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open-insight/LSL2/OIWIN/SPC_LIMITS.json
Infineon\StieberD 09f1a66046 added remaining LSL2 forms
2024-03-25 14:36:50 -07:00

7722 lines
270 KiB
JSON
Raw Permalink Blame History

{
"header": {
"version": 1,
"type": "record"
},
"body": {
"record1": {
"<1>": "1010",
"<2>": "88",
"<3>": ""
},
"record2": {
"<1>": {
"<1,1>": "SPC_LIMITS",
"<1,2>": "",
"<1,3>": "WINDOW",
"<1,4>": "",
"<1,5>": "51",
"<1,6>": "69",
"<1,7>": "633",
"<1,8>": "471",
"<1,9>": "SPC Limits",
"<1,10>": {
"<1,10,1>": "0x82C00000",
"<1,10,2>": "0x"
},
"<1,11>": {
"<1,11,1>": "0x2100",
"<1,11,2>": "0x80010000"
},
"<1,12>": "0",
"<1,13>": "-2",
"<1,14>": "0",
"<1,15>": "",
"<1,16>": "",
"<1,17>": "CREATE",
"<1,18>": "",
"<1,19>": "",
"<1,20>": "",
"<1,21>": "",
"<1,22>": "",
"<1,23>": "",
"<1,24>": {
"<1,24,1>": "0",
"<1,24,2>": "0",
"<1,24,3>": "0",
"<1,24,4>": "0",
"<1,24,5>": "0",
"<1,24,6>": "0"
},
"<1,25>": "0",
"<1,26>": "0",
"<1,27>": "",
"<1,28>": "",
"<1,29>": "",
"<1,30>": "",
"<1,31>": "",
"<1,32>": {
"<1,32,1>": "0x7FFFE",
"<1,32,2>": "0xF001E988"
},
"<1,33>": "",
"<1,34>": "LSL2*IMAGE*ICO*DATASET",
"<1,35>": "",
"<1,36>": "",
"<1,37>": {
"<1,37,1>": "0x30001",
"<1,37,2>": "0x10001"
},
"<1,38>": {
"<1,38,1>": "1",
"<1,38,2>": "1"
},
"<1,39>": "",
"<1,40>": "0",
"<1,41>": "",
"<1,42>": "",
"<1,43>": "",
"<1,44>": "",
"<1,45>": "",
"<1,46>": "",
"<1,47>": "",
"<1,48>": "",
"<1,49>": "",
"<1,50>": "",
"<1,51>": "",
"<1,52>": ""
}
},
"record3": {
"<1>": {
"<1,1>": "GROUP_16",
"<1,2>": "",
"<1,3>": "GROUPBOX",
"<1,4>": "SPC_LIMITS",
"<1,5>": "308",
"<1,6>": "365",
"<1,7>": "258",
"<1,8>": "60",
"<1,9>": "Akrion HF Dilute Etch Removal SPC Limits",
"<1,10>": {
"<1,10,1>": "0x56000000",
"<1,10,2>": "0x"
},
"<1,11>": {
"<1,11,1>": "0x0",
"<1,11,2>": "0x80000000"
},
"<1,12>": "1",
"<1,13>": "-1",
"<1,14>": "0",
"<1,15>": {
"<1,15,1>": {
"<1,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<1,15,1,2>": "-11",
"<1,15,1,3>": "700",
"<1,15,1,4>": "0",
"<1,15,1,5>": "0",
"<1,15,1,6>": "0",
"<1,15,1,7>": "0",
"<1,15,1,8>": "34",
"<1,15,1,9>": "0",
"<1,15,1,10>": "1",
"<1,15,1,11>": "2",
"<1,15,1,12>": "1",
"<1,15,1,13>": "0",
"<1,15,1,14>": "0"
}
},
"<1,16>": "",
"<1,17>": "",
"<1,18>": "",
"<1,19>": "",
"<1,20>": "",
"<1,21>": "",
"<1,22>": "",
"<1,23>": "",
"<1,24>": "",
"<1,25>": "0",
"<1,26>": "0",
"<1,27>": "",
"<1,28>": "<<None>>",
"<1,29>": "<<None>>",
"<1,30>": "<<None>>",
"<1,31>": "0",
"<1,32>": {
"<1,32,1>": "0x7fffe",
"<1,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<1,33>": ""
},
"<2>": {
"<2,1>": "GROUP_15",
"<2,2>": "",
"<2,3>": "GROUPBOX",
"<2,4>": "SPC_LIMITS",
"<2,5>": "19",
"<2,6>": "297",
"<2,7>": "258",
"<2,8>": "60",
"<2,9>": "HF Akrion HF Last Particle SPC Limits",
"<2,10>": {
"<2,10,1>": "0x56000000",
"<2,10,2>": "0x"
},
"<2,11>": {
"<2,11,1>": "0x0",
"<2,11,2>": "0x80000000"
},
"<2,12>": "2",
"<2,13>": "-1",
"<2,14>": "0",
"<2,15>": {
"<2,15,1>": {
"<2,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<2,15,1,2>": "-11",
"<2,15,1,3>": "700",
"<2,15,1,4>": "0",
"<2,15,1,5>": "0",
"<2,15,1,6>": "0",
"<2,15,1,7>": "0",
"<2,15,1,8>": "34",
"<2,15,1,9>": "0",
"<2,15,1,10>": "1",
"<2,15,1,11>": "2",
"<2,15,1,12>": "1",
"<2,15,1,13>": "0",
"<2,15,1,14>": "0"
}
},
"<2,16>": "",
"<2,17>": "",
"<2,18>": "",
"<2,19>": "",
"<2,20>": "",
"<2,21>": "",
"<2,22>": "",
"<2,23>": "",
"<2,24>": "",
"<2,25>": "0",
"<2,26>": "0",
"<2,27>": "",
"<2,28>": "<<None>>",
"<2,29>": "<<None>>",
"<2,30>": "<<None>>",
"<2,31>": "0",
"<2,32>": {
"<2,32,1>": "0x7fffe",
"<2,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<2,33>": ""
},
"<3>": {
"<3,1>": "GROUP_11",
"<3,2>": "",
"<3,3>": "GROUPBOX",
"<3,4>": "SPC_LIMITS",
"<3,5>": "8",
"<3,6>": "120:1",
"<3,7>": "603",
"<3,8>": "100",
"<3,9>": "FTIR Stdev SPC Limits",
"<3,10>": {
"<3,10,1>": "0x56000000",
"<3,10,2>": "0x"
},
"<3,11>": {
"<3,11,1>": "0x0",
"<3,11,2>": "0x80000000"
},
"<3,12>": "3",
"<3,13>": "-1",
"<3,14>": "0",
"<3,15>": {
"<3,15,1>": {
"<3,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<3,15,1,2>": "-11",
"<3,15,1,3>": "700",
"<3,15,1,4>": "0",
"<3,15,1,5>": "0",
"<3,15,1,6>": "0",
"<3,15,1,7>": "0",
"<3,15,1,8>": "34",
"<3,15,1,9>": "0",
"<3,15,1,10>": "1",
"<3,15,1,11>": "2",
"<3,15,1,12>": "1",
"<3,15,1,13>": "0",
"<3,15,1,14>": "0"
}
},
"<3,16>": "",
"<3,17>": "",
"<3,18>": "",
"<3,19>": "",
"<3,20>": "",
"<3,21>": "",
"<3,22>": "",
"<3,23>": "",
"<3,24>": "",
"<3,25>": "0",
"<3,26>": "0",
"<3,27>": "",
"<3,28>": "<<None>>",
"<3,29>": "<<None>>",
"<3,30>": "<<None>>",
"<3,31>": "0",
"<3,32>": {
"<3,32,1>": "0x7fffe",
"<3,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<3,33>": ""
},
"<4>": {
"<4,1>": "GROUP_10",
"<4,2>": "",
"<4,3>": "GROUPBOX",
"<4,4>": "SPC_LIMITS",
"<4,5>": "8",
"<4,6>": "17:1",
"<4,7>": "603",
"<4,8>": "100",
"<4,9>": "FTIR Thickness SPC Limits",
"<4,10>": {
"<4,10,1>": "0x56000000",
"<4,10,2>": "0x"
},
"<4,11>": {
"<4,11,1>": "0x0",
"<4,11,2>": "0x80000000"
},
"<4,12>": "4",
"<4,13>": "-1",
"<4,14>": "0",
"<4,15>": {
"<4,15,1>": {
"<4,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<4,15,1,2>": "-11",
"<4,15,1,3>": "700",
"<4,15,1,4>": "0",
"<4,15,1,5>": "0",
"<4,15,1,6>": "0",
"<4,15,1,7>": "0",
"<4,15,1,8>": "34",
"<4,15,1,9>": "0",
"<4,15,1,10>": "1",
"<4,15,1,11>": "2",
"<4,15,1,12>": "1",
"<4,15,1,13>": "0",
"<4,15,1,14>": "0"
}
},
"<4,16>": "",
"<4,17>": "",
"<4,18>": "",
"<4,19>": "",
"<4,20>": "",
"<4,21>": "",
"<4,22>": "",
"<4,23>": "",
"<4,24>": "",
"<4,25>": "0",
"<4,26>": "0",
"<4,27>": "",
"<4,28>": "<<None>>",
"<4,29>": "<<None>>",
"<4,30>": "<<None>>",
"<4,31>": "0",
"<4,32>": {
"<4,32,1>": "0x7fffe",
"<4,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<4,33>": ""
},
"<5>": {
"<5,1>": "GROUP_8",
"<5,2>": "",
"<5,3>": "GROUPBOX",
"<5,4>": "SPC_LIMITS",
"<5,5>": "7",
"<5,6>": "326:1",
"<5,7>": "603",
"<5,8>": "100",
"<5,9>": "4PP Stdev SPC Limits",
"<5,10>": {
"<5,10,1>": "0x56000000",
"<5,10,2>": "0x"
},
"<5,11>": {
"<5,11,1>": "0x0",
"<5,11,2>": "0x80000000"
},
"<5,12>": "5",
"<5,13>": "-1",
"<5,14>": "0",
"<5,15>": {
"<5,15,1>": {
"<5,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<5,15,1,2>": "-11",
"<5,15,1,3>": "700",
"<5,15,1,4>": "0",
"<5,15,1,5>": "0",
"<5,15,1,6>": "0",
"<5,15,1,7>": "0",
"<5,15,1,8>": "34",
"<5,15,1,9>": "0",
"<5,15,1,10>": "1",
"<5,15,1,11>": "2",
"<5,15,1,12>": "1",
"<5,15,1,13>": "0",
"<5,15,1,14>": "0"
}
},
"<5,16>": "",
"<5,17>": "",
"<5,18>": "",
"<5,19>": "",
"<5,20>": "",
"<5,21>": "",
"<5,22>": "",
"<5,23>": "",
"<5,24>": "",
"<5,25>": "0",
"<5,26>": "0",
"<5,27>": "",
"<5,28>": "<<None>>",
"<5,29>": "<<None>>",
"<5,30>": "<<None>>",
"<5,31>": "0",
"<5,32>": {
"<5,32,1>": "0x7fffe",
"<5,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<5,33>": ""
},
"<6>": {
"<6,1>": "GROUP_5",
"<6,2>": "",
"<6,3>": "GROUPBOX",
"<6,4>": "SPC_LIMITS",
"<6,5>": "8",
"<6,6>": "222:1",
"<6,7>": "603",
"<6,8>": "100",
"<6,9>": "4PP RHO SPC Limits",
"<6,10>": {
"<6,10,1>": "0x56000000",
"<6,10,2>": "0x"
},
"<6,11>": {
"<6,11,1>": "0x0",
"<6,11,2>": "0x80000000"
},
"<6,12>": "6",
"<6,13>": "-1",
"<6,14>": "0",
"<6,15>": {
"<6,15,1>": {
"<6,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<6,15,1,2>": "-11",
"<6,15,1,3>": "700",
"<6,15,1,4>": "0",
"<6,15,1,5>": "0",
"<6,15,1,6>": "0",
"<6,15,1,7>": "0",
"<6,15,1,8>": "34",
"<6,15,1,9>": "0",
"<6,15,1,10>": "1",
"<6,15,1,11>": "2",
"<6,15,1,12>": "1",
"<6,15,1,13>": "0",
"<6,15,1,14>": "0"
}
},
"<6,16>": "",
"<6,17>": "",
"<6,18>": "",
"<6,19>": "",
"<6,20>": "",
"<6,21>": "",
"<6,22>": "",
"<6,23>": "",
"<6,24>": "",
"<6,25>": "0",
"<6,26>": "0",
"<6,27>": "",
"<6,28>": "<<None>>",
"<6,29>": "<<None>>",
"<6,30>": "<<None>>",
"<6,31>": "0",
"<6,32>": {
"<6,32,1>": "0x7fffe",
"<6,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<6,33>": ""
},
"<7>": {
"<7,1>": "GROUP_7",
"<7,2>": "",
"<7,3>": "GROUPBOX",
"<7,4>": "SPC_LIMITS",
"<7,5>": "307",
"<7,6>": "169",
"<7,7>": "258",
"<7,8>": "60",
"<7,9>": "Wafer Etch Removal SPC Limits",
"<7,10>": {
"<7,10,1>": "0x56000000",
"<7,10,2>": "0x"
},
"<7,11>": {
"<7,11,1>": "0x0",
"<7,11,2>": "0x80000000"
},
"<7,12>": "7",
"<7,13>": "-1",
"<7,14>": "0",
"<7,15>": {
"<7,15,1>": {
"<7,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<7,15,1,2>": "-11",
"<7,15,1,3>": "700",
"<7,15,1,4>": "0",
"<7,15,1,5>": "0",
"<7,15,1,6>": "0",
"<7,15,1,7>": "0",
"<7,15,1,8>": "34",
"<7,15,1,9>": "0",
"<7,15,1,10>": "1",
"<7,15,1,11>": "2",
"<7,15,1,12>": "1",
"<7,15,1,13>": "0",
"<7,15,1,14>": "0"
}
},
"<7,16>": "",
"<7,17>": "",
"<7,18>": "",
"<7,19>": "",
"<7,20>": "",
"<7,21>": "",
"<7,22>": "",
"<7,23>": "",
"<7,24>": "",
"<7,25>": "0",
"<7,26>": "0",
"<7,27>": "",
"<7,28>": "<<None>>",
"<7,29>": "<<None>>",
"<7,30>": "<<None>>",
"<7,31>": "0",
"<7,32>": {
"<7,32,1>": "0x7fffe",
"<7,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<7,33>": ""
},
"<8>": {
"<8,1>": "GROUP_4",
"<8,2>": "",
"<8,3>": "GROUPBOX",
"<8,4>": "SPC_LIMITS",
"<8,5>": "307",
"<8,6>": "234",
"<8,7>": "258",
"<8,8>": "60",
"<8,9>": "HF Etch Removal SPC Limits",
"<8,10>": {
"<8,10,1>": "0x56000000",
"<8,10,2>": "0x"
},
"<8,11>": {
"<8,11,1>": "0x0",
"<8,11,2>": "0x80000000"
},
"<8,12>": "8",
"<8,13>": "-1",
"<8,14>": "0",
"<8,15>": {
"<8,15,1>": {
"<8,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<8,15,1,2>": "-11",
"<8,15,1,3>": "700",
"<8,15,1,4>": "0",
"<8,15,1,5>": "0",
"<8,15,1,6>": "0",
"<8,15,1,7>": "0",
"<8,15,1,8>": "34",
"<8,15,1,9>": "0",
"<8,15,1,10>": "1",
"<8,15,1,11>": "2",
"<8,15,1,12>": "1",
"<8,15,1,13>": "0",
"<8,15,1,14>": "0"
}
},
"<8,16>": "",
"<8,17>": "",
"<8,18>": "",
"<8,19>": "",
"<8,20>": "",
"<8,21>": "",
"<8,22>": "",
"<8,23>": "",
"<8,24>": "",
"<8,25>": "0",
"<8,26>": "0",
"<8,27>": "",
"<8,28>": "<<None>>",
"<8,29>": "<<None>>",
"<8,30>": "<<None>>",
"<8,31>": "0",
"<8,32>": {
"<8,32,1>": "0x7fffe",
"<8,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<8,33>": ""
},
"<9>": {
"<9,1>": "GROUP_3",
"<9,2>": "",
"<9,3>": "GROUPBOX",
"<9,4>": "SPC_LIMITS",
"<9,5>": "19",
"<9,6>": "161",
"<9,7>": "258",
"<9,8>": "60",
"<9,9>": "HF Hood Particle SPC Limits",
"<9,10>": {
"<9,10,1>": "0x56000000",
"<9,10,2>": "0x"
},
"<9,11>": {
"<9,11,1>": "0x0",
"<9,11,2>": "0x80000000"
},
"<9,12>": "9",
"<9,13>": "-1",
"<9,14>": "0",
"<9,15>": {
"<9,15,1>": {
"<9,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<9,15,1,2>": "-11",
"<9,15,1,3>": "700",
"<9,15,1,4>": "0",
"<9,15,1,5>": "0",
"<9,15,1,6>": "0",
"<9,15,1,7>": "0",
"<9,15,1,8>": "34",
"<9,15,1,9>": "0",
"<9,15,1,10>": "1",
"<9,15,1,11>": "2",
"<9,15,1,12>": "1",
"<9,15,1,13>": "0",
"<9,15,1,14>": "0"
}
