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10 KiB
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"header": {
|
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"version": 1,
|
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"type": "record"
|
|
},
|
|
"body": {
|
|
"record1": {
|
|
"<1>": "-2",
|
|
"<2>": "-2",
|
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"<3>": "-1",
|
|
"<4>": "-1",
|
|
"<5>": "16777215",
|
|
"<6>": {
|
|
"<6,1>": {
|
|
"<6,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<6,1,2>": "-11",
|
|
"<6,1,3>": "400",
|
|
"<6,1,4>": "0",
|
|
"<6,1,5>": "0",
|
|
"<6,1,6>": "0",
|
|
"<6,1,7>": "0",
|
|
"<6,1,8>": "34",
|
|
"<6,1,9>": "0",
|
|
"<6,1,10>": "1",
|
|
"<6,1,11>": "2",
|
|
"<6,1,12>": "1",
|
|
"<6,1,13>": "0",
|
|
"<6,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<7>": "",
|
|
"<8>": {
|
|
"<8,1>": {
|
|
"<8,1,1>": "PRE",
|
|
"<8,1,2>": "Pre Epi",
|
|
"<8,1,3>": "ASM"
|
|
},
|
|
"<8,2>": {
|
|
"<8,2,1>": "LOAD",
|
|
"<8,2,2>": "Load",
|
|
"<8,2,3>": "ASM"
|
|
},
|
|
"<8,3>": {
|
|
"<8,3,1>": "FWI",
|
|
"<8,3,2>": "First Wafer",
|
|
"<8,3,3>": "ASM"
|
|
},
|
|
"<8,4>": {
|
|
"<8,4,1>": "UNLOAD",
|
|
"<8,4,2>": "Unload",
|
|
"<8,4,3>": "ASM"
|
|
},
|
|
"<8,5>": {
|
|
"<8,5,1>": "LWI",
|
|
"<8,5,2>": "Last Wafer",
|
|
"<8,5,3>": "ASM"
|
|
},
|
|
"<8,6>": {
|
|
"<8,6,1>": "POST",
|
|
"<8,6,2>": "Post Epi",
|
|
"<8,6,3>": "ASM"
|
|
},
|
|
"<8,7>": {
|
|
"<8,7,1>": "QA",
|
|
"<8,7,2>": "FQA",
|
|
"<8,7,3>": "ASM"
|
|
},
|
|
"<8,8>": {
|
|
"<8,8,1>": "MO_QA",
|
|
"<8,8,2>": "Cassette QA",
|
|
"<8,8,3>": "EpiPRO"
|
|
},
|
|
"<8,9>": {
|
|
"<8,9,1>": "G_RDS",
|
|
"<8,9,2>": "Lot Start_Create RDS",
|
|
"<8,9,3>": "GaN",
|
|
"<8,9,4>": ""
|
|
},
|
|
"<8,10>": {
|
|
"<8,10,1>": "ETCH",
|
|
"<8,10,2>": "Etch",
|
|
"<8,10,3>": "GaN",
|
|
"<8,10,4>": ""
|
|
},
|
|
"<8,11>": {
|
|
"<8,11,1>": "GROWTH",
|
|
"<8,11,2>": "Epi Deposition",
|
|
"<8,11,3>": "GaN",
|
|
"<8,11,4>": ""
|
|
},
|
|
"<8,12>": {
|
|
"<8,12,1>": "G_RATE",
|
|
"<8,12,2>": "Growth Rate Review",
|
|
"<8,12,3>": "GaN",
|
|
"<8,12,4>": ""
|
|
},
|
|
"<8,13>": {
|
|
"<8,13,1>": "UV",
|
|
"<8,13,2>": "UV Lamp",
|
|
"<8,13,3>": "GaN",
|
|
"<8,13,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,14>": {
|
|
"<8,14,1>": "WARP",
|
|
"<8,14,2>": "Warp",
|
|
"<8,14,3>": "GaN",
|
|
"<8,14,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,15>": {
|
|
"<8,15,1>": "CAN",
|
|
"<8,15,2>": "Candela Scan",
|
|
"<8,15,3>": "GaN",
|
|
"<8,15,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,16>": {
|
|
"<8,16,1>": "SPLIT",
|
|
"<8,16,2>": "Characterization Split",
|
|
"<8,16,3>": "GaN",
|
|
"<8,16,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,17>": {
|
|
"<8,17,1>": "LEH",
|
|
"<8,17,2>": "LEH",
|
|
"<8,17,3>": "GaN",
|
|
"<8,17,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,18>": {
|
|
"<8,18,1>": "XRD",
|
|
"<8,18,2>": "XRD",
|
|
"<8,18,3>": "GaN",
|
|
"<8,18,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,19>": {
|
|
"<8,19,1>": "AFM",
|
|
"<8,19,2>": "AFM",
|
|
"<8,19,3>": "GaN",
|
|
"<8,19,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,20>": {
|
|
"<8,20,1>": "RPM",
|
|
"<8,20,2>": "RPM",
|
|
"<8,20,3>": "GaN",
|
|
"<8,20,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,21>": {
|
|
"<8,21,1>": "PR",
|
|
"<8,21,2>": "Photoreflectance",
|
|
"<8,21,3>": "GaN",
|
|
"<8,21,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,22>": {
