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4.3 KiB
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"version": 1,
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"<6,1>": {
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"<6,1,1>": "Tahoma",
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"<6,1,2>": "-11",
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"<6,1,6>": "5",
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"<6,1,10>": "0",
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"<6,1,12>": "0",
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"<6,1,13>": "11",
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"<6,1,14>": "2",
|
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"<6,1,15>": "0",
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"<6,1,16>": "21"
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},
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"<7>": "",
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"<8,1>": {
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"<8,1,1>": "EMPTY",
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"<8,1,2>": "Makeup Box Empty"
|
|
},
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"<8,2>": {
|
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"<8,2,1>": "REJ",
|
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"<8,2,2>": "Rejected"
|
|
},
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"<8,3>": {
|
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"<8,3,1>": "SHIP",
|
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"<8,3,2>": "Shipped"
|
|
},
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"<8,4>": {
|
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"<8,4,1>": "RTU",
|
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"<8,4,2>": "Ready to Use"
|
|
},
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"<8,5>": {
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"<8,5,1>": "PLACE",
|
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"<8,5,2>": "Place"
|
|
},
|
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"<8,6>": {
|
|
"<8,6,1>": "SPLIT",
|
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"<8,6,2>": "Wfr from Cass"
|
|
},
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"<8,7>": {
|
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"<8,7,1>": "DISP",
|
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"<8,7,2>": "Wfr Disposition"
|
|
},
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"<8,8>": {
|
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"<8,8,1>": "LOAD",
|
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"<8,8,2>": "Reactor Load"
|
|
},
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"<8,9>": {
|
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"<8,9,1>": "UNLOAD",
|
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"<8,9,2>": "Reactor Unload"
|
|
},
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"<8,10>": {
|
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"<8,10,1>": "START",
|
|
"<8,10,2>": "Start on Tool"
|
|
},
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"<8,11>": {
|
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"<8,11,1>": "STOP",
|
|
"<8,11,2>": "Stop on Tool"
|
|
},
|
|
"<8,12>": {
|
|
"<8,12,1>": "VER",
|
|
"<8,12,2>": "Verify"
|
|
},
|
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"<8,13>": {
|
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"<8,13,1>": "PSTS",
|
|
"<8,13,2>": "Post Epi Surfscan"
|
|
},
|
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"<8,14>": {
|
|
"<8,14,1>": "QA",
|
|
"<8,14,2>": "Final QA"
|
|
},
|
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"<8,15>": {
|
|
"<8,15,1>": "DELETE",
|
|
"<8,15,2>": "Closes in FabTime"
|
|
},
|
|
"<8,16>": ""
|
|
},
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "1",
|
|
"<9,1,2>": "10",
|
|
"<9,1,3>": "C",
|
|
"<9,1,4>": "C",
|
|
"<9,1,5>": "",
|
|
"<9,1,6>": "Code"
|
|
},
|
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"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "2",
|
|
"<9,2,2>": "20",
|
|
"<9,2,3>": "L",
|
|
"<9,2,4>": "C",
|
|
"<9,2,5>": "",
|
|
"<9,2,6>": "Description"
|
|
}
|
|
},
|
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"<10>": "L",
|
|
"<11>": "1",
|
|
"<12>": "WO Mat Inv Actions",
|
|
"<13>": "1",
|
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"<14>": "F",
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"<15>": "1",
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"<16>": "1",
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"<19>": "1",
|
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"<25>": "0",
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"<32>": "0",
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"<34>": "16777215",
|
|
"<35>": "16777215"
|
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}
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