},
"<9,16>": "",
"<9,17>": "",
"<9,18>": "",
"<9,19>": "",
"<9,20>": "",
"<9,21>": "",
"<9,22>": "",
"<9,23>": "",
"<9,24>": "",
"<9,25>": "0",
"<9,26>": "0",
"<9,27>": "",
"<9,28>": "<<None>>",
"<9,29>": "<<None>>",
"<9,30>": "<<None>>",
"<9,31>": "0",
"<9,32>": {
"<9,32,1>": "0x7fffe",
"<9,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<9,33>": ""
},
"<10>": {
"<10,1>": "GROUP_2",
"<10,2>": "",
"<10,3>": "GROUPBOX",
"<10,4>": "SPC_LIMITS",
"<10,5>": "19",
"<10,6>": "94",
"<10,7>": "258",
"<10,8>": "60",
"<10,9>": "SC1 Particle SPC Limits",
"<10,10>": {
"<10,10,1>": "0x56000000",
"<10,10,2>": "0x"
},
"<10,11>": {
"<10,11,1>": "0x0",
"<10,11,2>": "0x80000000"
},
"<10,12>": "10",
"<10,13>": "-1",
"<10,14>": "0",
"<10,15>": {
"<10,15,1>": {
"<10,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<10,15,1,2>": "-11",
"<10,15,1,3>": "700",
"<10,15,1,4>": "0",
"<10,15,1,5>": "0",
"<10,15,1,6>": "0",
"<10,15,1,7>": "0",
"<10,15,1,8>": "34",
"<10,15,1,9>": "0",
"<10,15,1,10>": "1",
"<10,15,1,11>": "2",
"<10,15,1,12>": "1",
"<10,15,1,13>": "0",
"<10,15,1,14>": "0"
}
},
"<10,16>": "",
"<10,17>": "",
"<10,18>": "",
"<10,19>": "",
"<10,20>": "",
"<10,21>": "",
"<10,22>": "",
"<10,23>": "",
"<10,24>": "",
"<10,25>": "0",
"<10,26>": "0",
"<10,27>": "",
"<10,28>": "<<None>>",
"<10,29>": "<<None>>",
"<10,30>": "<<None>>",
"<10,31>": "0",
"<10,32>": {
"<10,32,1>": "0x7fffe",
"<10,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<10,33>": ""
},
"<11>": {
"<11,1>": "GROUP_1",
"<11,2>": "",
"<11,3>": "GROUPBOX",
"<11,4>": "SPC_LIMITS",
"<11,5>": "20",
"<11,6>": "29",
"<11,7>": "258",
"<11,8>": "60",
"<11,9>": "SRD Particle SPC Limits",
"<11,10>": {
"<11,10,1>": "0x56000000",
"<11,10,2>": "0x"
},
"<11,11>": {
"<11,11,1>": "0x0",
"<11,11,2>": "0x80000000"
},
"<11,12>": "11",
"<11,13>": "-1",
"<11,14>": "0",
"<11,15>": {
"<11,15,1>": {
"<11,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<11,15,1,2>": "-11",
"<11,15,1,3>": "700",
"<11,15,1,4>": "0",
"<11,15,1,5>": "0",
"<11,15,1,6>": "0",
"<11,15,1,7>": "0",
"<11,15,1,8>": "34",
"<11,15,1,9>": "0",
"<11,15,1,10>": "1",
"<11,15,1,11>": "2",
"<11,15,1,12>": "1",
"<11,15,1,13>": "0",
"<11,15,1,14>": "0"
}
},
"<11,16>": "",
"<11,17>": "",
"<11,18>": "",
"<11,19>": "",
"<11,20>": "",
"<11,21>": "",
"<11,22>": "",
"<11,23>": "",
"<11,24>": "",
"<11,25>": "0",
"<11,26>": "0",
"<11,27>": "",
"<11,28>": "<<None>>",
"<11,29>": "<<None>>",
"<11,30>": "<<None>>",
"<11,31>": "0",
"<11,32>": {
"<11,32,1>": "0x7fffe",
"<11,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<11,33>": ""
},
"<12>": {
"<12,1>": "GROUP_9",
"<12,2>": "",
"<12,3>": "GROUPBOX",
"<12,4>": "SPC_LIMITS",
"<12,5>": "7",
"<12,6>": "4",
"<12,7>": "279",
"<12,8>": "362",
"<12,9>": "Cleaning Equipment",
"<12,10>": {
"<12,10,1>": "0x56000000",
"<12,10,2>": "0x"
},
"<12,11>": {
"<12,11,1>": "0x0",
"<12,11,2>": "0x80000000"
},
"<12,12>": "12",
"<12,13>": "-1",
"<12,14>": "0",
"<12,15>": {
"<12,15,1>": {
"<12,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<12,15,1,2>": "-11",
"<12,15,1,3>": "700",
"<12,15,1,4>": "0",
"<12,15,1,5>": "0",
"<12,15,1,6>": "0",
"<12,15,1,7>": "0",
"<12,15,1,8>": "34",
"<12,15,1,9>": "0",
"<12,15,1,10>": "1",
"<12,15,1,11>": "2",
"<12,15,1,12>": "1",
"<12,15,1,13>": "0",
"<12,15,1,14>": "0"
}
},
"<12,16>": "",
"<12,17>": "",
"<12,18>": "",
"<12,19>": "",
"<12,20>": "",
"<12,21>": "",
"<12,22>": "",
"<12,23>": "",
"<12,24>": "",
"<12,25>": "0",
"<12,26>": "0",
"<12,27>": "",
"<12,28>": "<<None>>",
"<12,29>": "<<None>>",
"<12,30>": "<<None>>",
"<12,31>": "0",
"<12,32>": {
"<12,32,1>": "0x7fffe",
"<12,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<12,33>": ""
},
"<13>": {
"<13,1>": "GROUP_11B",
"<13,2>": "",
"<13,3>": "GROUPBOX",
"<13,4>": "SPC_LIMITS",
"<13,5>": "307",
"<13,6>": "38",
"<13,7>": "258",
"<13,8>": "60",
"<13,9>": "Reactor Partical Limits",
"<13,10>": {
"<13,10,1>": "0x56000000",
"<13,10,2>": "0x"
},
"<13,11>": {
"<13,11,1>": "0x0",
"<13,11,2>": "0x80000000"
},
"<13,12>": "13",
"<13,13>": "-1",
"<13,14>": "0",
"<13,15>": {
"<13,15,1>": {
"<13,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<13,15,1,2>": "-11",
"<13,15,1,3>": "700",
"<13,15,1,4>": "0",
"<13,15,1,5>": "0",
"<13,15,1,6>": "0",
"<13,15,1,7>": "0",
"<13,15,1,8>": "34",
"<13,15,1,9>": "0",
"<13,15,1,10>": "1",
"<13,15,1,11>": "2",
"<13,15,1,12>": "1",
"<13,15,1,13>": "0",
"<13,15,1,14>": "0"
}
},
"<13,16>": "",
"<13,17>": "",
"<13,18>": "",
"<13,19>": "",
"<13,20>": "",
"<13,21>": "",
"<13,22>": "",
"<13,23>": "",
"<13,24>": "",
"<13,25>": "0",
"<13,26>": "0",
"<13,27>": "",
"<13,28>": "<<None>>",
"<13,29>": "<<None>>",
"<13,30>": "<<None>>",
"<13,31>": "0",
"<13,32>": {
"<13,32,1>": "0x7fffe",
"<13,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<13,33>": ""
},
"<14>": {
"<14,1>": "GROUP_12",
"<14,2>": "",
"<14,3>": "GROUPBOX",
"<14,4>": "SPC_LIMITS",
"<14,5>": "307",
"<14,6>": "103",
"<14,7>": "258",
"<14,8>": "60",
"<14,9>": "Reactor Haze Limits",
"<14,10>": {
"<14,10,1>": "0x56000000",
"<14,10,2>": "0x"
},
"<14,11>": {
"<14,11,1>": "0x0",
"<14,11,2>": "0x80000000"
},
"<14,12>": "14",
"<14,13>": "-1",
"<14,14>": "0",
"<14,15>": {
"<14,15,1>": {
"<14,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<14,15,1,2>": "-11",
"<14,15,1,3>": "700",
"<14,15,1,4>": "0",
"<14,15,1,5>": "0",
"<14,15,1,6>": "0",
"<14,15,1,7>": "0",
"<14,15,1,8>": "34",
"<14,15,1,9>": "0",
"<14,15,1,10>": "1",
"<14,15,1,11>": "2",
"<14,15,1,12>": "1",
"<14,15,1,13>": "0",
"<14,15,1,14>": "0"
}
},
"<14,16>": "",
"<14,17>": "",
"<14,18>": "",
"<14,19>": "",
"<14,20>": "",
"<14,21>": "",
"<14,22>": "",
"<14,23>": "",
"<14,24>": "",
"<14,25>": "0",
"<14,26>": "0",
"<14,27>": "",
"<14,28>": "<<None>>",
"<14,29>": "<<None>>",
"<14,30>": "<<None>>",
"<14,31>": "0",
"<14,32>": {
"<14,32,1>": "0x7fffe",
"<14,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<14,33>": ""
},
"<15>": {
"<15,1>": "GROUP_13",
"<15,2>": "",
"<15,3>": "GROUPBOX",
"<15,4>": "SPC_LIMITS",
"<15,5>": "308",
"<15,6>": "301",
"<15,7>": "258",
"<15,8>": "60",
"<15,9>": "Akrion HF Etch Removal SPC Limits",
"<15,10>": {
"<15,10,1>": "0x56000000",
"<15,10,2>": "0x"
},
"<15,11>": {
"<15,11,1>": "0x0",
"<15,11,2>": "0x80000000"
},
"<15,12>": "15",
"<15,13>": "-1",
"<15,14>": "0",
"<15,15>": {
"<15,15,1>": {
"<15,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<15,15,1,2>": "-11",
"<15,15,1,3>": "700",
"<15,15,1,4>": "0",
"<15,15,1,5>": "0",
"<15,15,1,6>": "0",
"<15,15,1,7>": "0",
"<15,15,1,8>": "34",
"<15,15,1,9>": "0",
"<15,15,1,10>": "1",
"<15,15,1,11>": "2",
"<15,15,1,12>": "1",
"<15,15,1,13>": "0",
"<15,15,1,14>": "0"
}
},
"<15,16>": "",
"<15,17>": "",
"<15,18>": "",
"<15,19>": "",
"<15,20>": "",
"<15,21>": "",
"<15,22>": "",
"<15,23>": "",
"<15,24>": "",
"<15,25>": "0",
"<15,26>": "0",
"<15,27>": "",
"<15,28>": "<<None>>",
"<15,29>": "<<None>>",
"<15,30>": "<<None>>",
"<15,31>": "0",
"<15,32>": {
"<15,32,1>": "0x7fffe",
"<15,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<15,33>": ""
},
"<16>": {
"<16,1>": "GROUP_14",
"<16,2>": "",
"<16,3>": "GROUPBOX",
"<16,4>": "SPC_LIMITS",
"<16,5>": "19",
"<16,6>": "227",
"<16,7>": "258",
"<16,8>": "60",
"<16,9>": "HF Akrion Qual Particle SPC Limits",
"<16,10>": {
"<16,10,1>": "0x56000000",
"<16,10,2>": "0x"
},
"<16,11>": {
"<16,11,1>": "0x0",
"<16,11,2>": "0x80000000"
},
"<16,12>": "16",
"<16,13>": "-1",
"<16,14>": "0",
"<16,15>": {
"<16,15,1>": {
"<16,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<16,15,1,2>": "-11",
"<16,15,1,3>": "700",
"<16,15,1,4>": "0",
"<16,15,1,5>": "0",
"<16,15,1,6>": "0",
"<16,15,1,7>": "0",
"<16,15,1,8>": "34",
"<16,15,1,9>": "0",
"<16,15,1,10>": "1",
"<16,15,1,11>": "2",
"<16,15,1,12>": "1",
"<16,15,1,13>": "0",
"<16,15,1,14>": "0"
}
},
"<16,16>": "",
"<16,17>": "",
"<16,18>": "",
"<16,19>": "",
"<16,20>": "",
"<16,21>": "",
"<16,22>": "",
"<16,23>": "",
"<16,24>": "",
"<16,25>": "0",
"<16,26>": "0",
"<16,27>": "",
"<16,28>": "<<None>>",
"<16,29>": "<<None>>",
"<16,30>": "<<None>>",
"<16,31>": "0",
"<16,32>": {
"<16,32,1>": "0x7fffe",
"<16,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<16,33>": ""
},
"<17>": {
"<17,1>": "GROUP_17",
"<17,2>": "",
"<17,3>": "GROUPBOX",
"<17,4>": "SPC_LIMITS",
"<17,5>": "8",
"<17,6>": "120:2",
"<17,7>": "603",
"<17,8>": "100",
"<17,9>": "ADE Stdev SPC Limits",
"<17,10>": {
"<17,10,1>": "0x56000000",
"<17,10,2>": "0x"
},
"<17,11>": {
"<17,11,1>": "0x0",
"<17,11,2>": "0x80000000"
},
"<17,12>": "17",
"<17,13>": "-1",
"<17,14>": "0",
"<17,15>": {
"<17,15,1>": {
"<17,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<17,15,1,2>": "-11",
"<17,15,1,3>": "700",
"<17,15,1,4>": "0",
"<17,15,1,5>": "0",
"<17,15,1,6>": "0",
"<17,15,1,7>": "0",
"<17,15,1,8>": "34",
"<17,15,1,9>": "0",
"<17,15,1,10>": "1",
"<17,15,1,11>": "2",
"<17,15,1,12>": "1",
"<17,15,1,13>": "0",
"<17,15,1,14>": "0"
}
},
"<17,16>": "",
"<17,17>": "",
"<17,18>": "",
"<17,19>": "",
"<17,20>": "",
"<17,21>": "",
"<17,22>": "",
"<17,23>": "",
"<17,24>": "",
"<17,25>": "0",
"<17,26>": "0",
"<17,27>": "",
"<17,28>": "<<None>>",
"<17,29>": "<<None>>",
"<17,30>": "<<None>>",
"<17,31>": "0",
"<17,32>": {
"<17,32,1>": "0x7fffe",
"<17,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<17,33>": ""
},
"<18>": {
"<18,1>": "GROUP_18",
"<18,2>": "",
"<18,3>": "GROUPBOX",
"<18,4>": "SPC_LIMITS",
"<18,5>": "8",
"<18,6>": "17:2",
"<18,7>": "603",
"<18,8>": "100",
"<18,9>": "ADE Thickness SPC Limits",
"<18,10>": {
"<18,10,1>": "0x56000000",
"<18,10,2>": "0x"
},
"<18,11>": {
"<18,11,1>": "0x0",
"<18,11,2>": "0x80000000"
},
"<18,12>": "18",
"<18,13>": "-1",
"<18,14>": "0",
"<18,15>": {
"<18,15,1>": {
"<18,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<18,15,1,2>": "-11",
"<18,15,1,3>": "700",
"<18,15,1,4>": "0",
"<18,15,1,5>": "0",
"<18,15,1,6>": "0",
"<18,15,1,7>": "0",
"<18,15,1,8>": "34",
"<18,15,1,9>": "0",
"<18,15,1,10>": "1",
"<18,15,1,11>": "2",
"<18,15,1,12>": "1",
"<18,15,1,13>": "0",
"<18,15,1,14>": "0"
}
},
"<18,16>": "",
"<18,17>": "",
"<18,18>": "",
"<18,19>": "",
"<18,20>": "",
"<18,21>": "",
"<18,22>": "",
"<18,23>": "",
"<18,24>": "",
"<18,25>": "0",
"<18,26>": "0",
"<18,27>": "",
"<18,28>": "<<None>>",
"<18,29>": "<<None>>",
"<18,30>": "<<None>>",
"<18,31>": "0",
"<18,32>": {
"<18,32,1>": "0x7fffe",
"<18,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<18,33>": ""
},
"<19>": {
"<19,1>": "SRD_MIN",
"<19,2>": "",
"<19,3>": "EDITFIELD",
"<19,4>": "SPC_LIMITS",
"<19,5>": "29",
"<19,6>": "59",
"<19,7>": "73",
"<19,8>": "21",
"<19,9>": "",
"<19,10>": {
"<19,10,1>": "0x56800080",
"<19,10,2>": "0x"
},
"<19,11>": {
"<19,11,1>": "0x4",
"<19,11,2>": "0x80000000"
},
