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4.4 KiB
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"header": {
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"version": 1,
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"body": {
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"<3>": "-1",
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"<4>": "-1",
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"<5>": "16777215",
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"<6>": {
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"<6,1>": {
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"<6,1,1>": "Tahoma",
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"<6,1,2>": "-11",
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"<6,1,12>": "0",
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"<6,1,13>": "11",
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"<6,1,14>": "2",
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"<6,1,15>": "0",
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"<6,1,16>": "21"
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}
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},
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"<7>": "",
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"<8>": {
|
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"<8,1>": {
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"<8,1,1>": "P_SOURCE",
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"<8,1,2>": "P Dopant Source"
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"<8,2,1>": "N_SOURCE",
|
|
"<8,2,2>": "N Dopant Source"
|
|
},
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"<8,3>": {
|
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"<8,3,1>": "P_DIL",
|
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"<8,3,2>": "P Dopant Dilution"
|
|
},
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"<8,4>": {
|
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"<8,4,1>": "N_DIL",
|
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"<8,4,2>": "N Dopant Dilution"
|
|
},
|
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"<8,5>": {
|
|
"<8,5,1>": "P_INJECT",
|
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"<8,5,2>": "P Dopant Injection"
|
|
},
|
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"<8,6>": {
|
|
"<8,6,1>": "N_INJECT",
|
|
"<8,6,2>": "N Dopant Injection"
|
|
},
|
|
"<8,7>": {
|
|
"<8,7,1>": "HCL_LOW",
|
|
"<8,7,2>": "Hydrogen Chloride Low Flow"
|
|
},
|
|
"<8,8>": {
|
|
"<8,8,1>": "HCL_HI",
|
|
"<8,8,2>": "Hydrogen Chloride High Flow"
|
|
},
|
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"<8,9>": {
|
|
"<8,9,1>": "MAIN",
|
|
"<8,9,2>": "Main Purge Gas"
|
|
},
|
|
"<8,10>": {
|
|
"<8,10,1>": "HEAVY",
|
|
"<8,10,2>": " Heavy Dopant"
|
|
},
|
|
"<8,11>": {
|
|
"<8,11,1>": "GERMANE",
|
|
"<8,11,2>": " Germane Dopant"
|
|
},
|
|
"<8,12>": {
|
|
"<8,12,1>": "DCS",
|
|
"<8,12,2>": "DiChloroSilane"
|
|
},
|
|
"<8,13>": {
|
|
"<8,13,1>": "SHAFT",
|
|
"<8,13,2>": "Shaft Purge"
|
|
},
|
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"<8,14>": {
|
|
"<8,14,1>": "SILANE",
|
|
"<8,14,2>": "Silane"
|
|
},
|
|
"<8,15>": {
|
|
"<8,15,1>": "VAPOR_CONT",
|
|
"<8,15,2>": "Vapor Concentration Control"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "1",
|
|
"<9,1,2>": "15",
|
|
"<9,1,3>": "C",
|
|
"<9,1,4>": "C",
|
|
"<9,1,5>": "",
|
|
"<9,1,6>": "Code"
|
|
},
|
|
"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "1",
|
|
"<9,2,2>": "30",
|
|
"<9,2,3>": "L",
|
|
"<9,2,4>": "C",
|
|
"<9,2,5>": "",
|
|
"<9,2,6>": "Function Description"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": "L",
|
|
"<11>": "2",
|
|
"<12>": "Reactor MFC Functions",
|
|
"<13>": "1",
|
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"<14>": "F",
|
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"<15>": "1",
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"<16>": "1",
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"<17>": "1",
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"<18>": "1",
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"<35>": "16777215"
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