|
|
"<8,22,1>": "SCOPE",
|
|
"<8,22,2>": "Microscope",
|
|
"<8,22,3>": "GaN",
|
|
"<8,22,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,23>": {
|
|
"<8,23,1>": "RTA",
|
|
"<8,23,2>": "RTA",
|
|
"<8,23,3>": "GaN",
|
|
"<8,23,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,24>": {
|
|
"<8,24,1>": "CV",
|
|
"<8,24,2>": "CV-HG Probe",
|
|
"<8,24,3>": "GaN",
|
|
"<8,24,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,25>": {
|
|
"<8,25,1>": "HALL",
|
|
"<8,25,2>": "Hall Coefficient Measure",
|
|
"<8,25,3>": "GaN",
|
|
"<8,25,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,26>": {
|
|
"<8,26,1>": "EBEAM",
|
|
"<8,26,2>": "eBeam",
|
|
"<8,26,3>": "GaN",
|
|
"<8,26,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,27>": {
|
|
"<8,27,1>": "RTA_HALL",
|
|
"<8,27,2>": "RTA_HALL",
|
|
"<8,27,3>": "GaN",
|
|
"<8,27,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,28>": {
|
|
"<8,28,1>": "HALL_PGAN",
|
|
"<8,28,2>": "Hall PGaN Measure",
|
|
"<8,28,3>": "GaN",
|
|
"<8,28,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,29>": {
|
|
"<8,29,1>": "BV",
|
|
"<8,29,2>": "BV",
|
|
"<8,29,3>": "GaN",
|
|
"<8,29,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,30>": {
|
|
"<8,30,1>": "FRINGE",
|
|
"<8,30,2>": "Fringe",
|
|
"<8,30,3>": "GaN",
|
|
"<8,30,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,31>": {
|
|
"<8,31,1>": "CTRL_PLAN",
|
|
"<8,31,2>": "Start Control Plan",
|
|
"<8,31,3>": "GaN",
|
|
"<8,31,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,32>": {
|
|
"<8,32,1>": "DISP",
|
|
"<8,32,2>": "Wafer Disposition",
|
|
"<8,32,3>": "GaN",
|
|
"<8,32,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,33>": {
|
|
"<8,33,1>": "G_FQA",
|
|
"<8,33,2>": "Final QA",
|
|
"<8,33,3>": "GaN",
|
|
"<8,33,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,34>": {
|
|
"<8,34,1>": "G_PACK",
|
|
"<8,34,2>": "Package",
|
|
"<8,34,3>": "GaN",
|
|
"<8,34,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,35>": {
|
|
"<8,35,1>": "RETAIN",
|
|
"<8,35,2>": "Retain Wafers",
|
|
"<8,35,3>": "GaN",
|
|
"<8,35,4>": "1"
|
|
},
|
|
"<8,36>": "",
|
|
"<8,37>": ""
|
|
},
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "1",
|
|
"<9,1,2>": "12",
|
|
"<9,1,3>": "C",
|
|
"<9,1,4>": "C",
|
|
"<9,1,5>": "",
|
|
"<9,1,6>": "Code"
|
|
},
|
|
"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "2",
|
|
"<9,2,2>": "20",
|
|
"<9,2,3>": "L",
|
|
"<9,2,4>": "L",
|
|
"<9,2,5>": "",
|
|
"<9,2,6>": "Stage Description"
|
|
},
|
|
"<9,3>": {
|
|
"<9,3,1>": "3",
|
|
"<9,3,2>": "10",
|
|
"<9,3,3>": "C",
|
|
"<9,3,4>": "C",
|
|
"<9,3,5>": "",
|
|
"<9,3,6>": "Process"
|
|
},
|
|
"<9,4>": {
|
|
"<9,4,1>": "4",
|
|
"<9,4,2>": "8",
|
|
"<9,4,3>": "C",
|
|
"<9,4,4>": "C",
|
|
"<9,4,5>": "",
|
|
"<9,4,6>": "CharTech"
|
|
},
|
|
"<9,5>": {
|
|
"<9,5,1>": "",
|
|
"<9,5,2>": "",
|
|
"<9,5,3>": "",
|
|
"<9,5,4>": "",
|
|
"<9,5,5>": "",
|
|
"<9,5,6>": ""
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": "L",
|
|
"<11>": "1",
|
|
"<12>": "Stage",
|
|
"<13>": "1",
|
|
"<14>": "F",
|
|
"<15>": "1",
|
|
"<16>": "1",
|
|
"<17>": "1",
|
|
"<18>": "1",
|
|
"<19>": "1",
|
|
"<20>": "1",
|
|
"<21>": "1",
|
|
"<22>": "0",
|
|
"<23>": "0",
|
|
"<24>": "0",
|
|
"<25>": "0",
|
|
"<26>": "",
|
|
"<27>": "",
|
|
"<28>": "",
|
|
"<29>": "0",
|
|
"<30>": "1",
|
|
"<31>": "0",
|
|
"<32>": "0",
|
|
"<33>": "1",
|
|
"<34>": "16777215",
|
|
"<35>": "16777215"
|
|
}
|
|
}
|
|
} |