"<19,12>": "19",
"<19,13>": "-2",
"<19,14>": "0",
"<19,15>": {
"<19,15,1>": {
"<19,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<19,15,1,2>": "-11",
"<19,15,1,3>": "700",
"<19,15,1,4>": "0",
"<19,15,1,5>": "0",
"<19,15,1,6>": "0",
"<19,15,1,7>": "0",
"<19,15,1,8>": "34",
"<19,15,1,9>": "0",
"<19,15,1,10>": "1",
"<19,15,1,11>": "2",
"<19,15,1,12>": "1",
"<19,15,1,13>": "0",
"<19,15,1,14>": "0"
}
},
"<19,16>": "",
"<19,17>": "",
"<19,18>": "",
"<19,19>": "",
"<19,20>": "",
"<19,21>": "",
"<19,22>": "",
"<19,23>": "",
"<19,24>": "",
"<19,25>": "0",
"<19,26>": "0",
"<19,27>": "",
"<19,28>": "'0'",
"<19,29>": "MD0",
"<19,30>": "<<None>>",
"<19,31>": "0",
"<19,32>": {
"<19,32,1>": "0x7fffe",
"<19,32,2>": "0xc0016508"
},
"<19,33>": "",
"<19,34>": "",
"<19,35>": "",
"<19,36>": "",
"<19,37>": "",
"<19,38>": "",
"<19,39>": "",
"<19,40>": "",
"<19,41>": "",
"<19,42>": "",
"<19,43>": "",
"<19,44>": "",
"<19,45>": "",
"<19,46>": "",
"<19,47>": "",
"<19,48>": "",
"<19,49>": "",
"<19,50>": "",
"<19,51>": "",
"<19,52>": ""
},
"<20>": {
"<20,1>": "SRD_MAX",
"<20,2>": "",
"<20,3>": "EDITFIELD",
"<20,4>": "SPC_LIMITS",
"<20,5>": "106",
"<20,6>": "59",
"<20,7>": "70",
"<20,8>": "21",
"<20,9>": "",
"<20,10>": {
"<20,10,1>": "0x56800080",
"<20,10,2>": "0x"
},
"<20,11>": {
"<20,11,1>": "0x0",
"<20,11,2>": "0x80000000"
},
"<20,12>": "20",
"<20,13>": "-2",
"<20,14>": "0",
"<20,15>": {
"<20,15,1>": {
"<20,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<20,15,1,2>": "-11",
"<20,15,1,3>": "700",
"<20,15,1,4>": "0",
"<20,15,1,5>": "0",
"<20,15,1,6>": "0",
"<20,15,1,7>": "0",
"<20,15,1,8>": "34",
"<20,15,1,9>": "0",
"<20,15,1,10>": "1",
"<20,15,1,11>": "2",
"<20,15,1,12>": "1",
"<20,15,1,13>": "0",
"<20,15,1,14>": "0"
}
},
"<20,16>": "",
"<20,17>": "",
"<20,18>": "",
"<20,19>": "",
"<20,20>": "",
"<20,21>": "",
"<20,22>": "",
"<20,23>": "",
"<20,24>": "",
"<20,25>": "0",
"<20,26>": "0",
"<20,27>": "",
"<20,28>": "(1,20)",
"<20,29>": "MD0",
"<20,30>": "<<None>>",
"<20,31>": "0",
"<20,32>": {
"<20,32,1>": "0x7fffe",
"<20,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<20,33>": "",
"<20,34>": "",
"<20,35>": "",
"<20,36>": "",
"<20,37>": "",
"<20,38>": "",
"<20,39>": "",
"<20,40>": "",
"<20,41>": "",
"<20,42>": "",
"<20,43>": "",
"<20,44>": "",
"<20,45>": "",
"<20,46>": "",
"<20,47>": "",
"<20,48>": "",
"<20,49>": "",
"<20,50>": "",
"<20,51>": "",
"<20,52>": ""
},
"<21>": {
"<21,1>": "SRD_CHG_DATE",
"<21,2>": "",
"<21,3>": "EDITFIELD",
"<21,4>": "SPC_LIMITS",
"<21,5>": "181",
"<21,6>": "59",
"<21,7>": "81",
"<21,8>": "21",
"<21,9>": "",
"<21,10>": {
"<21,10,1>": "0x56800080",
"<21,10,2>": "0x"
},
"<21,11>": {
"<21,11,1>": "0x0",
"<21,11,2>": "0x80000000"
},
"<21,12>": "21",
"<21,13>": "-2",
"<21,14>": "0",
"<21,15>": {
"<21,15,1>": {
"<21,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<21,15,1,2>": "-11",
"<21,15,1,3>": "700",
"<21,15,1,4>": "0",
"<21,15,1,5>": "0",
"<21,15,1,6>": "0",
"<21,15,1,7>": "0",
"<21,15,1,8>": "34",
"<21,15,1,9>": "0",
"<21,15,1,10>": "1",
"<21,15,1,11>": "2",
"<21,15,1,12>": "1",
"<21,15,1,13>": "0",
"<21,15,1,14>": "0"
}
},
"<21,16>": "",
"<21,17>": "",
"<21,18>": "",
"<21,19>": "",
"<21,20>": "",
"<21,21>": "",
"<21,22>": "",
"<21,23>": "",
"<21,24>": "",
"<21,25>": "0",
"<21,26>": "0",
"<21,27>": "",
"<21,28>": "(D)",
"<21,29>": "D2/",
"<21,30>": "<<None>>",
"<21,31>": "0",
"<21,32>": {
"<21,32,1>": "0x7fffe",
"<21,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<21,33>": "",
"<21,34>": "",
"<21,35>": "",
"<21,36>": "",
"<21,37>": "",
"<21,38>": "",
"<21,39>": "",
"<21,40>": "",
"<21,41>": "",
"<21,42>": "",
"<21,43>": "",
"<21,44>": "",
"<21,45>": "",
"<21,46>": "",
"<21,47>": "",
"<21,48>": "",
"<21,49>": "",
"<21,50>": "",
"<21,51>": "",
"<21,52>": ""
},
"<22>": {
"<22,1>": "SC1_MIN",
"<22,2>": "",
"<22,3>": "EDITFIELD",
"<22,4>": "SPC_LIMITS",
"<22,5>": "29",
"<22,6>": "126",
"<22,7>": "73",
"<22,8>": "21",
"<22,9>": "",
"<22,10>": {
"<22,10,1>": "0x56800080",
"<22,10,2>": "0x"
},
"<22,11>": {
"<22,11,1>": "0x0",
"<22,11,2>": "0x80000000"
},
"<22,12>": "22",
"<22,13>": "-2",
"<22,14>": "0",
"<22,15>": {
"<22,15,1>": {
"<22,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<22,15,1,2>": "-11",
"<22,15,1,3>": "700",
"<22,15,1,4>": "0",
"<22,15,1,5>": "0",
"<22,15,1,6>": "0",
"<22,15,1,7>": "0",
"<22,15,1,8>": "34",
"<22,15,1,9>": "0",
"<22,15,1,10>": "1",
"<22,15,1,11>": "2",
"<22,15,1,12>": "1",
"<22,15,1,13>": "0",
"<22,15,1,14>": "0"
}
},
"<22,16>": "",
"<22,17>": "",
"<22,18>": "",
"<22,19>": "",
"<22,20>": "",
"<22,21>": "",
"<22,22>": "",
"<22,23>": "",
"<22,24>": "",
"<22,25>": "0",
"<22,26>": "0",
"<22,27>": "",
"<22,28>": "'0'",
"<22,29>": "MD0",
"<22,30>": "<<None>>",
"<22,31>": "0",
"<22,32>": {
"<22,32,1>": "0x7fffe",
"<22,32,2>": "0xc0016508"
},
"<22,33>": "",
"<22,34>": "",
"<22,35>": "",
"<22,36>": "",
"<22,37>": "",
"<22,38>": "",
"<22,39>": "",
"<22,40>": "",
"<22,41>": "",
"<22,42>": "",
"<22,43>": "",
"<22,44>": "",
"<22,45>": "",
"<22,46>": "",
"<22,47>": "",
"<22,48>": "",
"<22,49>": "",
"<22,50>": "",
"<22,51>": "",
"<22,52>": ""
},
"<23>": {
"<23,1>": "SC1_MAX",
"<23,2>": "",
"<23,3>": "EDITFIELD",
"<23,4>": "SPC_LIMITS",
"<23,5>": "106",
"<23,6>": "126",
"<23,7>": "70",
"<23,8>": "21",
"<23,9>": "",
"<23,10>": {
"<23,10,1>": "0x56800080",
"<23,10,2>": "0x"
},
"<23,11>": {
"<23,11,1>": "0x0",
"<23,11,2>": "0x80000000"
},
"<23,12>": "23",
"<23,13>": "-2",
"<23,14>": "0",
"<23,15>": {
"<23,15,1>": {
"<23,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<23,15,1,2>": "-11",
"<23,15,1,3>": "700",
"<23,15,1,4>": "0",
"<23,15,1,5>": "0",
"<23,15,1,6>": "0",
"<23,15,1,7>": "0",
"<23,15,1,8>": "34",
"<23,15,1,9>": "0",
"<23,15,1,10>": "1",
"<23,15,1,11>": "2",
"<23,15,1,12>": "1",
"<23,15,1,13>": "0",
"<23,15,1,14>": "0"
}
},
"<23,16>": "",
"<23,17>": "",
"<23,18>": "",
"<23,19>": "",
"<23,20>": "",
"<23,21>": "",
"<23,22>": "",
"<23,23>": "",
"<23,24>": "",
"<23,25>": "0",
"<23,26>": "0",
"<23,27>": "",
"<23,28>": "(1,20)",
"<23,29>": "MD0",
"<23,30>": "<<None>>",
"<23,31>": "0",
"<23,32>": {
"<23,32,1>": "0x7fffe",
"<23,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<23,33>": "",
"<23,34>": "",
"<23,35>": "",
"<23,36>": "",
"<23,37>": "",
"<23,38>": "",
"<23,39>": "",
"<23,40>": "",
"<23,41>": "",
"<23,42>": "",
"<23,43>": "",
"<23,44>": "",
"<23,45>": "",
"<23,46>": "",
"<23,47>": "",
"<23,48>": "",
"<23,49>": "",
"<23,50>": "",
"<23,51>": "",
"<23,52>": ""
},
"<24>": {
"<24,1>": "SC1_CHG_DATE",
"<24,2>": "",
"<24,3>": "EDITFIELD",
"<24,4>": "SPC_LIMITS",
"<24,5>": "181",
"<24,6>": "126",
"<24,7>": "81",
"<24,8>": "21",
"<24,9>": "",
"<24,10>": {
"<24,10,1>": "0x56800080",
"<24,10,2>": "0x"
},
"<24,11>": {
"<24,11,1>": "0x0",
"<24,11,2>": "0x80000000"
},
"<24,12>": "24",
"<24,13>": "-2",
"<24,14>": "0",
"<24,15>": {
"<24,15,1>": {
"<24,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<24,15,1,2>": "-11",
"<24,15,1,3>": "700",
"<24,15,1,4>": "0",
"<24,15,1,5>": "0",
"<24,15,1,6>": "0",
"<24,15,1,7>": "0",
"<24,15,1,8>": "34",
"<24,15,1,9>": "0",
"<24,15,1,10>": "1",
"<24,15,1,11>": "2",
"<24,15,1,12>": "1",
"<24,15,1,13>": "0",
"<24,15,1,14>": "0"
}
},
"<24,16>": "",
"<24,17>": "",
"<24,18>": "",
"<24,19>": "",
"<24,20>": "",
"<24,21>": "",
"<24,22>": "",
"<24,23>": "",
"<24,24>": "",
"<24,25>": "0",
"<24,26>": "0",
"<24,27>": "",
"<24,28>": "(D)",
"<24,29>": "D2/",
"<24,30>": "<<None>>",
"<24,31>": "0",
"<24,32>": {
"<24,32,1>": "0x7fffe",
"<24,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<24,33>": "",
"<24,34>": "",
"<24,35>": "",
"<24,36>": "",
"<24,37>": "",
"<24,38>": "",
"<24,39>": "",
"<24,40>": "",
"<24,41>": "",
"<24,42>": "",
"<24,43>": "",
"<24,44>": "",
"<24,45>": "",
"<24,46>": "",
"<24,47>": "",
"<24,48>": "",
"<24,49>": "",
"<24,50>": "",
"<24,51>": "",
"<24,52>": ""
},
"<25>": {
"<25,1>": "HF_MIN",
"<25,2>": "",
"<25,3>": "EDITFIELD",
"<25,4>": "SPC_LIMITS",
"<25,5>": "29",
"<25,6>": "193",
"<25,7>": "73",
"<25,8>": "21",
"<25,9>": "",
"<25,10>": {
"<25,10,1>": "0x56800080",
"<25,10,2>": "0x"
},
"<25,11>": {
"<25,11,1>": "0x0",
"<25,11,2>": "0x80000000"
},
"<25,12>": "25",
"<25,13>": "-2",
"<25,14>": "0",
"<25,15>": {
"<25,15,1>": {
"<25,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<25,15,1,2>": "-11",
"<25,15,1,3>": "700",
"<25,15,1,4>": "0",
"<25,15,1,5>": "0",
"<25,15,1,6>": "0",
"<25,15,1,7>": "0",
"<25,15,1,8>": "34",
"<25,15,1,9>": "0",
"<25,15,1,10>": "1",
"<25,15,1,11>": "2",
"<25,15,1,12>": "1",
"<25,15,1,13>": "0",
"<25,15,1,14>": "0"
}
},
"<25,16>": "",
"<25,17>": "",
"<25,18>": "",
"<25,19>": "",
"<25,20>": "",
"<25,21>": "",
"<25,22>": "",
"<25,23>": "",
"<25,24>": "",
"<25,25>": "0",
"<25,26>": "0",
"<25,27>": "",
"<25,28>": "'0'",
"<25,29>": "MD0",
"<25,30>": "<<None>>",
"<25,31>": "0",
"<25,32>": {
"<25,32,1>": "0x7fffe",
"<25,32,2>": "0xc0016508"
},
"<25,33>": "",
"<25,34>": "",
"<25,35>": "",
"<25,36>": "",
"<25,37>": "",
"<25,38>": "",
"<25,39>": "",
"<25,40>": "",
"<25,41>": "",
"<25,42>": "",
"<25,43>": "",
"<25,44>": "",
"<25,45>": "",
"<25,46>": "",
"<25,47>": "",
"<25,48>": "",
"<25,49>": "",
"<25,50>": "",
"<25,51>": "",
"<25,52>": ""
},
"<26>": {
"<26,1>": "HF_MAX",
"<26,2>": "",
"<26,3>": "EDITFIELD",
"<26,4>": "SPC_LIMITS",
"<26,5>": "106",
"<26,6>": "193",
"<26,7>": "70",
"<26,8>": "21",
"<26,9>": "",
"<26,10>": {
"<26,10,1>": "0x56800080",
"<26,10,2>": "0x"
},
"<26,11>": {
"<26,11,1>": "0x0",
"<26,11,2>": "0x80000000"
},
"<26,12>": "26",
"<26,13>": "-2",
"<26,14>": "0",
"<26,15>": {
"<26,15,1>": {
"<26,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<26,15,1,2>": "-11",
"<26,15,1,3>": "700",
"<26,15,1,4>": "0",
"<26,15,1,5>": "0",
"<26,15,1,6>": "0",
"<26,15,1,7>": "0",
"<26,15,1,8>": "34",
"<26,15,1,9>": "0",
"<26,15,1,10>": "1",
"<26,15,1,11>": "2",
"<26,15,1,12>": "1",
"<26,15,1,13>": "0",
"<26,15,1,14>": "0"
}
},
"<26,16>": "",
"<26,17>": "",
"<26,18>": "",
"<26,19>": "",
"<26,20>": "",
"<26,21>": "",
"<26,22>": "",
"<26,23>": "",
"<26,24>": "",
"<26,25>": "0",
"<26,26>": "0",
"<26,27>": "",
"<26,28>": "(1,100)",
"<26,29>": "MD0",
"<26,30>": "<<None>>",
"<26,31>": "0",
"<26,32>": {
"<26,32,1>": "0x7fffe",
"<26,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<26,33>": "",
"<26,34>": "",
"<26,35>": "",
"<26,36>": "",
"<26,37>": "",
"<26,38>": "",
"<26,39>": "",
"<26,40>": "",
"<26,41>": "",
"<26,42>": "",
"<26,43>": "",
"<26,44>": "",
"<26,45>": "",
"<26,46>": "",
"<26,47>": "",
"<26,48>": "",
"<26,49>": "",
"<26,50>": "",
"<26,51>": "",
"<26,52>": ""
},
"<27>": {
"<27,1>": "HF_CHG_DATE",
"<27,2>": "",
"<27,3>": "EDITFIELD",
"<27,4>": "SPC_LIMITS",
"<27,5>": "181",
"<27,6>": "193",
