>": "",
|
|
"<10,25>": "0",
|
|
"<10,26>": "0",
|
|
"<10,27>": "",
|
|
"<10,28>": "<<None>>",
|
|
"<10,29>": "<<None>>",
|
|
"<10,30>": "<<None>>",
|
|
"<10,31>": "0",
|
|
"<10,32>": {
|
|
"<10,32,1>": "0x7fffc",
|
|
"<10,32,2>": "0xf0016000"
|
|
},
|
|
"<10,33>": "LSL2*IMAGE*BMP*CLOSEWIN",
|
|
"<10,34>": "",
|
|
"<10,35>": "",
|
|
"<10,36>": "",
|
|
"<10,37>": "",
|
|
"<10,38>": "",
|
|
"<10,39>": "",
|
|
"<10,40>": "",
|
|
"<10,41>": "",
|
|
"<10,42>": "",
|
|
"<10,43>": "",
|
|
"<10,44>": "",
|
|
"<10,45>": "",
|
|
"<10,46>": "",
|
|
"<10,47>": "",
|
|
"<10,48>": "",
|
|
"<10,49>": "",
|
|
"<10,50>": "",
|
|
"<10,51>": "",
|
|
"<10,52>": "",
|
|
"<10,53>": "",
|
|
"<10,54>": {
|
|
"<10,54,1>": "-5",
|
|
"<10,54,2>": "0",
|
|
"<10,54,3>": "",
|
|
"<10,54,4>": "",
|
|
"<10,54,5>": "",
|
|
"<10,54,6>": "3"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<11>": {
|
|
"<11,1>": "GROUP_2",
|
|
"<11,2>": "",
|
|
"<11,3>": "GROUPBOX",
|
|
"<11,4>": "RECIPE_BROWSE2",
|
|
"<11,5>": "7",
|
|
"<11,6>": "0",
|
|
"<11,7>": "61",
|
|
"<11,8>": "37",
|
|
"<11,9>": "",
|
|
"<11,10>": {
|
|
"<11,10,1>": "0x56000000",
|
|
"<11,10,2>": "0x0"
|
|
},
|
|
"<11,11>": {
|
|
"<11,11,1>": "0x0",
|
|
"<11,11,2>": "0x80000000"
|
|
},
|
|
"<11,12>": "11",
|
|
"<11,13>": "-1",
|
|
"<11,14>": "0",
|
|
"<11,15>": {
|
|
"<11,15,1>": {
|
|
"<11,15,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<11,15,1,2>": "-11",
|
|
"<11,15,1,3>": "700",
|
|
"<11,15,1,4>": "0",
|
|
"<11,15,1,5>": "0",
|
|
"<11,15,1,6>": "0",
|
|
"<11,15,1,7>": "0",
|
|
"<11,15,1,8>": "34",
|
|
"<11,15,1,9>": "0",
|
|
"<11,15,1,10>": "1",
|
|
"<11,15,1,11>": "2",
|
|
"<11,15,1,12>": "1",
|
|
"<11,15,1,13>": "0",
|
|
"<11,15,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<11,16>": "",
|
|
"<11,17>": "",
|
|
"<11,18>": "",
|
|
"<11,19>": "",
|
|
"<11,20>": "",
|
|
"<11,21>": "",
|
|
"<11,22>": "",
|
|
"<11,23>": "",
|
|
"<11,24>": "",
|
|
"<11,25>": "0",
|
|
"<11,26>": "0",
|
|
"<11,27>": "",
|
|
"<11,28>": "<<None>>",
|
|
"<11,29>": "<<None>>",
|
|
"<11,30>": "<<None>>",
|
|
"<11,31>": "0",
|
|
"<11,32>": {
|
|
"<11,32,1>": "0x7fffe",
|
|
"<11,32,2>": "0xf0016c08"
|
|
},
|
|
"<11,33>": ""
|
|
},
|
|
"<12>": ""
|
|
},
|
|
"record4": {
|
|
"<1>": "",
|
|
"<2>": {
|
|
"<2,1>": "",
|
|
"<2,2>": "",
|
|
"<2,3>": "",
|
|
"<2,4>": "0"
|
|
}
|
|
}
|
|
}
|
|
} |