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3.9 KiB
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"header": {
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"version": 1,
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"<9,1,4>": "C",
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"<9,1,6>": "WO"
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},
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"<9,2>": {
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"<9,2,1>": "RUN_ORDER_NUM",
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"<9,2,2>": "5",
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"<9,2,3>": "C",
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"<9,2,4>": "C",
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"<9,2,5>": "",
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"<9,2,6>": "Run No"
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},
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"<9,3>": {
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"<9,3,1>": "SEQ",
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"<9,3,2>": "9",
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"<9,3,4>": "C",
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"<9,3,5>": "MD0",
|
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"<9,3,6>": "RDS"
|
|
},
|
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"<9,4>": {
|
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"<9,4,1>": "REACTOR",
|
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"<9,4,2>": "6",
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|
"<9,4,3>": "C",
|
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"<9,4,4>": "C",
|
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"<9,4,5>": "MD0",
|
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"<9,4,6>": "Reactor"
|
|
},
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"<9,5>": {
|
|
"<9,5,1>": "BOX_TYPE",
|
|
"<9,5,2>": "10",
|
|
"<9,5,3>": "C",
|
|
"<9,5,4>": "C",
|
|
"<9,5,5>": "",
|
|
"<9,5,6>": "Box Type"
|
|
},
|
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"<9,6>": {
|
|
"<9,6,1>": "CURR_STATUS",
|
|
"<9,6,2>": "25",
|
|
"<9,6,3>": "L",
|
|
"<9,6,4>": "C",
|
|
"<9,6,5>": "[RDS_CURR_STATUS_CONV]",
|
|
"<9,6,6>": "Curr Status"
|
|
},
|
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"<9,7>": {
|
|
"<9,7,1>": "WFRS_OUT",
|
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"<9,7,2>": "9",
|
|
"<9,7,3>": "C",
|
|
"<9,7,4>": "C",
|
|
"<9,7,5>": "MD0,",
|
|
"<9,7,6>": "Avail Wafers"
|
|
},
|
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"<9,8>": {
|
|
"<9,8,1>": "PART_NUM",
|
|
"<9,8,2>": "20",
|
|
"<9,8,3>": "L",
|
|
"<9,8,4>": "C",
|
|
"<9,8,5>": "",
|
|
"<9,8,6>": "Part No"
|
|
}
|
|
},
|
|
"<10>": "K",
|
|
"<11>": "1",
|
|
"<12>": "Available MU Wafers",
|
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"<13>": "",
|
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"<14>": "E",
|
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"<15>": "1",
|
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"<16>": "1",
|
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"<17>": "1",
|
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"<18>": "1",
|
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"<19>": "1",
|
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"<20>": "1",
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"<22>": "0",
|
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"<23>": "1",
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"<24>": "1",
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"<33>": "0",
|
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"<34>": "16777215",
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"<35>": "16777215"
|
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}
|
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}
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