"<27,7>": "81",
"<27,8>": "21",
"<27,9>": "",
"<27,10>": {
"<27,10,1>": "0x56800080",
"<27,10,2>": "0x"
},
"<27,11>": {
"<27,11,1>": "0x0",
"<27,11,2>": "0x80000000"
},
"<27,12>": "27",
"<27,13>": "-2",
"<27,14>": "0",
"<27,15>": {
"<27,15,1>": {
"<27,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<27,15,1,2>": "-11",
"<27,15,1,3>": "700",
"<27,15,1,4>": "0",
"<27,15,1,5>": "0",
"<27,15,1,6>": "0",
"<27,15,1,7>": "0",
"<27,15,1,8>": "34",
"<27,15,1,9>": "0",
"<27,15,1,10>": "1",
"<27,15,1,11>": "2",
"<27,15,1,12>": "1",
"<27,15,1,13>": "0",
"<27,15,1,14>": "0"
}
},
"<27,16>": "",
"<27,17>": "",
"<27,18>": "",
"<27,19>": "",
"<27,20>": "",
"<27,21>": "",
"<27,22>": "",
"<27,23>": "",
"<27,24>": "",
"<27,25>": "0",
"<27,26>": "0",
"<27,27>": "",
"<27,28>": "(D)",
"<27,29>": "D2/",
"<27,30>": "<<None>>",
"<27,31>": "0",
"<27,32>": {
"<27,32,1>": "0x7fffe",
"<27,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<27,33>": "",
"<27,34>": "",
"<27,35>": "",
"<27,36>": "",
"<27,37>": "",
"<27,38>": "",
"<27,39>": "",
"<27,40>": "",
"<27,41>": "",
"<27,42>": "",
"<27,43>": "",
"<27,44>": "",
"<27,45>": "",
"<27,46>": "",
"<27,47>": "",
"<27,48>": "",
"<27,49>": "",
"<27,50>": "",
"<27,51>": "",
"<27,52>": ""
},
"<28>": {
"<28,1>": "HF_AKQ_MIN",
"<28,2>": "",
"<28,3>": "EDITFIELD",
"<28,4>": "SPC_LIMITS",
"<28,5>": "30",
"<28,6>": "259",
"<28,7>": "73",
"<28,8>": "21",
"<28,9>": "",
"<28,10>": {
"<28,10,1>": "0x56800080",
"<28,10,2>": "0x"
},
"<28,11>": {
"<28,11,1>": "0x0",
"<28,11,2>": "0x80000000"
},
"<28,12>": "28",
"<28,13>": "-2",
"<28,14>": "0",
"<28,15>": {
"<28,15,1>": {
"<28,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<28,15,1,2>": "-11",
"<28,15,1,3>": "700",
"<28,15,1,4>": "0",
"<28,15,1,5>": "0",
"<28,15,1,6>": "0",
"<28,15,1,7>": "0",
"<28,15,1,8>": "34",
"<28,15,1,9>": "0",
"<28,15,1,10>": "1",
"<28,15,1,11>": "2",
"<28,15,1,12>": "1",
"<28,15,1,13>": "0",
"<28,15,1,14>": "0"
}
},
"<28,16>": "",
"<28,17>": "",
"<28,18>": "",
"<28,19>": "",
"<28,20>": "",
"<28,21>": "",
"<28,22>": "",
"<28,23>": "",
"<28,24>": "",
"<28,25>": "0",
"<28,26>": "0",
"<28,27>": "",
"<28,28>": "'0'",
"<28,29>": "MD0",
"<28,30>": "<<None>>",
"<28,31>": "0",
"<28,32>": {
"<28,32,1>": "0x7fffe",
"<28,32,2>": "0xc0016508"
},
"<28,33>": "",
"<28,34>": "",
"<28,35>": "",
"<28,36>": "",
"<28,37>": "",
"<28,38>": "",
"<28,39>": "",
"<28,40>": "",
"<28,41>": "",
"<28,42>": "",
"<28,43>": "",
"<28,44>": "",
"<28,45>": "",
"<28,46>": "",
"<28,47>": "",
"<28,48>": "",
"<28,49>": "",
"<28,50>": "",
"<28,51>": "",
"<28,52>": ""
},
"<29>": {
"<29,1>": "HF_AKQ_MAX",
"<29,2>": "",
"<29,3>": "EDITFIELD",
"<29,4>": "SPC_LIMITS",
"<29,5>": "106",
"<29,6>": "259",
"<29,7>": "70",
"<29,8>": "21",
"<29,9>": "",
"<29,10>": {
"<29,10,1>": "0x56800080",
"<29,10,2>": "0x"
},
"<29,11>": {
"<29,11,1>": "0x0",
"<29,11,2>": "0x80000000"
},
"<29,12>": "29",
"<29,13>": "-2",
"<29,14>": "0",
"<29,15>": {
"<29,15,1>": {
"<29,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<29,15,1,2>": "-11",
"<29,15,1,3>": "700",
"<29,15,1,4>": "0",
"<29,15,1,5>": "0",
"<29,15,1,6>": "0",
"<29,15,1,7>": "0",
"<29,15,1,8>": "34",
"<29,15,1,9>": "0",
"<29,15,1,10>": "1",
"<29,15,1,11>": "2",
"<29,15,1,12>": "1",
"<29,15,1,13>": "0",
"<29,15,1,14>": "0"
}
},
"<29,16>": "",
"<29,17>": "",
"<29,18>": "",
"<29,19>": "",
"<29,20>": "",
"<29,21>": "",
"<29,22>": "",
"<29,23>": "",
"<29,24>": "",
"<29,25>": "0",
"<29,26>": "0",
"<29,27>": "",
"<29,28>": "(1,100)",
"<29,29>": "MD0",
"<29,30>": "<<None>>",
"<29,31>": "0",
"<29,32>": {
"<29,32,1>": "0x7fffe",
"<29,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<29,33>": "",
"<29,34>": "",
"<29,35>": "",
"<29,36>": "",
"<29,37>": "",
"<29,38>": "",
"<29,39>": "",
"<29,40>": "",
"<29,41>": "",
"<29,42>": "",
"<29,43>": "",
"<29,44>": "",
"<29,45>": "",
"<29,46>": "",
"<29,47>": "",
"<29,48>": "",
"<29,49>": "",
"<29,50>": "",
"<29,51>": "",
"<29,52>": ""
},
"<30>": {
"<30,1>": "HF_AKQ_DATE",
"<30,2>": "",
"<30,3>": "EDITFIELD",
"<30,4>": "SPC_LIMITS",
"<30,5>": "181",
"<30,6>": "259",
"<30,7>": "81",
"<30,8>": "21",
"<30,9>": "",
"<30,10>": {
"<30,10,1>": "0x56800080",
"<30,10,2>": "0x"
},
"<30,11>": {
"<30,11,1>": "0x0",
"<30,11,2>": "0x80000000"
},
"<30,12>": "30",
"<30,13>": "-2",
"<30,14>": "0",
"<30,15>": {
"<30,15,1>": {
"<30,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<30,15,1,2>": "-11",
"<30,15,1,3>": "700",
"<30,15,1,4>": "0",
"<30,15,1,5>": "0",
"<30,15,1,6>": "0",
"<30,15,1,7>": "0",
"<30,15,1,8>": "34",
"<30,15,1,9>": "0",
"<30,15,1,10>": "1",
"<30,15,1,11>": "2",
"<30,15,1,12>": "1",
"<30,15,1,13>": "0",
"<30,15,1,14>": "0"
}
},
"<30,16>": "",
"<30,17>": "",
"<30,18>": "",
"<30,19>": "",
"<30,20>": "",
"<30,21>": "",
"<30,22>": "",
"<30,23>": "",
"<30,24>": "",
"<30,25>": "0",
"<30,26>": "0",
"<30,27>": "",
"<30,28>": "(D)",
"<30,29>": "D2/",
"<30,30>": "<<None>>",
"<30,31>": "0",
"<30,32>": {
"<30,32,1>": "0x7fffe",
"<30,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<30,33>": "",
"<30,34>": "",
"<30,35>": "",
"<30,36>": "",
"<30,37>": "",
"<30,38>": "",
"<30,39>": "",
"<30,40>": "",
"<30,41>": "",
"<30,42>": "",
"<30,43>": "",
"<30,44>": "",
"<30,45>": "",
"<30,46>": "",
"<30,47>": "",
"<30,48>": "",
"<30,49>": "",
"<30,50>": "",
"<30,51>": "",
"<30,52>": ""
},
"<31>": {
"<31,1>": "HF_AKH_MIN",
"<31,2>": "",
"<31,3>": "EDITFIELD",
"<31,4>": "SPC_LIMITS",
"<31,5>": "28",
"<31,6>": "329",
"<31,7>": "73",
"<31,8>": "21",
"<31,9>": "",
"<31,10>": {
"<31,10,1>": "0x56800080",
"<31,10,2>": "0x"
},
"<31,11>": {
"<31,11,1>": "0x0",
"<31,11,2>": "0x80000000"
},
"<31,12>": "31",
"<31,13>": "-2",
"<31,14>": "0",
"<31,15>": {
"<31,15,1>": {
"<31,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<31,15,1,2>": "-11",
"<31,15,1,3>": "700",
"<31,15,1,4>": "0",
"<31,15,1,5>": "0",
"<31,15,1,6>": "0",
"<31,15,1,7>": "0",
"<31,15,1,8>": "34",
"<31,15,1,9>": "0",
"<31,15,1,10>": "1",
"<31,15,1,11>": "2",
"<31,15,1,12>": "1",
"<31,15,1,13>": "0",
"<31,15,1,14>": "0"
}
},
"<31,16>": "",
"<31,17>": "",
"<31,18>": "",
"<31,19>": "",
"<31,20>": "",
"<31,21>": "",
"<31,22>": "",
"<31,23>": "",
"<31,24>": "",
"<31,25>": "0",
"<31,26>": "0",
"<31,27>": "",
"<31,28>": "'0'",
"<31,29>": "MD0",
"<31,30>": "<<None>>",
"<31,31>": "0",
"<31,32>": {
"<31,32,1>": "0x7fffe",
"<31,32,2>": "0xc0016508"
},
"<31,33>": "",
"<31,34>": "",
"<31,35>": "",
"<31,36>": "",
"<31,37>": "",
"<31,38>": "",
"<31,39>": "",
"<31,40>": "",
"<31,41>": "",
"<31,42>": "",
"<31,43>": "",
"<31,44>": "",
"<31,45>": "",
"<31,46>": "",
"<31,47>": "",
"<31,48>": "",
"<31,49>": "",
"<31,50>": "",
"<31,51>": "",
"<31,52>": ""
},
"<32>": {
"<32,1>": "HF_AKH_MAX",
"<32,2>": "",
"<32,3>": "EDITFIELD",
"<32,4>": "SPC_LIMITS",
"<32,5>": "105",
"<32,6>": "329",
"<32,7>": "70",
"<32,8>": "21",
"<32,9>": "",
"<32,10>": {
"<32,10,1>": "0x56800080",
"<32,10,2>": "0x"
},
"<32,11>": {
"<32,11,1>": "0x0",
"<32,11,2>": "0x80000000"
},
"<32,12>": "32",
"<32,13>": "-2",
"<32,14>": "0",
"<32,15>": {
"<32,15,1>": {
"<32,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<32,15,1,2>": "-11",
"<32,15,1,3>": "700",
"<32,15,1,4>": "0",
"<32,15,1,5>": "0",
"<32,15,1,6>": "0",
"<32,15,1,7>": "0",
"<32,15,1,8>": "34",
"<32,15,1,9>": "0",
"<32,15,1,10>": "1",
"<32,15,1,11>": "2",
"<32,15,1,12>": "1",
"<32,15,1,13>": "0",
"<32,15,1,14>": "0"
}
},
"<32,16>": "",
"<32,17>": "",
"<32,18>": "",
"<32,19>": "",
"<32,20>": "",
"<32,21>": "",
"<32,22>": "",
"<32,23>": "",
"<32,24>": "",
"<32,25>": "0",
"<32,26>": "0",
"<32,27>": "",
"<32,28>": "(1,100)",
"<32,29>": "MD0",
"<32,30>": "<<None>>",
"<32,31>": "0",
"<32,32>": {
"<32,32,1>": "0x7fffe",
"<32,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<32,33>": "",
"<32,34>": "",
"<32,35>": "",
"<32,36>": "",
"<32,37>": "",
"<32,38>": "",
"<32,39>": "",
"<32,40>": "",
"<32,41>": "",
"<32,42>": "",
"<32,43>": "",
"<32,44>": "",
"<32,45>": "",
"<32,46>": "",
"<32,47>": "",
"<32,48>": "",
"<32,49>": "",
"<32,50>": "",
"<32,51>": "",
"<32,52>": ""
},
"<33>": {
"<33,1>": "HF_AKH_DATE",
"<33,2>": "",
"<33,3>": "EDITFIELD",
"<33,4>": "SPC_LIMITS",
"<33,5>": "180",
"<33,6>": "329",
"<33,7>": "81",
"<33,8>": "21",
"<33,9>": "",
"<33,10>": {
"<33,10,1>": "0x56800080",
"<33,10,2>": "0x"
},
"<33,11>": {
"<33,11,1>": "0x0",
"<33,11,2>": "0x80000000"
},
"<33,12>": "33",
"<33,13>": "-2",
"<33,14>": "0",
"<33,15>": {
"<33,15,1>": {
"<33,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<33,15,1,2>": "-11",
"<33,15,1,3>": "700",
"<33,15,1,4>": "0",
"<33,15,1,5>": "0",
"<33,15,1,6>": "0",
"<33,15,1,7>": "0",
"<33,15,1,8>": "34",
"<33,15,1,9>": "0",
"<33,15,1,10>": "1",
"<33,15,1,11>": "2",
"<33,15,1,12>": "1",
"<33,15,1,13>": "0",
"<33,15,1,14>": "0"
}
},
"<33,16>": "",
"<33,17>": "",
"<33,18>": "",
"<33,19>": "",
"<33,20>": "",
"<33,21>": "",
"<33,22>": "",
"<33,23>": "",
"<33,24>": "",
"<33,25>": "0",
"<33,26>": "0",
"<33,27>": "",
"<33,28>": "(D)",
"<33,29>": "D2/",
"<33,30>": "<<None>>",
"<33,31>": "0",
"<33,32>": {
"<33,32,1>": "0x7fffe",
"<33,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<33,33>": "",
"<33,34>": "",
"<33,35>": "",
"<33,36>": "",
"<33,37>": "",
"<33,38>": "",
"<33,39>": "",
"<33,40>": "",
"<33,41>": "",
"<33,42>": "",
"<33,43>": "",
"<33,44>": "",
"<33,45>": "",
"<33,46>": "",
"<33,47>": "",
"<33,48>": "",
"<33,49>": "",
"<33,50>": "",
"<33,51>": "",
"<33,52>": ""
},
"<34>": {
"<34,1>": "REACT_PART_MIN",
"<34,2>": "",
"<34,3>": "EDITFIELD",
"<34,4>": "SPC_LIMITS",
"<34,5>": "318",
"<34,6>": "70",
"<34,7>": "73",
"<34,8>": "21",
"<34,9>": "",
"<34,10>": {
"<34,10,1>": "0x56800080",
"<34,10,2>": "0x"
},
"<34,11>": {
"<34,11,1>": "0x0",
"<34,11,2>": "0x80000000"
},
"<34,12>": "34",
"<34,13>": "-2",
"<34,14>": "0",
"<34,15>": {
"<34,15,1>": {
"<34,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<34,15,1,2>": "-11",
"<34,15,1,3>": "700",
"<34,15,1,4>": "0",
"<34,15,1,5>": "0",
"<34,15,1,6>": "0",
"<34,15,1,7>": "0",
"<34,15,1,8>": "34",
"<34,15,1,9>": "0",
"<34,15,1,10>": "1",
"<34,15,1,11>": "2",
"<34,15,1,12>": "1",
"<34,15,1,13>": "0",
"<34,15,1,14>": "0"
}
},
"<34,16>": "",
"<34,17>": "",
"<34,18>": "",
"<34,19>": "",
"<34,20>": "",
"<34,21>": "",
"<34,22>": "",
"<34,23>": "",
"<34,24>": "",
"<34,25>": "0",
"<34,26>": "0",
"<34,27>": "",
"<34,28>": "'0'",
"<34,29>": "MD0",
"<34,30>": "<<None>>",
"<34,31>": "0",
"<34,32>": {
"<34,32,1>": "0x7fffe",
"<34,32,2>": "0xc0016508"
},
"<34,33>": "",
"<34,34>": "",
"<34,35>": "",
"<34,36>": "",
"<34,37>": "",
"<34,38>": "",
"<34,39>": "",
"<34,40>": "",
"<34,41>": "",
"<34,42>": "",
"<34,43>": "",
"<34,44>": "",
"<34,45>": "",
"<34,46>": "",
"<34,47>": "",
"<34,48>": "",
