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5.7 KiB
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"header": {
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"version": 1,
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"type": "record"
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"body": {
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"record1": {
|
|
"<1>": "-2",
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"<2>": "-2",
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"<3>": "-1",
|
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"<4>": "-1",
|
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"<5>": "16777215",
|
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"<6>": {
|
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"<6,1>": {
|
|
"<6,1,1>": "MS Sans Serif",
|
|
"<6,1,2>": "-11",
|
|
"<6,1,3>": "400",
|
|
"<6,1,4>": "0",
|
|
"<6,1,5>": "0",
|
|
"<6,1,6>": "0",
|
|
"<6,1,7>": "0",
|
|
"<6,1,8>": "34",
|
|
"<6,1,9>": "0",
|
|
"<6,1,10>": "1",
|
|
"<6,1,11>": "2",
|
|
"<6,1,12>": "1",
|
|
"<6,1,13>": "0",
|
|
"<6,1,14>": "0"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<7>": "",
|
|
"<8>": {
|
|
"<8,1>": {
|
|
"<8,1,1>": "VER",
|
|
"<8,1,2>": "Verify"
|
|
},
|
|
"<8,2>": {
|
|
"<8,2,1>": "PREC",
|
|
"<8,2,2>": "Pre Clean"
|
|
},
|
|
"<8,3>": {
|
|
"<8,3,1>": "PREI",
|
|
"<8,3,2>": "Pre Surface Inspect"
|
|
},
|
|
"<8,4>": {
|
|
"<8,4,1>": "PRES",
|
|
"<8,4,2>": "Pre Surf Scan"
|
|
},
|
|
"<8,5>": {
|
|
"<8,5,1>": "RLOAD",
|
|
"<8,5,2>": "Ready To Load"
|
|
},
|
|
"<8,6>": {
|
|
"<8,6,1>": "LOAD",
|
|
"<8,6,2>": "Loaded"
|
|
},
|
|
"<8,7>": {
|
|
"<8,7,1>": "UNLOAD",
|
|
"<8,7,2>": "Unload"
|
|
},
|
|
"<8,8>": {
|
|
"<8,8,1>": "FWII",
|
|
"<8,8,2>": "First Wafer Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,9>": {
|
|
"<8,9,1>": "FWIS",
|
|
"<8,9,2>": "First Wafer Surfscan"
|
|
},
|
|
"<8,10>": {
|
|
"<8,10,1>": "ULMET",
|
|
"<8,10,2>": "Unld - Needs Met"
|
|
},
|
|
"<8,11>": {
|
|
"<8,11,1>": "ULOAD",
|
|
"<8,11,2>": "Unld - Met Comp"
|
|
},
|
|
"<8,12>": {
|
|
"<8,12,1>": "WFRI",
|
|
"<8,12,2>": " Wafer Inspect"
|
|
},
|
|
"<8,13>": {
|
|
"<8,13,1>": "WFRS",
|
|
"<8,13,2>": "Wafer Surf Scan"
|
|
},
|
|
"<8,14>": {
|
|
"<8,14,1>": "LWII",
|
|
"<8,14,2>": "Last Wafer Inspection"
|
|
},
|
|
"<8,15>": {
|
|
"<8,15,1>": "LWIS",
|
|
"<8,15,2>": "Last Wafer Surfscan"
|
|
},
|
|
"<8,16>": {
|
|
"<8,16,1>": "PSTC",
|
|
"<8,16,2>": "Post Clean"
|
|
},
|
|
"<8,17>": {
|
|
"<8,17,1>": "PSTI",
|
|
"<8,17,2>": "Post Inspect"
|
|
},
|
|
"<8,18>": {
|
|
"<8,18,1>": "PSTS",
|
|
"<8,18,2>": "Post Surf Scan"
|
|
},
|
|
"<8,19>": {
|
|
"<8,19,1>": "TLOAD",
|
|
"<8,19,2>": "EpiPRO Test Loaded"
|
|
},
|
|
"<8,20>": {
|
|
"<8,20,1>": "TULOAD",
|
|
"<8,20,2>": "EpiPRO Test Unloaded"
|
|
},
|
|
"<8,21>": {
|
|
"<8,21,1>": "RFQ",
|
|
"<8,21,2>": "Ready for QA"
|
|
},
|
|
"<8,22>": {
|
|
"<8,22,1>": "COMP",
|
|
"<8,22,2>": "QA Complete"
|
|
},
|
|
"<8,23>": {
|
|
"<8,23,1>": "SPEC",
|
|
"<8,23,2>": "Out of Spec"
|
|
},
|
|
"<8,24>": {
|
|
"<8,24,1>": "MET",
|
|
"<8,24,2>": "Incomplete Metrology"
|
|
},
|
|
"<8,25>": {
|
|
"<8,25,1>": "PSV",
|
|
"<8,25,2>": "Pre Ship Verification"
|
|
},
|
|
"<8,26>": ""
|
|
},
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "1",
|
|
"<9,1,2>": "10",
|
|
"<9,1,3>": "C",
|
|
"<9,1,4>": "C",
|
|
"<9,1,5>": "",
|
|
"<9,1,6>": "Code"
|
|
},
|
|
"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "2",
|
|
"<9,2,2>": "30",
|
|
"<9,2,3>": "L",
|
|
"<9,2,4>": "C",
|
|
"<9,2,5>": "",
|
|
"<9,2,6>": "Current Status Description"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": "L",
|
|
"<11>": "1",
|
|
"<12>": "RDS Current Status Codes",
|
|
"<13>": "1",
|
|
"<14>": "F",
|
|
"<15>": "1",
|
|
"<16>": "1",
|
|
"<17>": "1",
|
|
"<18>": "1",
|
|
"<19>": "1",
|
|
"<20>": "1",
|
|
"<21>": "1",
|
|
"<22>": "0",
|
|
"<23>": "0",
|
|
"<24>": "0",
|
|
"<25>": "0",
|
|
"<26>": "",
|
|
"<27>": "",
|
|
"<28>": "",
|
|
"<29>": "0",
|
|
"<30>": "1",
|
|
"<31>": "0",
|
|
"<32>": "0",
|
|
"<33>": "0",
|
|
"<34>": "16777215",
|
|
"<35>": "16777215"
|
|
}
|
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|
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