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4.7 KiB
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"<9,7>": {
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"<9,8>": {
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"<9,8,1>": "TOOL_ID",
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"<9,8,3>": "L",
|
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"<9,8,5>": "",
|
|
"<9,8,6>": "Tool ID"
|
|
},
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"<9,9>": {
|
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"<9,9,1>": "TW_USE",
|
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"<9,9,2>": "10",
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"<9,9,3>": "C",
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"<9,9,4>": "C",
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"<9,9,6>": "Test Wfr ID"
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"<9,10>": {
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"<9,10,1>": "NCR_NO",
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"<9,10,2>": "10",
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"<9,10,3>": "C",
|
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"<9,10,4>": "C",
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"<9,10,6>": "NCR No"
|
|
},
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"<9,11>": {
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"<9,11,6>": ""
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"<10>": "L",
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"<11>": "1",
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"<12>": "Wafer Trace",
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"<14>": "F",
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