"<34,49>": "",
"<34,50>": "",
"<34,51>": "",
"<34,52>": ""
},
"<35>": {
"<35,1>": "REACT_PART_MAX",
"<35,2>": "",
"<35,3>": "EDITFIELD",
"<35,4>": "SPC_LIMITS",
"<35,5>": "395",
"<35,6>": "70",
"<35,7>": "70",
"<35,8>": "21",
"<35,9>": "",
"<35,10>": {
"<35,10,1>": "0x56800080",
"<35,10,2>": "0x"
},
"<35,11>": {
"<35,11,1>": "0x0",
"<35,11,2>": "0x80000000"
},
"<35,12>": "35",
"<35,13>": "-2",
"<35,14>": "0",
"<35,15>": {
"<35,15,1>": {
"<35,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<35,15,1,2>": "-11",
"<35,15,1,3>": "700",
"<35,15,1,4>": "0",
"<35,15,1,5>": "0",
"<35,15,1,6>": "0",
"<35,15,1,7>": "0",
"<35,15,1,8>": "34",
"<35,15,1,9>": "0",
"<35,15,1,10>": "1",
"<35,15,1,11>": "2",
"<35,15,1,12>": "1",
"<35,15,1,13>": "0",
"<35,15,1,14>": "0"
}
},
"<35,16>": "",
"<35,17>": "",
"<35,18>": "",
"<35,19>": "",
"<35,20>": "",
"<35,21>": "",
"<35,22>": "",
"<35,23>": "",
"<35,24>": "",
"<35,25>": "0",
"<35,26>": "0",
"<35,27>": "",
"<35,28>": "(1,20)",
"<35,29>": "MD0",
"<35,30>": "<<None>>",
"<35,31>": "0",
"<35,32>": {
"<35,32,1>": "0x7fffe",
"<35,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<35,33>": "",
"<35,34>": "",
"<35,35>": "",
"<35,36>": "",
"<35,37>": "",
"<35,38>": "",
"<35,39>": "",
"<35,40>": "",
"<35,41>": "",
"<35,42>": "",
"<35,43>": "",
"<35,44>": "",
"<35,45>": "",
"<35,46>": "",
"<35,47>": "",
"<35,48>": "",
"<35,49>": "",
"<35,50>": "",
"<35,51>": "",
"<35,52>": ""
},
"<36>": {
"<36,1>": "REACT_PART_DATE_CHG",
"<36,2>": "",
"<36,3>": "EDITFIELD",
"<36,4>": "SPC_LIMITS",
"<36,5>": "470",
"<36,6>": "70",
"<36,7>": "81",
"<36,8>": "21",
"<36,9>": "",
"<36,10>": {
"<36,10,1>": "0x56800080",
"<36,10,2>": "0x"
},
"<36,11>": {
"<36,11,1>": "0x0",
"<36,11,2>": "0x80000000"
},
"<36,12>": "36",
"<36,13>": "-2",
"<36,14>": "0",
"<36,15>": {
"<36,15,1>": {
"<36,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<36,15,1,2>": "-11",
"<36,15,1,3>": "700",
"<36,15,1,4>": "0",
"<36,15,1,5>": "0",
"<36,15,1,6>": "0",
"<36,15,1,7>": "0",
"<36,15,1,8>": "34",
"<36,15,1,9>": "0",
"<36,15,1,10>": "1",
"<36,15,1,11>": "2",
"<36,15,1,12>": "1",
"<36,15,1,13>": "0",
"<36,15,1,14>": "0"
}
},
"<36,16>": "",
"<36,17>": "",
"<36,18>": "",
"<36,19>": "",
"<36,20>": "",
"<36,21>": "",
"<36,22>": "",
"<36,23>": "",
"<36,24>": "",
"<36,25>": "0",
"<36,26>": "0",
"<36,27>": "",
"<36,28>": "(D)",
"<36,29>": "D2/",
"<36,30>": "<<None>>",
"<36,31>": "0",
"<36,32>": {
"<36,32,1>": "0x7fffe",
"<36,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<36,33>": "",
"<36,34>": "",
"<36,35>": "",
"<36,36>": "",
"<36,37>": "",
"<36,38>": "",
"<36,39>": "",
"<36,40>": "",
"<36,41>": "",
"<36,42>": "",
"<36,43>": "",
"<36,44>": "",
"<36,45>": "",
"<36,46>": "",
"<36,47>": "",
"<36,48>": "",
"<36,49>": "",
"<36,50>": "",
"<36,51>": "",
"<36,52>": ""
},
"<37>": {
"<37,1>": "REACT_HAZE_MIN",
"<37,2>": "",
"<37,3>": "EDITFIELD",
"<37,4>": "SPC_LIMITS",
"<37,5>": "318",
"<37,6>": "135",
"<37,7>": "73",
"<37,8>": "21",
"<37,9>": "",
"<37,10>": {
"<37,10,1>": "0x56800080",
"<37,10,2>": "0x"
},
"<37,11>": {
"<37,11,1>": "0x0",
"<37,11,2>": "0x80000000"
},
"<37,12>": "37",
"<37,13>": "-2",
"<37,14>": "0",
"<37,15>": {
"<37,15,1>": {
"<37,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<37,15,1,2>": "-11",
"<37,15,1,3>": "700",
"<37,15,1,4>": "0",
"<37,15,1,5>": "0",
"<37,15,1,6>": "0",
"<37,15,1,7>": "0",
"<37,15,1,8>": "34",
"<37,15,1,9>": "0",
"<37,15,1,10>": "1",
"<37,15,1,11>": "2",
"<37,15,1,12>": "1",
"<37,15,1,13>": "0",
"<37,15,1,14>": "0"
}
},
"<37,16>": "",
"<37,17>": "",
"<37,18>": "",
"<37,19>": "",
"<37,20>": "",
"<37,21>": "",
"<37,22>": "",
"<37,23>": "",
"<37,24>": "",
"<37,25>": "0",
"<37,26>": "0",
"<37,27>": "",
"<37,28>": "'0'",
"<37,29>": "MD2",
"<37,30>": "<<None>>",
"<37,31>": "0",
"<37,32>": {
"<37,32,1>": "0x7fffe",
"<37,32,2>": "0xc0016508"
},
"<37,33>": "",
"<37,34>": "",
"<37,35>": "",
"<37,36>": "",
"<37,37>": "",
"<37,38>": "",
"<37,39>": "",
"<37,40>": "",
"<37,41>": "",
"<37,42>": "",
"<37,43>": "",
"<37,44>": "",
"<37,45>": "",
"<37,46>": "",
"<37,47>": "",
"<37,48>": "",
"<37,49>": "",
"<37,50>": "",
"<37,51>": "",
"<37,52>": ""
},
"<38>": {
"<38,1>": "REACT_HAZE_MAX",
"<38,2>": "",
"<38,3>": "EDITFIELD",
"<38,4>": "SPC_LIMITS",
"<38,5>": "395",
"<38,6>": "135",
"<38,7>": "70",
"<38,8>": "21",
"<38,9>": "",
"<38,10>": {
"<38,10,1>": "0x56800080",
"<38,10,2>": "0x"
},
"<38,11>": {
"<38,11,1>": "0x0",
"<38,11,2>": "0x80000000"
},
"<38,12>": "38",
"<38,13>": "-2",
"<38,14>": "0",
"<38,15>": {
"<38,15,1>": {
"<38,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<38,15,1,2>": "-11",
"<38,15,1,3>": "700",
"<38,15,1,4>": "0",
"<38,15,1,5>": "0",
"<38,15,1,6>": "0",
"<38,15,1,7>": "0",
"<38,15,1,8>": "34",
"<38,15,1,9>": "0",
"<38,15,1,10>": "1",
"<38,15,1,11>": "2",
"<38,15,1,12>": "1",
"<38,15,1,13>": "0",
"<38,15,1,14>": "0"
}
},
"<38,16>": "",
"<38,17>": "",
"<38,18>": "",
"<38,19>": "",
"<38,20>": "",
"<38,21>": "",
"<38,22>": "",
"<38,23>": "",
"<38,24>": "",
"<38,25>": "0",
"<38,26>": "0",
"<38,27>": "",
"<38,28>": "(1,5)",
"<38,29>": "MD2",
"<38,30>": "<<None>>",
"<38,31>": "0",
"<38,32>": {
"<38,32,1>": "0x7fffe",
"<38,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<38,33>": "",
"<38,34>": "",
"<38,35>": "",
"<38,36>": "",
"<38,37>": "",
"<38,38>": "",
"<38,39>": "",
"<38,40>": "",
"<38,41>": "",
"<38,42>": "",
"<38,43>": "",
"<38,44>": "",
"<38,45>": "",
"<38,46>": "",
"<38,47>": "",
"<38,48>": "",
"<38,49>": "",
"<38,50>": "",
"<38,51>": "",
"<38,52>": ""
},
"<39>": {
"<39,1>": "REACT_HAZE_DATE_CHG",
"<39,2>": "",
"<39,3>": "EDITFIELD",
"<39,4>": "SPC_LIMITS",
"<39,5>": "470",
"<39,6>": "135",
"<39,7>": "81",
"<39,8>": "21",
"<39,9>": "",
"<39,10>": {
"<39,10,1>": "0x56800080",
"<39,10,2>": "0x"
},
"<39,11>": {
"<39,11,1>": "0x0",
"<39,11,2>": "0x80000000"
},
"<39,12>": "39",
"<39,13>": "-2",
"<39,14>": "0",
"<39,15>": {
"<39,15,1>": {
"<39,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<39,15,1,2>": "-11",
"<39,15,1,3>": "700",
"<39,15,1,4>": "0",
"<39,15,1,5>": "0",
"<39,15,1,6>": "0",
"<39,15,1,7>": "0",
"<39,15,1,8>": "34",
"<39,15,1,9>": "0",
"<39,15,1,10>": "1",
"<39,15,1,11>": "2",
"<39,15,1,12>": "1",
"<39,15,1,13>": "0",
"<39,15,1,14>": "0"
}
},
"<39,16>": "",
"<39,17>": "",
"<39,18>": "",
"<39,19>": "",
"<39,20>": "",
"<39,21>": "",
"<39,22>": "",
"<39,23>": "",
"<39,24>": "",
"<39,25>": "0",
"<39,26>": "0",
"<39,27>": "",
"<39,28>": "(D)",
"<39,29>": "D2/",
"<39,30>": "<<None>>",
"<39,31>": "0",
"<39,32>": {
"<39,32,1>": "0x7fffe",
"<39,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<39,33>": "",
"<39,34>": "",
"<39,35>": "",
"<39,36>": "",
"<39,37>": "",
"<39,38>": "",
"<39,39>": "",
"<39,40>": "",
"<39,41>": "",
"<39,42>": "",
"<39,43>": "",
"<39,44>": "",
"<39,45>": "",
"<39,46>": "",
"<39,47>": "",
"<39,48>": "",
"<39,49>": "",
"<39,50>": "",
"<39,51>": "",
"<39,52>": ""
},
"<40>": {
"<40,1>": "WAF_ETCH_MIN",
"<40,2>": "",
"<40,3>": "EDITFIELD",
"<40,4>": "SPC_LIMITS",
"<40,5>": "319",
"<40,6>": "199",
"<40,7>": "73",
"<40,8>": "21",
"<40,9>": "",
"<40,10>": {
"<40,10,1>": "0x56800080",
"<40,10,2>": "0x"
},
"<40,11>": {
"<40,11,1>": "0x0",
"<40,11,2>": "0x80000000"
},
"<40,12>": "40",
"<40,13>": "-2",
"<40,14>": "0",
"<40,15>": {
"<40,15,1>": {
"<40,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<40,15,1,2>": "-11",
"<40,15,1,3>": "700",
"<40,15,1,4>": "0",
"<40,15,1,5>": "0",
"<40,15,1,6>": "0",
"<40,15,1,7>": "0",
"<40,15,1,8>": "34",
"<40,15,1,9>": "0",
"<40,15,1,10>": "1",
"<40,15,1,11>": "2",
"<40,15,1,12>": "1",
"<40,15,1,13>": "0",
"<40,15,1,14>": "0"
}
},
"<40,16>": "",
"<40,17>": "",
"<40,18>": "",
"<40,19>": "",
"<40,20>": "",
"<40,21>": "",
"<40,22>": "",
"<40,23>": "",
"<40,24>": "",
"<40,25>": "0",
"<40,26>": "0",
"<40,27>": "",
"<40,28>": "(MD3)",
"<40,29>": "MD3",
"<40,30>": "<<None>>",
"<40,31>": "0",
"<40,32>": {
"<40,32,1>": "0x7fffe",
"<40,32,2>": "0xc0016508"
},
"<40,33>": "",
"<40,34>": "",
"<40,35>": "",
"<40,36>": "",
"<40,37>": "",
"<40,38>": "",
"<40,39>": "",
"<40,40>": "",
"<40,41>": "",
"<40,42>": "",
"<40,43>": "",
"<40,44>": "",
"<40,45>": "",
"<40,46>": "",
"<40,47>": "",
"<40,48>": "",
"<40,49>": "",
"<40,50>": "",
"<40,51>": "",
"<40,52>": ""
},
"<41>": {
"<41,1>": "WAF_ETCH_MAX",
"<41,2>": "",
"<41,3>": "EDITFIELD",
"<41,4>": "SPC_LIMITS",
"<41,5>": "396",
"<41,6>": "199",
"<41,7>": "70",
"<41,8>": "21",
"<41,9>": "",
"<41,10>": {
"<41,10,1>": "0x56800080",
"<41,10,2>": "0x"
},
"<41,11>": {
"<41,11,1>": "0x0",
"<41,11,2>": "0x80000000"
},
"<41,12>": "41",
"<41,13>": "-2",
"<41,14>": "0",
"<41,15>": {
"<41,15,1>": {
"<41,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<41,15,1,2>": "-11",
"<41,15,1,3>": "700",
"<41,15,1,4>": "0",
"<41,15,1,5>": "0",
"<41,15,1,6>": "0",
"<41,15,1,7>": "0",
"<41,15,1,8>": "34",
"<41,15,1,9>": "0",
"<41,15,1,10>": "1",
"<41,15,1,11>": "2",
"<41,15,1,12>": "1",
"<41,15,1,13>": "0",
"<41,15,1,14>": "0"
}
},
"<41,16>": "",
"<41,17>": "",
"<41,18>": "",
"<41,19>": "",
"<41,20>": "",
"<41,21>": "",
"<41,22>": "",
"<41,23>": "",
"<41,24>": "",
"<41,25>": "0",
"<41,26>": "0",
"<41,27>": "",
"<41,28>": "(MD3)",
"<41,29>": "MD3",
"<41,30>": "<<None>>",
"<41,31>": "0",
"<41,32>": {
"<41,32,1>": "0x7fffe",
"<41,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<41,33>": "",
"<41,34>": "",
"<41,35>": "",
"<41,36>": "",
"<41,37>": "",
"<41,38>": "",
"<41,39>": "",
"<41,40>": "",
"<41,41>": "",
"<41,42>": "",
"<41,43>": "",
"<41,44>": "",
"<41,45>": "",
"<41,46>": "",
"<41,47>": "",
"<41,48>": "",
"<41,49>": "",
"<41,50>": "",
"<41,51>": "",
"<41,52>": ""
},
"<42>": {
"<42,1>": "WAF_ETCH_CHG_DATE",
"<42,2>": "",
"<42,3>": "EDITFIELD",
"<42,4>": "SPC_LIMITS",
"<42,5>": "471",
"<42,6>": "199",
"<42,7>": "81",
"<42,8>": "21",
"<42,9>": "",
"<42,10>": {
"<42,10,1>": "0x56800080",
"<42,10,2>": "0x"
},
"<42,11>": {
"<42,11,1>": "0x0",
"<42,11,2>": "0x80000000"
},
"<42,12>": "42",
"<42,13>": "-2",
"<42,14>": "0",
"<42,15>": {
"<42,15,1>": {
"<42,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<42,15,1,2>": "-11",
"<42,15,1,3>": "700",
"<42,15,1,4>": "0",
"<42,15,1,5>": "0",
"<42,15,1,6>": "0",
"<42,15,1,7>": "0",
"<42,15,1,8>": "34",
"<42,15,1,9>": "0",
"<42,15,1,10>": "1",
"<42,15,1,11>": "2",
"<42,15,1,12>": "1",
"<42,15,1,13>": "0",
"<42,15,1,14>": "0"
}
},
"<42,16>": "",
"<42,17>": "",
"<42,18>": "",
"<42,19>": "",
"<42,20>": "",
"<42,21>": "",
"<42,22>": "",
"<42,23>": "",
"<42,24>": "",
"<42,25>": "0",
"<42,26>": "0",
"<42,27>": "",
"<42,28>": "(D)",
"<42,29>": "D2/",
"<42,30>": "<<None>>",
"<42,31>": "0",
"<42,32>": {
"<42,32,1>": "0x7fffe",
"<42,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<42,33>": "",
