207 lines
6.7 KiB
JSON
207 lines
6.7 KiB
JSON
{
|
||
"header": {
|
||
"version": 1,
|
||
"type": "record"
|
||
},
|
||
"body": {
|
||
"record1": {
|
||
"<1>": "-1",
|
||
"<2>": "-1",
|
||
"<3>": "-1",
|
||
"<4>": "-1",
|
||
"<5>": "16777215",
|
||
"<6>": {
|
||
"<6,1>": {
|
||
"<6,1,1>": "MS LineDraw",
|
||
"<6,1,2>": "-13",
|
||
"<6,1,3>": "400",
|
||
"<6,1,4>": "0",
|
||
"<6,1,5>": "0",
|
||
"<6,1,6>": "0",
|
||
"<6,1,7>": "2",
|
||
"<6,1,8>": "49",
|
||
"<6,1,9>": "0",
|
||
"<6,1,10>": "3",
|
||
"<6,1,11>": "2",
|
||
"<6,1,12>": "1",
|
||
"<6,1,13>": "0",
|
||
"<6,1,14>": "0",
|
||
"<6,1,15>": "0",
|
||
"<6,1,16>": "0"
|
||
}
|
||
},
|
||
"<7>": "",
|
||
"<8>": {
|
||
"<8,1>": {
|
||
"<8,1,1>": "THICK",
|
||
"<8,1,2>": "Thickness",
|
||
"<8,1,3>": "MD5",
|
||
"<8,1,4>": "MD35",
|
||
"<8,1,5>": "æm",
|
||
"<8,1,6>": "Micron"
|
||
},
|
||
"<8,2>": {
|
||
"<8,2,1>": "THICKA",
|
||
"<8,2,2>": "Thick Angstroms",
|
||
"<8,2,3>": "MD5",
|
||
"<8,2,4>": "MD35",
|
||
"<8,2,5>": "",
|
||
"<8,2,6>": "Angstrom"
|
||
},
|
||
"<8,3>": {
|
||
"<8,3,1>": "RES",
|
||
"<8,3,2>": "Resistivity",
|
||
"<8,3,3>": "MD5",
|
||
"<8,3,4>": "MD35",
|
||
"<8,3,5>": "ê-cm",
|
||
"<8,3,6>": "Ohms-Cm"
|
||
},
|
||
"<8,4>": {
|
||
"<8,4,1>": "SRES",
|
||
"<8,4,2>": "SheetRho",
|
||
"<8,4,3>": "MD5",
|
||
"<8,4,4>": "MD35",
|
||
"<8,4,5>": "ê/Ü",
|
||
"<8,4,6>": "Ohms/Square"
|
||
},
|
||
"<8,5>": {
|
||
"<8,5,1>": "CRES",
|
||
"<8,5,2>": "HgCv Res",
|
||
"<8,5,3>": "MD5",
|
||
"<8,5,4>": "MD35",
|
||
"<8,5,5>": "ê-cm",
|
||
"<8,5,6>": "Ohms-Cm"
|
||
},
|
||
"<8,6>": {
|
||
"<8,6,1>": "CONC",
|
||
"<8,6,2>": "Concentration",
|
||
"<8,6,3>": ""
|
||
},
|
||
"<8,7>": {
|
||
"<8,7,1>": "MS21",
|
||
"<8,7,2>": "MS21",
|
||
"<8,7,3>": "cm-3",
|
||
"<8,7,4>": "Carriers-Cubic Cm"
|
||
},
|
||
"<8,8>": {
|
||
"<8,8,1>": "STRESS",
|
||
"<8,8,2>": "Stress",
|
||
"<8,8,3>": "MS21",
|
||
"<8,8,4>": "MS21",
|
||
"<8,8,5>": "dyne/cm-2",
|
||
"<8,8,6>": "Dyne/Square Cm"
|
||
},
|
||
"<8,9>": {
|
||
"<8,9,1>": "BOW",
|
||
"<8,9,2>": "Bow",
|
||
"<8,9,3>": "MD0",
|
||
"<8,9,4>": "MD0",
