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4.1 KiB
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"header": {
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"version": 1,
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"<6,1,15>": "0",
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"<6,1,16>": "21"
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"<8,1>": {
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|
|
},
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|
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"<8,2,1>": "SiH4_2%",
|
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"<8,2,2>": "Silane 2%"
|
|
},
|
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"<8,3>": {
|
|
"<8,3,1>": "SiH2Cl2",
|
|
"<8,3,2>": "Dichlorosilane"
|
|
},
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"<8,4>": {
|
|
"<8,4,1>": "SiHCl3",
|
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"<8,4,2>": "Trichlorosilane"
|
|
},
|
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"<8,5>": {
|
|
"<8,5,1>": "AsH3_100",
|
|
"<8,5,2>": "Arsine 100 ppm"
|
|
},
|
|
"<8,6>": {
|
|
"<8,6,1>": "PH3_50",
|
|
"<8,6,2>": "Phosphine 50 ppm"
|
|
},
|
|
"<8,7>": {
|
|
"<8,7,1>": "B2H6_100",
|
|
"<8,7,2>": "Diborane 100 ppm"
|
|
},
|
|
"<8,8>": {
|
|
"<8,8,1>": "B2H6_1%",
|
|
"<8,8,2>": "Heavy Dope - Diborane 1%"
|
|
},
|
|
"<8,9>": {
|
|
"<8,9,1>": "AsH3_1000",
|
|
"<8,9,2>": "Heavy Dope - Arsine 1000ppm (0.1%)"
|
|
},
|
|
"<8,10>": {
|
|
"<8,10,1>": "GeH4_10%",
|
|
"<8,10,2>": "Heavy Dope - Germane 10%"
|
|
},
|
|
"<8,11>": {
|
|
"<8,11,1>": "H2",
|
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"<8,11,2>": "Hydrogen"
|
|
},
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"<8,12>": {
|
|
"<8,12,1>": "N2",
|
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"<8,12,2>": "Nitrogen"
|
|
},
|
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"<8,13>": {
|
|
"<8,13,1>": "HCl",
|
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"<8,13,2>": "Hydrogen Chloride"
|
|
}
|
|
},
|
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"<9>": {
|
|
"<9,1>": {
|
|
"<9,1,1>": "1",
|
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"<9,1,2>": "25",
|
|
"<9,1,3>": "L",
|
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"<9,1,4>": "C",
|
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"<9,1,5>": "",
|
|
"<9,1,6>": "Gas"
|
|
},
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"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "2",
|
|
"<9,2,2>": "30",
|
|
"<9,2,3>": "L",
|
|
"<9,2,4>": "C",
|
|
"<9,2,5>": "",
|
|
"<9,2,6>": "Description"
|
|
}
|
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},
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"<10>": "L",
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"<11>": "2",
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"<12>": "Reactor Gases",
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"<13>": "1",
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