"<42,34>": "",
"<42,35>": "",
"<42,36>": "",
"<42,37>": "",
"<42,38>": "",
"<42,39>": "",
"<42,40>": "",
"<42,41>": "",
"<42,42>": "",
"<42,43>": "",
"<42,44>": "",
"<42,45>": "",
"<42,46>": "",
"<42,47>": "",
"<42,48>": "",
"<42,49>": "",
"<42,50>": "",
"<42,51>": "",
"<42,52>": ""
},
"<43>": {
"<43,1>": "HF_ETCH_MIN",
"<43,2>": "",
"<43,3>": "EDITFIELD",
"<43,4>": "SPC_LIMITS",
"<43,5>": "318",
"<43,6>": "268",
"<43,7>": "73",
"<43,8>": "21",
"<43,9>": "",
"<43,10>": {
"<43,10,1>": "0x56800080",
"<43,10,2>": "0x"
},
"<43,11>": {
"<43,11,1>": "0x0",
"<43,11,2>": "0x80000000"
},
"<43,12>": "43",
"<43,13>": "-2",
"<43,14>": "0",
"<43,15>": {
"<43,15,1>": {
"<43,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<43,15,1,2>": "-11",
"<43,15,1,3>": "700",
"<43,15,1,4>": "0",
"<43,15,1,5>": "0",
"<43,15,1,6>": "0",
"<43,15,1,7>": "0",
"<43,15,1,8>": "34",
"<43,15,1,9>": "0",
"<43,15,1,10>": "1",
"<43,15,1,11>": "2",
"<43,15,1,12>": "1",
"<43,15,1,13>": "0",
"<43,15,1,14>": "0"
}
},
"<43,16>": "",
"<43,17>": "",
"<43,18>": "",
"<43,19>": "",
"<43,20>": "",
"<43,21>": "",
"<43,22>": "",
"<43,23>": "",
"<43,24>": "",
"<43,25>": "0",
"<43,26>": "0",
"<43,27>": "",
"<43,28>": "(MD0)",
"<43,29>": "MD0",
"<43,30>": "<<None>>",
"<43,31>": "0",
"<43,32>": {
"<43,32,1>": "0x7fffe",
"<43,32,2>": "0xc0016508"
},
"<43,33>": "",
"<43,34>": "",
"<43,35>": "",
"<43,36>": "",
"<43,37>": "",
"<43,38>": "",
"<43,39>": "",
"<43,40>": "",
"<43,41>": "",
"<43,42>": "",
"<43,43>": "",
"<43,44>": "",
"<43,45>": "",
"<43,46>": "",
"<43,47>": "",
"<43,48>": "",
"<43,49>": "",
"<43,50>": "",
"<43,51>": "",
"<43,52>": ""
},
"<44>": {
"<44,1>": "HF_ETCH_MAX",
"<44,2>": "",
"<44,3>": "EDITFIELD",
"<44,4>": "SPC_LIMITS",
"<44,5>": "395",
"<44,6>": "268",
"<44,7>": "70",
"<44,8>": "21",
"<44,9>": "",
"<44,10>": {
"<44,10,1>": "0x56800080",
"<44,10,2>": "0x"
},
"<44,11>": {
"<44,11,1>": "0x0",
"<44,11,2>": "0x80000000"
},
"<44,12>": "44",
"<44,13>": "-2",
"<44,14>": "0",
"<44,15>": {
"<44,15,1>": {
"<44,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<44,15,1,2>": "-11",
"<44,15,1,3>": "700",
"<44,15,1,4>": "0",
"<44,15,1,5>": "0",
"<44,15,1,6>": "0",
"<44,15,1,7>": "0",
"<44,15,1,8>": "34",
"<44,15,1,9>": "0",
"<44,15,1,10>": "1",
"<44,15,1,11>": "2",
"<44,15,1,12>": "1",
"<44,15,1,13>": "0",
"<44,15,1,14>": "0"
}
},
"<44,16>": "",
"<44,17>": "",
"<44,18>": "",
"<44,19>": "",
"<44,20>": "",
"<44,21>": "",
"<44,22>": "",
"<44,23>": "",
"<44,24>": "",
"<44,25>": "0",
"<44,26>": "0",
"<44,27>": "",
"<44,28>": "(MD0)",
"<44,29>": "MD0",
"<44,30>": "<<None>>",
"<44,31>": "0",
"<44,32>": {
"<44,32,1>": "0x7fffe",
"<44,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<44,33>": "",
"<44,34>": "",
"<44,35>": "",
"<44,36>": "",
"<44,37>": "",
"<44,38>": "",
"<44,39>": "",
"<44,40>": "",
"<44,41>": "",
"<44,42>": "",
"<44,43>": "",
"<44,44>": "",
"<44,45>": "",
"<44,46>": "",
"<44,47>": "",
"<44,48>": "",
"<44,49>": "",
"<44,50>": "",
"<44,51>": "",
"<44,52>": ""
},
"<45>": {
"<45,1>": "HF_ETCH_CHG_DATE",
"<45,2>": "",
"<45,3>": "EDITFIELD",
"<45,4>": "SPC_LIMITS",
"<45,5>": "470",
"<45,6>": "268",
"<45,7>": "81",
"<45,8>": "21",
"<45,9>": "",
"<45,10>": {
"<45,10,1>": "0x56800080",
"<45,10,2>": "0x"
},
"<45,11>": {
"<45,11,1>": "0x0",
"<45,11,2>": "0x80000000"
},
"<45,12>": "45",
"<45,13>": "-2",
"<45,14>": "0",
"<45,15>": {
"<45,15,1>": {
"<45,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<45,15,1,2>": "-11",
"<45,15,1,3>": "700",
"<45,15,1,4>": "0",
"<45,15,1,5>": "0",
"<45,15,1,6>": "0",
"<45,15,1,7>": "0",
"<45,15,1,8>": "34",
"<45,15,1,9>": "0",
"<45,15,1,10>": "1",
"<45,15,1,11>": "2",
"<45,15,1,12>": "1",
"<45,15,1,13>": "0",
"<45,15,1,14>": "0"
}
},
"<45,16>": "",
"<45,17>": "",
"<45,18>": "",
"<45,19>": "",
"<45,20>": "",
"<45,21>": "",
"<45,22>": "",
"<45,23>": "",
"<45,24>": "",
"<45,25>": "0",
"<45,26>": "0",
"<45,27>": "",
"<45,28>": "(D)",
"<45,29>": "D2/",
"<45,30>": "<<None>>",
"<45,31>": "0",
"<45,32>": {
"<45,32,1>": "0x7fffe",
"<45,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<45,33>": "",
"<45,34>": "",
"<45,35>": "",
"<45,36>": "",
"<45,37>": "",
"<45,38>": "",
"<45,39>": "",
"<45,40>": "",
"<45,41>": "",
"<45,42>": "",
"<45,43>": "",
"<45,44>": "",
"<45,45>": "",
"<45,46>": "",
"<45,47>": "",
"<45,48>": "",
"<45,49>": "",
"<45,50>": "",
"<45,51>": "",
"<45,52>": ""
},
"<46>": {
"<46,1>": "HF_AKE_ETCH_MIN",
"<46,2>": "",
"<46,3>": "EDITFIELD",
"<46,4>": "SPC_LIMITS",
"<46,5>": "319",
"<46,6>": "335",
"<46,7>": "73",
"<46,8>": "21",
"<46,9>": "",
"<46,10>": {
"<46,10,1>": "0x56800080",
"<46,10,2>": "0x"
},
"<46,11>": {
"<46,11,1>": "0x0",
"<46,11,2>": "0x80000000"
},
"<46,12>": "46",
"<46,13>": "-2",
"<46,14>": "0",
"<46,15>": {
"<46,15,1>": {
"<46,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<46,15,1,2>": "-11",
"<46,15,1,3>": "700",
"<46,15,1,4>": "0",
"<46,15,1,5>": "0",
"<46,15,1,6>": "0",
"<46,15,1,7>": "0",
"<46,15,1,8>": "34",
"<46,15,1,9>": "0",
"<46,15,1,10>": "1",
"<46,15,1,11>": "2",
"<46,15,1,12>": "1",
"<46,15,1,13>": "0",
"<46,15,1,14>": "0"
}
},
"<46,16>": "",
"<46,17>": "",
"<46,18>": "",
"<46,19>": "",
"<46,20>": "",
"<46,21>": "",
"<46,22>": "",
"<46,23>": "",
"<46,24>": "",
"<46,25>": "0",
"<46,26>": "0",
"<46,27>": "",
"<46,28>": "(MD0)",
"<46,29>": "MD0",
"<46,30>": "<<None>>",
"<46,31>": "0",
"<46,32>": {
"<46,32,1>": "0x7fffe",
"<46,32,2>": "0xc0016508"
},
"<46,33>": "",
"<46,34>": "",
"<46,35>": "",
"<46,36>": "",
"<46,37>": "",
"<46,38>": "",
"<46,39>": "",
"<46,40>": "",
"<46,41>": "",
"<46,42>": "",
"<46,43>": "",
"<46,44>": "",
"<46,45>": "",
"<46,46>": "",
"<46,47>": "",
"<46,48>": "",
"<46,49>": "",
"<46,50>": "",
"<46,51>": "",
"<46,52>": ""
},
"<47>": {
"<47,1>": "HF_AKE_ETCH_MAX",
"<47,2>": "",
"<47,3>": "EDITFIELD",
"<47,4>": "SPC_LIMITS",
"<47,5>": "396",
"<47,6>": "335",
"<47,7>": "70",
"<47,8>": "21",
"<47,9>": "",
"<47,10>": {
"<47,10,1>": "0x56800080",
"<47,10,2>": "0x"
},
"<47,11>": {
"<47,11,1>": "0x0",
"<47,11,2>": "0x80000000"
},
"<47,12>": "47",
"<47,13>": "-2",
"<47,14>": "0",
"<47,15>": {
"<47,15,1>": {
"<47,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<47,15,1,2>": "-11",
"<47,15,1,3>": "700",
"<47,15,1,4>": "0",
"<47,15,1,5>": "0",
"<47,15,1,6>": "0",
"<47,15,1,7>": "0",
"<47,15,1,8>": "34",
"<47,15,1,9>": "0",
"<47,15,1,10>": "1",
"<47,15,1,11>": "2",
"<47,15,1,12>": "1",
"<47,15,1,13>": "0",
"<47,15,1,14>": "0"
}
},
"<47,16>": "",
"<47,17>": "",
"<47,18>": "",
"<47,19>": "",
"<47,20>": "",
"<47,21>": "",
"<47,22>": "",
"<47,23>": "",
"<47,24>": "",
"<47,25>": "0",
"<47,26>": "0",
"<47,27>": "",
"<47,28>": "(MD0)",
"<47,29>": "MD0",
"<47,30>": "<<None>>",
"<47,31>": "0",
"<47,32>": {
"<47,32,1>": "0x7fffe",
"<47,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<47,33>": "",
"<47,34>": "",
"<47,35>": "",
"<47,36>": "",
"<47,37>": "",
"<47,38>": "",
"<47,39>": "",
"<47,40>": "",
"<47,41>": "",
"<47,42>": "",
"<47,43>": "",
"<47,44>": "",
"<47,45>": "",
"<47,46>": "",
"<47,47>": "",
"<47,48>": "",
"<47,49>": "",
"<47,50>": "",
"<47,51>": "",
"<47,52>": ""
},
"<48>": {
"<48,1>": "HF_AKE_ETCH_DATE",
"<48,2>": "",
"<48,3>": "EDITFIELD",
"<48,4>": "SPC_LIMITS",
"<48,5>": "471",
"<48,6>": "335",
"<48,7>": "81",
"<48,8>": "21",
"<48,9>": "",
"<48,10>": {
"<48,10,1>": "0x56800080",
"<48,10,2>": "0x"
},
"<48,11>": {
"<48,11,1>": "0x0",
"<48,11,2>": "0x80000000"
},
"<48,12>": "48",
"<48,13>": "-2",
"<48,14>": "0",
"<48,15>": {
"<48,15,1>": {
"<48,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<48,15,1,2>": "-11",
"<48,15,1,3>": "700",
"<48,15,1,4>": "0",
"<48,15,1,5>": "0",
"<48,15,1,6>": "0",
"<48,15,1,7>": "0",
"<48,15,1,8>": "34",
"<48,15,1,9>": "0",
"<48,15,1,10>": "1",
"<48,15,1,11>": "2",
"<48,15,1,12>": "1",
"<48,15,1,13>": "0",
"<48,15,1,14>": "0"
}
},
"<48,16>": "",
"<48,17>": "",
"<48,18>": "",
"<48,19>": "",
"<48,20>": "",
"<48,21>": "",
"<48,22>": "",
"<48,23>": "",
"<48,24>": "",
"<48,25>": "0",
"<48,26>": "0",
"<48,27>": "",
"<48,28>": "(D)",
"<48,29>": "D2/",
"<48,30>": "<<None>>",
"<48,31>": "0",
"<48,32>": {
"<48,32,1>": "0x7fffe",
"<48,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<48,33>": "",
"<48,34>": "",
"<48,35>": "",
"<48,36>": "",
"<48,37>": "",
"<48,38>": "",
"<48,39>": "",
"<48,40>": "",
"<48,41>": "",
"<48,42>": "",
"<48,43>": "",
"<48,44>": "",
"<48,45>": "",
"<48,46>": "",
"<48,47>": "",
"<48,48>": "",
"<48,49>": "",
"<48,50>": "",
"<48,51>": "",
"<48,52>": ""
},
"<49>": {
"<49,1>": "HF_AKD_ETCH_MIN",
"<49,2>": "",
"<49,3>": "EDITFIELD",
"<49,4>": "SPC_LIMITS",
"<49,5>": "320",
"<49,6>": "399",
"<49,7>": "73",
"<49,8>": "21",
"<49,9>": "",
"<49,10>": {
"<49,10,1>": "0x56800080",
"<49,10,2>": "0x"
},
"<49,11>": {
"<49,11,1>": "0x0",
"<49,11,2>": "0x80000000"
},
"<49,12>": "49",
"<49,13>": "-2",
"<49,14>": "0",
"<49,15>": {
"<49,15,1>": {
"<49,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<49,15,1,2>": "-11",
"<49,15,1,3>": "700",
"<49,15,1,4>": "0",
"<49,15,1,5>": "0",
"<49,15,1,6>": "0",
"<49,15,1,7>": "0",
"<49,15,1,8>": "34",
"<49,15,1,9>": "0",
"<49,15,1,10>": "1",
"<49,15,1,11>": "2",
"<49,15,1,12>": "1",
"<49,15,1,13>": "0",
"<49,15,1,14>": "0"
}
},
"<49,16>": "",
"<49,17>": "",
"<49,18>": "",
"<49,19>": "",
"<49,20>": "",
"<49,21>": "",
"<49,22>": "",
"<49,23>": "",
"<49,24>": "",
"<49,25>": "0",
"<49,26>": "0",
"<49,27>": "",
"<49,28>": "(MD0)",
"<49,29>": "MD0",
"<49,30>": "<<None>>",
"<49,31>": "0",
"<49,32>": {
"<49,32,1>": "0x7fffe",
"<49,32,2>": "0xc0016508"
},
"<49,33>": "",
"<49,34>": "",
"<49,35>": "",
"<49,36>": "",
"<49,37>": "",
"<49,38>": "",
"<49,39>": "",
"<49,40>": "",
"<49,41>": "",
"<49,42>": "",
"<49,43>": "",
"<49,44>": "",
"<49,45>": "",
"<49,46>": "",
"<49,47>": "",
"<49,48>": "",
"<49,49>": "",
"<49,50>": "",
"<49,51>": "",
"<49,52>": ""
},
"<50>": {
"<50,1>": "HF_AKD_ETCH_MAX",
"<50,2>": "",
"<50,3>": "EDITFIELD",
"<50,4>": "SPC_LIMITS",
"<50,5>": "398",
"<50,6>": "399",
"<50,7>": "70",
"<50,8>": "21",
"<50,9>": "",
"<50,10>": {
"<50,10,1>": "0x56800080",
"<50,10,2>": "0x"
},
"<50,11>": {
"<50,11,1>": "0x0",
"<50,11,2>": "0x80000000"
},
"<50,12>": "50",
"<50,13>": "-2",
"<50,14>": "0",
"<50,15>": {
"<50,15,1>": {
"<50,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<50,15,1,2>": "-11",
"<50,15,1,3>": "700",
"<50,15,1,4>": "0",
"<50,15,1,5>": "0",
"<50,15,1,6>": "0",
"<50,15,1,7>": "0",
"<50,15,1,8>": "34",
"<50,15,1,9>": "0",
"<50,15,1,10>": "1",
"<50,15,1,11>": "2",
"<50,15,1,12>": "1",
"<50,15,1,13>": "0",
"<50,15,1,14>": "0"
}
},
"<50,16>": "",
"<50,17>": "",
"<50,18>": "",
"<50,19>": "",
"<50,20>": "",
"<50,21>": "",
"<50,22>": "",
