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3.4 KiB
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"header": {
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"version": 1,
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"<6,1,16>": "21"
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},
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"<7>": "",
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"<8,1>": {
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},
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"<8,2>": {
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"<8,2,1>": "QUALRECI",
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"<8,2,2>": "Particle Testing"
|
|
},
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"<8,3>": {
|
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"<8,3,1>": "QUALETCH",
|
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"<8,3,2>": "Etch Rate Testing"
|
|
},
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"<8,4>": {
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"<8,4,1>": "QUALDILUTE",
|
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"<8,4,2>": "Etch Rate Testing"
|
|
},
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"<8,5>": {
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"<8,5,1>": "DRYONLY",
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"<8,5,2>": "OCAP"
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},
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"<8,6>": {
|
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"<8,6,1>": "METAL",
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"<8,6,2>": "Tests for Metals"
|
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},
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"<8,7>": {
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"<8,7,1>": "SC1ONLY",
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"<8,7,2>": "SC1 Test Only"
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},
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"<8,8>": {
|
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"<8,8,1>": "SC2ONLY",
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"<8,8,2>": "SC2 Test Only"
|
|
}
|
|
},
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"<9>": {
|
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"<9,1>": {
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|
"<9,1,1>": "1",
|
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"<9,1,2>": "15",
|
|
"<9,1,3>": "C",
|
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"<9,1,4>": "C",
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"<9,1,5>": "",
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"<9,1,6>": "Recipe ID"
|
|
},
|
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"<9,2>": {
|
|
"<9,2,1>": "2",
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"<9,2,2>": "30",
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"<9,2,3>": "L",
|
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"<9,2,4>": "C",
|
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"<9,2,5>": "",
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"<9,2,6>": "Description"
|
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|
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"<10>": "L",
|
|
"<11>": "1",
|
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"<12>": "AKRION Test Recipes",
|
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"<13>": "1",
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"<14>": "F",
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"<15>": "1",
|
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"<16>": "1",
|
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"<17>": "1",
|
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"<18>": "1",
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"<19>": "1",
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"<21>": "1",
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"<23>": "0",
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"<32>": "0",
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"<34>": "16777215",
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"<35>": "16777215"
|
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