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3.0 KiB
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"header": {
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"version": 1,
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"<6,1>": {
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"<6,1,14>": "0"
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"<7>": "RDS",
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"<9>": {
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"<9,1>": {
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"<9,1,1>": "RUN_ORDER_NUM",
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"<9,1,2>": "5",
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"<9,1,3>": "C",
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"<9,1,4>": "C",
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"<9,1,5>": "",
|
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"<9,1,6>": "RO No"
|
|
},
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"<9,2>": {
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"<9,2,1>": "SEQ",
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"<9,2,2>": "14",
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"<9,2,3>": "C",
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"<9,2,4>": "C",
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"<9,2,5>": "MD0",
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"<9,2,6>": "RDS No"
|
|
},
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"<9,3>": {
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"<9,3,1>": "WAFERS_SCHEDULED",
|
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"<9,3,2>": "14",
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"<9,3,3>": "C",
|
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"<9,3,4>": "C",
|
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"<9,3,5>": "MD0",
|
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"<9,3,6>": "Wafers Scheduled"
|
|
},
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"<9,4>": {
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"<9,4,1>": "WFRS_OUT",
|
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"<9,4,2>": "14",
|
|
"<9,4,3>": "C",
|
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"<9,4,4>": "C",
|
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"<9,4,5>": "MD0,",
|
|
"<9,4,6>": "Wfrs Out"
|
|
},
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"<9,5>": {
|
|
"<9,5,1>": "CURR_STATUS",
|
|
"<9,5,2>": "25",
|
|
"<9,5,3>": "L",
|
|
"<9,5,4>": "C",
|
|
"<9,5,5>": "[RDS_CURR_STATUS_CONV]",
|
|
"<9,5,6>": "Curr Status"
|
|
}
|
|
},
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"<10>": "K",
|
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"<11>": "2",
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|
"<12>": "Work Order Ready To Ship Cassettes",
|
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"<13>": "",
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"<14>": "E",
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"<15>": "1",
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"<16>": "1",
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"<18>": "1",
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"<32>": "0"
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}
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