"<50,23>": "",
"<50,24>": "",
"<50,25>": "0",
"<50,26>": "0",
"<50,27>": "",
"<50,28>": "(MD0)",
"<50,29>": "MD0",
"<50,30>": "<<None>>",
"<50,31>": "0",
"<50,32>": {
"<50,32,1>": "0x7fffe",
"<50,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<50,33>": "",
"<50,34>": "",
"<50,35>": "",
"<50,36>": "",
"<50,37>": "",
"<50,38>": "",
"<50,39>": "",
"<50,40>": "",
"<50,41>": "",
"<50,42>": "",
"<50,43>": "",
"<50,44>": "",
"<50,45>": "",
"<50,46>": "",
"<50,47>": "",
"<50,48>": "",
"<50,49>": "",
"<50,50>": "",
"<50,51>": "",
"<50,52>": ""
},
"<51>": {
"<51,1>": "HF_AKD_ETCH_DATE",
"<51,2>": "",
"<51,3>": "EDITFIELD",
"<51,4>": "SPC_LIMITS",
"<51,5>": "473",
"<51,6>": "399",
"<51,7>": "81",
"<51,8>": "21",
"<51,9>": "",
"<51,10>": {
"<51,10,1>": "0x56800080",
"<51,10,2>": "0x"
},
"<51,11>": {
"<51,11,1>": "0x0",
"<51,11,2>": "0x80000000"
},
"<51,12>": "51",
"<51,13>": "-2",
"<51,14>": "0",
"<51,15>": {
"<51,15,1>": {
"<51,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<51,15,1,2>": "-11",
"<51,15,1,3>": "700",
"<51,15,1,4>": "0",
"<51,15,1,5>": "0",
"<51,15,1,6>": "0",
"<51,15,1,7>": "0",
"<51,15,1,8>": "34",
"<51,15,1,9>": "0",
"<51,15,1,10>": "1",
"<51,15,1,11>": "2",
"<51,15,1,12>": "1",
"<51,15,1,13>": "0",
"<51,15,1,14>": "0"
}
},
"<51,16>": "",
"<51,17>": "",
"<51,18>": "",
"<51,19>": "",
"<51,20>": "",
"<51,21>": "",
"<51,22>": "",
"<51,23>": "",
"<51,24>": "",
"<51,25>": "0",
"<51,26>": "0",
"<51,27>": "",
"<51,28>": "(D)",
"<51,29>": "D2/",
"<51,30>": "<<None>>",
"<51,31>": "0",
"<51,32>": {
"<51,32,1>": "0x7fffe",
"<51,32,2>": "0xc0016d08"
},
"<51,33>": "",
"<51,34>": "",
"<51,35>": "",
"<51,36>": "",
"<51,37>": "",
"<51,38>": "",
"<51,39>": "",
"<51,40>": "",
"<51,41>": "",
"<51,42>": "",
"<51,43>": "",
"<51,44>": "",
"<51,45>": "",
"<51,46>": "",
"<51,47>": "",
"<51,48>": "",
"<51,49>": "",
"<51,50>": "",
"<51,51>": "",
"<51,52>": ""
},
"<52>": {
"<52,1>": "SAVE",
"<52,2>": "",
"<52,3>": "PUSHBUTTON",
"<52,4>": "SPC_LIMITS",
"<52,5>": "298",
"<52,6>": "9",
"<52,7>": "120",
"<52,8>": "25",
"<52,9>": "&Save",
"<52,10>": {
"<52,10,1>": "0x56000000",
"<52,10,2>": "0x"
},
"<52,11>": {
"<52,11,1>": "0x100",
"<52,11,2>": "0x80000000"
},
"<52,12>": "52",
"<52,13>": "-2",
"<52,14>": "0",
"<52,15>": {
"<52,15,1>": {
"<52,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<52,15,1,2>": "-11",
"<52,15,1,3>": "700",
"<52,15,1,4>": "0",
"<52,15,1,5>": "0",
"<52,15,1,6>": "0",
"<52,15,1,7>": "0",
"<52,15,1,8>": "34",
"<52,15,1,9>": "0",
"<52,15,1,10>": "1",
"<52,15,1,11>": "2",
"<52,15,1,12>": "1",
"<52,15,1,13>": "0",
"<52,15,1,14>": "0"
}
},
"<52,16>": "",
"<52,17>": "CLICK",
"<52,18>": "",
"<52,19>": "",
"<52,20>": "",
"<52,21>": "",
"<52,22>": "",
"<52,23>": "",
"<52,24>": "",
"<52,25>": "0",
"<52,26>": "0",
"<52,27>": "",
"<52,28>": "<<None>>",
"<52,29>": "<<None>>",
"<52,30>": "<<None>>",
"<52,31>": "0",
"<52,32>": {
"<52,32,1>": "0x7fffe",
"<52,32,2>": "0xf0016508"
},
"<52,33>": "",
"<52,34>": "",
"<52,35>": "",
"<52,36>": "",
"<52,37>": "",
"<52,38>": "",
"<52,39>": "",
"<52,40>": "1",
"<52,41>": "",
"<52,42>": "",
"<52,43>": "",
"<52,44>": "",
"<52,45>": "",
"<52,46>": "",
"<52,47>": "",
"<52,48>": "",
"<52,49>": "",
"<52,50>": "",
"<52,51>": ""
},
"<53>": {
"<53,1>": "CANCEL",
"<53,2>": "",
"<53,3>": "PUSHBUTTON",
"<53,4>": "SPC_LIMITS",
"<53,5>": "421",
"<53,6>": "9",
"<53,7>": "120",
"<53,8>": "25",
"<53,9>": "&Cancel",
"<53,10>": {
"<53,10,1>": "0x56000000",
"<53,10,2>": "0x"
},
"<53,11>": {
"<53,11,1>": "0x100",
"<53,11,2>": "0x80000000"
},
"<53,12>": "53",
"<53,13>": "-2",
"<53,14>": "0",
"<53,15>": {
"<53,15,1>": {
"<53,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<53,15,1,2>": "-11",
"<53,15,1,3>": "700",
"<53,15,1,4>": "0",
"<53,15,1,5>": "0",
"<53,15,1,6>": "0",
"<53,15,1,7>": "0",
"<53,15,1,8>": "34",
"<53,15,1,9>": "0",
"<53,15,1,10>": "1",
"<53,15,1,11>": "2",
"<53,15,1,12>": "1",
"<53,15,1,13>": "0",
"<53,15,1,14>": "0"
}
},
"<53,16>": "",
"<53,17>": "CLICK",
"<53,18>": "",
"<53,19>": "",
"<53,20>": "",
"<53,21>": "",
"<53,22>": "",
"<53,23>": "",
"<53,24>": "",
"<53,25>": "0",
"<53,26>": "0",
"<53,27>": "",
"<53,28>": "<<None>>",
"<53,29>": "<<None>>",
"<53,30>": "<<None>>",
"<53,31>": "0",
"<53,32>": {
"<53,32,1>": "0x7fffe",
"<53,32,2>": "0xf0016508"
},
"<53,33>": "",
"<53,34>": "",
"<53,35>": "",
"<53,36>": "",
"<53,37>": "",
"<53,38>": "",
"<53,39>": "",
"<53,40>": "1",
"<53,41>": "",
"<53,42>": "",
"<53,43>": "",
"<53,44>": "",
"<53,45>": "",
"<53,46>": "",
"<53,47>": "",
"<53,48>": "",
"<53,49>": "",
"<53,50>": "",
"<53,51>": ""
},
"<54>": {
"<54,1>": "TEXT_34",
"<54,2>": "",
"<54,3>": "STATIC",
"<54,4>": "SPC_LIMITS",
"<54,5>": "11",
"<54,6>": "30:1",
"<54,7>": "194",
"<54,8>": "14",
"<54,9>": "|-----------------[ High ]-------------------|",
"<54,10>": {
"<54,10,1>": "0x56000000",
"<54,10,2>": "0x"
},
"<54,11>": {
"<54,11,1>": "0x0",
"<54,11,2>": "0x80000000"
},
"<54,12>": "54",
"<54,13>": "-1",
"<54,14>": "0",
"<54,15>": {
"<54,15,1>": {
"<54,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<54,15,1,2>": "-11",
"<54,15,1,3>": "700",
"<54,15,1,4>": "0",
"<54,15,1,5>": "0",
"<54,15,1,6>": "0",
"<54,15,1,7>": "0",
"<54,15,1,8>": "34",
"<54,15,1,9>": "0",
"<54,15,1,10>": "1",
"<54,15,1,11>": "2",
"<54,15,1,12>": "1",
"<54,15,1,13>": "0",
"<54,15,1,14>": "0"
}
},
"<54,16>": "",
"<54,17>": "",
"<54,18>": "",
"<54,19>": "",
"<54,20>": "",
"<54,21>": "",
"<54,22>": "",
"<54,23>": "",
"<54,24>": "",
"<54,25>": "0",
"<54,26>": "0",
"<54,27>": "",
"<54,28>": "<<None>>",
"<54,29>": "<<None>>",
"<54,30>": "<<None>>",
"<54,31>": "0",
"<54,32>": {
"<54,32,1>": "0x7fffe",
"<54,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<54,33>": "",
"<54,34>": "",
"<54,35>": "",
"<54,36>": "",
"<54,37>": "",
"<54,38>": "",
"<54,39>": "",
"<54,40>": "",
"<54,41>": "",
"<54,42>": "",
"<54,43>": "",
"<54,44>": "",
"<54,45>": "",
"<54,46>": "",
"<54,47>": "",
"<54,48>": "",
"<54,49>": "",
"<54,50>": "",
"<54,51>": "",
"<54,52>": ""
},
"<55>": {
"<55,1>": "EVAL_FTIR_INFO",
"<55,2>": "",
"<55,3>": "EDITTABLE",
"<55,4>": "SPC_LIMITS",
"<55,5>": "13",
"<55,6>": "49:1",
"<55,7>": "595",
"<55,8>": "62",
"<55,9>": "",
"<55,10>": {
"<55,10,1>": "0x560001D1",
"<55,10,2>": "0x200"
},
"<55,11>": {
"<55,11,1>": "0x60000",
"<55,11,2>": "0x80000002"
},
"<55,12>": "55",
"<55,13>": "-2",
"<55,14>": "0",
"<55,15>": {
"<55,15,1>": {
"<55,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<55,15,1,2>": "-11",
"<55,15,1,3>": "700",
"<55,15,1,4>": "0",
"<55,15,1,5>": "0",
"<55,15,1,6>": "0",
"<55,15,1,7>": "0",
"<55,15,1,8>": "34",
"<55,15,1,9>": "0",
"<55,15,1,10>": "1",
"<55,15,1,11>": "2",
"<55,15,1,12>": "1",
"<55,15,1,13>": "0",
"<55,15,1,14>": "0"
}
},
"<55,16>": "",
"<55,17>": {
"<55,17,1>": {
"<55,17,1,1>": "CLICK",
"<55,17,1,2>": "LOSTFOCUS",
"<55,17,1,3>": "OPTIONS"
}
},
"<55,18>": "",
"<55,19>": "",
"<55,20>": "",
"<55,21>": "",
"<55,22>": "",
"<55,23>": "",
"<55,24>": "",
"<55,25>": "0",
"<55,26>": "0",
"<55,27>": "",
"<55,28>": {
"<55,28,1>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALFTIRWAFERID]",
"<55,28,2>": "(MD3)",
"<55,28,3>": "(MD3)",
"<55,28,4>": "(D)",
"<55,28,5>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALFTIRWAFERID]",
"<55,28,6>": "(MD3)",
"<55,28,7>": "(MD3)",
"<55,28,8>": "(D)",
"<55,28,9>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALFTIRWAFERID]",
"<55,28,10>": "(MD3)",
"<55,28,11>": "(MD3)",
"<55,28,12>": "(D)"
},
"<55,29>": {
"<55,29,1>": "<<None>>",
"<55,29,2>": "MD3",
"<55,29,3>": "MD3",
"<55,29,4>": "D2/",
"<55,29,5>": "<<None>>",
"<55,29,6>": "MD3",
"<55,29,7>": "MD3",
"<55,29,8>": "D2/",
"<55,29,9>": "<<None>>",
"<55,29,10>": "MD3",
"<55,29,11>": "MD3",
"<55,29,12>": "D2/"
},
"<55,30>": {
"<55,30,1>": "<<None>>",
"<55,30,2>": "<<None>>",
"<55,30,3>": "<<None>>",
"<55,30,4>": "<<None>>",
"<55,30,5>": "<<None>>",
"<55,30,6>": "<<None>>",
"<55,30,7>": "<<None>>",
"<55,30,8>": "<<None>>",
"<55,30,9>": "<<None>>",
"<55,30,10>": "<<None>>",
"<55,30,11>": "<<None>>",
"<55,30,12>": "<<None>>"
},
"<55,31>": {
"<55,31,1>": "0",
"<55,31,2>": "0",
"<55,31,3>": "0",
"<55,31,4>": "0",
"<55,31,5>": "0",
"<55,31,6>": "0",
"<55,31,7>": "0",
"<55,31,8>": "0",
"<55,31,9>": "0",
"<55,31,10>": "0",
"<55,31,11>": "0",
"<55,31,12>": "0"
},
"<55,32>": {
"<55,32,1>": "0x7e27e",
"<55,32,2>": "0xc001eb08"
},
"<55,33>": "",
"<55,34>": "",
"<55,35>": {
"<55,35,1>": "",
"<55,35,2>": "",
"<55,35,3>": "",
"<55,35,4>": ""
},
"<55,36>": "",
"<55,37>": "",
"<55,38>": "",
"<55,39>": {
"<55,39,1>": "80",
"<55,39,2>": "80",
"<55,39,3>": "80",
"<55,39,4>": "80",
"<55,39,5>": "80",
"<55,39,6>": "80",
"<55,39,7>": "80",
"<55,39,8>": "80",
"<55,39,9>": "80",
"<55,39,10>": "80",
"<55,39,11>": "80",
"<55,39,12>": "80"
},
"<55,40>": "12",
"<55,41>": {
"<55,41,1>": "0",
"<55,41,2>": "",
"<55,41,3>": "",
"<55,41,4>": "",
"<55,41,5>": "",
"<55,41,6>": "",
"<55,41,7>": "",
"<55,41,8>": "40"
},
"<55,42>": {
"<55,42,1>": "16384",
"<55,42,2>": "16384",
"<55,42,3>": "16384",
"<55,42,4>": "16384",
"<55,42,5>": "16384",
"<55,42,6>": "16384",
"<55,42,7>": "16384",
"<55,42,8>": "16384",
"<55,42,9>": "16384",
"<55,42,10>": "16384",
"<55,42,11>": "16384",
"<55,42,12>": "16384"
},
"<55,43>": {
"<55,43,1>": "38",
"<55,43,2>": "44",
"<55,43,3>": "44",
"<55,43,4>": "66",
"<55,43,5>": "38",
"<55,43,6>": "44",
"<55,43,7>": "44",
"<55,43,8>": "66",
"<55,43,9>": "38",
"<55,43,10>": "44",
"<55,43,11>": "44",
"<55,43,12>": "66"
},
"<55,44>": {
"<55,44,1>": "ID#",
"<55,44,2>": "Min",
"<55,44,3>": "Max",
"<55,44,4>": "Change",
"<55,44,5>": "ID#",
"<55,44,6>": "Min",
"<55,44,7>": "Max",
"<55,44,8>": "Change",
"<55,44,9>": "ID#",
"<55,44,10>": "Min",
"<55,44,11>": "Max",
"<55,44,12>": "Change"
},
"<55,45>": "",
"<55,46>": "",
"<55,47>": "",
"<55,48>": "",
"<55,49>": "",
"<55,50>": "",
"<55,51>": "",
"<55,52>": "",
"<55,53>": "",
"<55,54>": "",
"<55,55>": "",
"<55,56>": "",
"<55,57>": "",
"<55,58>": "",
"<55,59>": "",
"<55,60>": {
"<55,60,1>": "18",
"<55,60,2>": "18",
"<55,60,3>": "18",
"<55,60,4>": "18",
"<55,60,5>": "18",
"<55,60,6>": "18",
"<55,60,7>": "18",
"<55,60,8>": "18",
"<55,60,9>": "18",
"<55,60,10>": "18",
"<55,60,11>": "18",
"<55,60,12>": "18"
}
},
"<56>": {
"<56,1>": "TEXT_32",
"<56,2>": "",
"<56,3>": "STATIC",
"<56,4>": "SPC_LIMITS",
"<56,5>": "205",
"<56,6>": "30:1",
"<56,7>": "193",
"<56,8>": "13",
"<56,9>": "|-----------------[ Mid ]--------------------|",
"<56,10>": {
"<56,10,1>": "0x56000000",
"<56,10,2>": "0x"
},
"<56,11>": {
"<56,11,1>": "0x0",
"<56,11,2>": "0x80000000"
},
"<56,12>": "56",
"<56,13>": "-1",
"<56,14>": "0",
"<56,15>": {
"<56,15,1>": {
"<56,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<56,15,1,2>": "-11",