|
||
"<8,9,5>": "æm",
|
||
"<8,9,6>": "Micron"
|
||
},
|
||
"<8,10>": {
|
||
"<8,10,1>": "TRANS",
|
||
"<8,10,2>": "Transition",
|
||
"<8,10,3>": "MD2",
|
||
"<8,10,4>": "MD2",
|
||
"<8,10,5>": "æm",
|
||
"<8,10,6>": "Micron"
|
||
},
|
||
"<8,11>": {
|
||
"<8,11,1>": "EDGE",
|
||
"<8,11,2>": "Edge Inspection",
|
||
"<8,11,3>": "MD0",
|
||
"<8,11,4>": "MD0",
|
||
"<8,11,5>": "",
|
||
"<8,11,6>": "",
|
||
"<8,11,7>": ""
|
||
},
|
||
"<8,12>": ""
|
||
},
|
||
"<9>": {
|
||
"<9,1>": {
|
||
"<9,1,1>": "1",
|
||
"<9,1,2>": "10",
|
||
"<9,1,3>": "C",
|
||
"<9,1,4>": "C",
|
||
"<9,1,5>": "",
|
||
"<9,1,6>": "Prop Code"
|
||
},
|
||
"<9,2>": {
|
||
"<9,2,1>": "2",
|
||
"<9,2,2>": "20",
|
||
"<9,2,3>": "L",
|
||
"<9,2,4>": "C",
|
||
"<9,2,5>": "",
|
||
"<9,2,6>": "Property"
|
||
},
|
||
"<9,3>": {
|
||
"<9,3,1>": "",
|
||
"<9,3,2>": "10",
|
||
"<9,3,3>": "C",
|
||
"<9,3,4>": "C",
|
||
"<9,3,5>": "",
|
||
"<9,3,6>": "In Conv"
|
||
},
|
||
"<9,4>": {
|
||
"<9,4,1>": "3",
|
||
"<9,4,2>": "10",
|
||
"<9,4,3>": "C",
|
||
"<9,4,4>": "C",
|
||
"<9,4,5>": "",
|
||
"<9,4,6>": "Out Conv"
|
||
},
|
||
"<9,5>": {
|
||
"<9,5,1>": "4",
|
||
"<9,5,2>": "10",
|
||
"<9,5,3>": "C",
|
||
"<9,5,4>": "C",
|
||
"<9,5,5>": "",
|
||
"<9,5,6>": "Symbol"
|
||
},
|
||
"<9,6>": {
|
||
"<9,6,1>": "5",
|
||
"<9,6,2>": "20",
|
||
"<9,6,3>": "L",
|
||
"<9,6,4>": "C",
|
||
"<9,6,5>": "",
|
||
"<9,6,6>": "Units"
|
||
},
|
||
"<9,7>": {
|
||
"<9,7,1>": "",
|
||
"<9,7,2>": "",
|
||
"<9,7,3>": "",
|
||
"<9,7,4>": "",
|
||
"<9,7,5>": "",
|
||
"<9,7,6>": ""
|
||
}
|
||
},
|
||
"<10>": "L",
|
||
"<11>": "1",
|
||
"<12>": "Metrology Properties",
|
||
"<13>": "1",
|
||
"<14>": "F",
|
||
"<15>": "1",
|
||
"<16>": "1",
|
||
"<17>": "1",
|
||
"<18>": "1",
|
||
"<19>": "1",
|
||
"<20>": "1",
|
||
"<21>": "1",
|
||
"<22>": "0",
|
||
"<23>": "0",
|
||
"<24>": "0",
|
||
"<25>": "0",
|
||
"<26>": "",
|
||
"<27>": "",
|
||
"<28>": "",
|
||
"<29>": "0",
|
||
"<30>": "1",
|
||
"<31>": "0",
|
||
"<32>": "0",
|
||
"<33>": "1",
|
||
"<34>": "16777215",
|
||
"<35>": "16777215"
|
||
}
|
||
}
|
||
} |