"<56,15,1,3>": "700",
"<56,15,1,4>": "0",
"<56,15,1,5>": "0",
"<56,15,1,6>": "0",
"<56,15,1,7>": "0",
"<56,15,1,8>": "34",
"<56,15,1,9>": "0",
"<56,15,1,10>": "1",
"<56,15,1,11>": "2",
"<56,15,1,12>": "1",
"<56,15,1,13>": "0",
"<56,15,1,14>": "0"
}
},
"<56,16>": "",
"<56,17>": "",
"<56,18>": "",
"<56,19>": "",
"<56,20>": "",
"<56,21>": "",
"<56,22>": "",
"<56,23>": "",
"<56,24>": "",
"<56,25>": "0",
"<56,26>": "0",
"<56,27>": "",
"<56,28>": "<<None>>",
"<56,29>": "<<None>>",
"<56,30>": "<<None>>",
"<56,31>": "0",
"<56,32>": {
"<56,32,1>": "0x7fffe",
"<56,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<56,33>": "",
"<56,34>": "",
"<56,35>": "",
"<56,36>": "",
"<56,37>": "",
"<56,38>": "",
"<56,39>": "",
"<56,40>": "",
"<56,41>": "",
"<56,42>": "",
"<56,43>": "",
"<56,44>": "",
"<56,45>": "",
"<56,46>": "",
"<56,47>": "",
"<56,48>": "",
"<56,49>": "",
"<56,50>": "",
"<56,51>": "",
"<56,52>": ""
},
"<57>": {
"<57,1>": "TEXT_33",
"<57,2>": "",
"<57,3>": "STATIC",
"<57,4>": "SPC_LIMITS",
"<57,5>": "397",
"<57,6>": "30:1",
"<57,7>": "203",
"<57,8>": "13",
"<57,9>": "|-----------------[ Low ]--------------------|",
"<57,10>": {
"<57,10,1>": "0x56000000",
"<57,10,2>": "0x"
},
"<57,11>": {
"<57,11,1>": "0x0",
"<57,11,2>": "0x80000000"
},
"<57,12>": "57",
"<57,13>": "-1",
"<57,14>": "0",
"<57,15>": {
"<57,15,1>": {
"<57,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<57,15,1,2>": "-11",
"<57,15,1,3>": "700",
"<57,15,1,4>": "0",
"<57,15,1,5>": "0",
"<57,15,1,6>": "0",
"<57,15,1,7>": "0",
"<57,15,1,8>": "34",
"<57,15,1,9>": "0",
"<57,15,1,10>": "1",
"<57,15,1,11>": "2",
"<57,15,1,12>": "1",
"<57,15,1,13>": "0",
"<57,15,1,14>": "0"
}
},
"<57,16>": "",
"<57,17>": "",
"<57,18>": "",
"<57,19>": "",
"<57,20>": "",
"<57,21>": "",
"<57,22>": "",
"<57,23>": "",
"<57,24>": "",
"<57,25>": "0",
"<57,26>": "0",
"<57,27>": "",
"<57,28>": "<<None>>",
"<57,29>": "<<None>>",
"<57,30>": "<<None>>",
"<57,31>": "0",
"<57,32>": {
"<57,32,1>": "0x7fffe",
"<57,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<57,33>": "",
"<57,34>": "",
"<57,35>": "",
"<57,36>": "",
"<57,37>": "",
"<57,38>": "",
"<57,39>": "",
"<57,40>": "",
"<57,41>": "",
"<57,42>": "",
"<57,43>": "",
"<57,44>": "",
"<57,45>": "",
"<57,46>": "",
"<57,47>": "",
"<57,48>": "",
"<57,49>": "",
"<57,50>": "",
"<57,51>": "",
"<57,52>": ""
},
"<58>": {
"<58,1>": "EVAL_FTIR_STDEV_INFO",
"<58,2>": "",
"<58,3>": "EDITTABLE",
"<58,4>": "SPC_LIMITS",
"<58,5>": "13",
"<58,6>": "154:1",
"<58,7>": "595",
"<58,8>": "62",
"<58,9>": "",
"<58,10>": {
"<58,10,1>": "0x560001D1",
"<58,10,2>": "0x200"
},
"<58,11>": {
"<58,11,1>": "0x60000",
"<58,11,2>": "0x80000002"
},
"<58,12>": "58",
"<58,13>": "-2",
"<58,14>": "0",
"<58,15>": {
"<58,15,1>": {
"<58,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<58,15,1,2>": "-11",
"<58,15,1,3>": "700",
"<58,15,1,4>": "0",
"<58,15,1,5>": "0",
"<58,15,1,6>": "0",
"<58,15,1,7>": "0",
"<58,15,1,8>": "34",
"<58,15,1,9>": "0",
"<58,15,1,10>": "1",
"<58,15,1,11>": "2",
"<58,15,1,12>": "1",
"<58,15,1,13>": "0",
"<58,15,1,14>": "0"
}
},
"<58,16>": "",
"<58,17>": {
"<58,17,1>": {
"<58,17,1,1>": "CLICK",
"<58,17,1,2>": "LOSTFOCUS",
"<58,17,1,3>": "OPTIONS"
}
},
"<58,18>": "",
"<58,19>": "",
"<58,20>": "",
"<58,21>": "",
"<58,22>": "",
"<58,23>": "",
"<58,24>": "",
"<58,25>": "0",
"<58,26>": "0",
"<58,27>": "",
"<58,28>": {
"<58,28,1>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALFTIRWAFERID]",
"<58,28,2>": "(MD3)",
"<58,28,3>": "(MD3)",
"<58,28,4>": "(D)",
"<58,28,5>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALFTIRWAFERID]",
"<58,28,6>": "(MD3)",
"<58,28,7>": "(MD3)",
"<58,28,8>": "(D)",
"<58,28,9>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALFTIRWAFERID]",
"<58,28,10>": "(MD3)",
"<58,28,11>": "(MD3)",
"<58,28,12>": "(D)"
},
"<58,29>": {
"<58,29,1>": "<<None>>",
"<58,29,2>": "MD3",
"<58,29,3>": "MD3",
"<58,29,4>": "D2/",
"<58,29,5>": "<<None>>",
"<58,29,6>": "MD3",
"<58,29,7>": "MD3",
"<58,29,8>": "D2/",
"<58,29,9>": "<<None>>",
"<58,29,10>": "MD3",
"<58,29,11>": "MD3",
"<58,29,12>": "D2/"
},
"<58,30>": {
"<58,30,1>": "<<None>>",
"<58,30,2>": "<<None>>",
"<58,30,3>": "<<None>>",
"<58,30,4>": "<<None>>",
"<58,30,5>": "<<None>>",
"<58,30,6>": "<<None>>",
"<58,30,7>": "<<None>>",
"<58,30,8>": "<<None>>",
"<58,30,9>": "<<None>>",
"<58,30,10>": "<<None>>",
"<58,30,11>": "<<None>>",
"<58,30,12>": "<<None>>"
},
"<58,31>": {
"<58,31,1>": "0",
"<58,31,2>": "0",
"<58,31,3>": "0",
"<58,31,4>": "0",
"<58,31,5>": "0",
"<58,31,6>": "0",
"<58,31,7>": "0",
"<58,31,8>": "0",
"<58,31,9>": "0",
"<58,31,10>": "0",
"<58,31,11>": "0",
"<58,31,12>": "0"
},
"<58,32>": {
"<58,32,1>": "0x7e27e",
"<58,32,2>": "0xc001eb08"
},
"<58,33>": "",
"<58,34>": "",
"<58,35>": {
"<58,35,1>": "",
"<58,35,2>": "",
"<58,35,3>": "",
"<58,35,4>": ""
},
"<58,36>": "",
"<58,37>": "",
"<58,38>": "",
"<58,39>": {
"<58,39,1>": "80",
"<58,39,2>": "80",
"<58,39,3>": "80",
"<58,39,4>": "80",
"<58,39,5>": "80",
"<58,39,6>": "80",
"<58,39,7>": "80",
"<58,39,8>": "80",
"<58,39,9>": "80",
"<58,39,10>": "80",
"<58,39,11>": "80",
"<58,39,12>": "80"
},
"<58,40>": "12",
"<58,41>": {
"<58,41,1>": "0",
"<58,41,2>": "",
"<58,41,3>": "",
"<58,41,4>": "",
"<58,41,5>": "",
"<58,41,6>": "",
"<58,41,7>": "",
"<58,41,8>": "40"
},
"<58,42>": {
"<58,42,1>": "16384",
"<58,42,2>": "16384",
"<58,42,3>": "16384",
"<58,42,4>": "16384",
"<58,42,5>": "16384",
"<58,42,6>": "16384",
"<58,42,7>": "16384",
"<58,42,8>": "16384",
"<58,42,9>": "16384",
"<58,42,10>": "16384",
"<58,42,11>": "16384",
"<58,42,12>": "16384"
},
"<58,43>": {
"<58,43,1>": "38",
"<58,43,2>": "44",
"<58,43,3>": "44",
"<58,43,4>": "66",
"<58,43,5>": "38",
"<58,43,6>": "44",
"<58,43,7>": "44",
"<58,43,8>": "66",
"<58,43,9>": "38",
"<58,43,10>": "44",
"<58,43,11>": "44",
"<58,43,12>": "66"
},
"<58,44>": {
"<58,44,1>": "ID#",
"<58,44,2>": "Min",
"<58,44,3>": "Max",
"<58,44,4>": "Change",
"<58,44,5>": "ID#",
"<58,44,6>": "Min",
"<58,44,7>": "Max",
"<58,44,8>": "Change",
"<58,44,9>": "ID#",
"<58,44,10>": "Min",
"<58,44,11>": "Max",
"<58,44,12>": "Change"
},
"<58,45>": "",
"<58,46>": "",
"<58,47>": "",
"<58,48>": "",
"<58,49>": "",
"<58,50>": "",
"<58,51>": "",
"<58,52>": "",
"<58,53>": "",
"<58,54>": "",
"<58,55>": "",
"<58,56>": "",
"<58,57>": "",
"<58,58>": "",
"<58,59>": "",
"<58,60>": {
"<58,60,1>": "18",
"<58,60,2>": "18",
"<58,60,3>": "18",
"<58,60,4>": "18",
"<58,60,5>": "18",
"<58,60,6>": "18",
"<58,60,7>": "18",
"<58,60,8>": "18",
"<58,60,9>": "18",
"<58,60,10>": "18",
"<58,60,11>": "18",
"<58,60,12>": "18"
}
},
"<59>": {
"<59,1>": "TEXT_29",
"<59,2>": "",
"<59,3>": "STATIC",
"<59,4>": "SPC_LIMITS",
"<59,5>": "11",
"<59,6>": "138:1",
"<59,7>": "194",
"<59,8>": "14",
"<59,9>": "|-----------------[ High ]-------------------|",
"<59,10>": {
"<59,10,1>": "0x56000000",
"<59,10,2>": "0x"
},
"<59,11>": {
"<59,11,1>": "0x0",
"<59,11,2>": "0x80000000"
},
"<59,12>": "59",
"<59,13>": "-1",
"<59,14>": "0",
"<59,15>": {
"<59,15,1>": {
"<59,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<59,15,1,2>": "-11",
"<59,15,1,3>": "700",
"<59,15,1,4>": "0",
"<59,15,1,5>": "0",
"<59,15,1,6>": "0",
"<59,15,1,7>": "0",
"<59,15,1,8>": "34",
"<59,15,1,9>": "0",
"<59,15,1,10>": "1",
"<59,15,1,11>": "2",
"<59,15,1,12>": "1",
"<59,15,1,13>": "0",
"<59,15,1,14>": "0"
}
},
"<59,16>": "",
"<59,17>": "",
"<59,18>": "",
"<59,19>": "",
"<59,20>": "",
"<59,21>": "",
"<59,22>": "",
"<59,23>": "",
"<59,24>": "",
"<59,25>": "0",
"<59,26>": "0",
"<59,27>": "",
"<59,28>": "<<None>>",
"<59,29>": "<<None>>",
"<59,30>": "<<None>>",
"<59,31>": "0",
"<59,32>": {
"<59,32,1>": "0x7fffe",
"<59,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<59,33>": "",
"<59,34>": "",
"<59,35>": "",
"<59,36>": "",
"<59,37>": "",
"<59,38>": "",
"<59,39>": "",
"<59,40>": "",
"<59,41>": "",
"<59,42>": "",
"<59,43>": "",
"<59,44>": "",
"<59,45>": "",
"<59,46>": "",
"<59,47>": "",
"<59,48>": "",
"<59,49>": "",
"<59,50>": "",
"<59,51>": "",
"<59,52>": ""
},
"<60>": {
"<60,1>": "TEXT_30",
"<60,2>": "",
"<60,3>": "STATIC",
"<60,4>": "SPC_LIMITS",
"<60,5>": "205",
"<60,6>": "138:1",
"<60,7>": "191",
"<60,8>": "13",
"<60,9>": "|-----------------[ Mid ]--------------------|",
"<60,10>": {
"<60,10,1>": "0x56000000",
"<60,10,2>": "0x"
},
"<60,11>": {
"<60,11,1>": "0x0",
"<60,11,2>": "0x80000000"
},
"<60,12>": "60",
"<60,13>": "-1",
"<60,14>": "0",
"<60,15>": {
"<60,15,1>": {
"<60,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<60,15,1,2>": "-11",
"<60,15,1,3>": "700",
"<60,15,1,4>": "0",
"<60,15,1,5>": "0",
"<60,15,1,6>": "0",
"<60,15,1,7>": "0",
"<60,15,1,8>": "34",
"<60,15,1,9>": "0",
"<60,15,1,10>": "1",
"<60,15,1,11>": "2",
"<60,15,1,12>": "1",
"<60,15,1,13>": "0",
"<60,15,1,14>": "0"
}
},
"<60,16>": "",
"<60,17>": "",
"<60,18>": "",
"<60,19>": "",
"<60,20>": "",
"<60,21>": "",
"<60,22>": "",
"<60,23>": "",
"<60,24>": "",
"<60,25>": "0",
"<60,26>": "0",
"<60,27>": "",
"<60,28>": "<<None>>",
"<60,29>": "<<None>>",
"<60,30>": "<<None>>",
"<60,31>": "0",
"<60,32>": {
"<60,32,1>": "0x7fffe",
"<60,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<60,33>": "",
"<60,34>": "",
"<60,35>": "",
"<60,36>": "",
"<60,37>": "",
"<60,38>": "",
"<60,39>": "",
"<60,40>": "",
"<60,41>": "",
"<60,42>": "",
"<60,43>": "",
"<60,44>": "",
"<60,45>": "",
"<60,46>": "",
"<60,47>": "",
"<60,48>": "",
"<60,49>": "",
"<60,50>": "",
"<60,51>": "",
"<60,52>": ""
},
"<61>": {
"<61,1>": "TEXT_31",
"<61,2>": "",
"<61,3>": "STATIC",
"<61,4>": "SPC_LIMITS",
"<61,5>": "396",
"<61,6>": "138:1",
"<61,7>": "203",
"<61,8>": "13",
"<61,9>": "|-----------------[ Low ]--------------------|",
"<61,10>": {
"<61,10,1>": "0x56000000",
"<61,10,2>": "0x"
},
"<61,11>": {
"<61,11,1>": "0x0",
"<61,11,2>": "0x80000000"
},
"<61,12>": "61",
"<61,13>": "-1",
"<61,14>": "0",
"<61,15>": {
"<61,15,1>": {
"<61,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<61,15,1,2>": "-11",
"<61,15,1,3>": "700",
"<61,15,1,4>": "0",
"<61,15,1,5>": "0",
"<61,15,1,6>": "0",
"<61,15,1,7>": "0",
"<61,15,1,8>": "34",
"<61,15,1,9>": "0",
"<61,15,1,10>": "1",
"<61,15,1,11>": "2",
"<61,15,1,12>": "1",
"<61,15,1,13>": "0",
"<61,15,1,14>": "0"
}
},
"<61,16>": "",
"<61,17>": "",
"<61,18>": "",
"<61,19>": "",
"<61,20>": "",
"<61,21>": "",
"<61,22>": "",
"<61,23>": "",
"<61,24>": "",
"<61,25>": "0",
"<61,26>": "0",
"<61,27>": "",
"<61,28>": "<<None>>",
"<61,29>": "<<None>>",
"<61,30>": "<<None>>",
"<61,31>": "0",
"<61,32>": {
"<61,32,1>": "0x7fffe",
"<61,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<61,33>": "",
"<61,34>": "",
"<61,35>": "",
"<61,36>": "",
"<61,37>": "",
"<61,38>": "",
"<61,39>": "",
"<61,40>": "",
"<61,41>": "",
"<61,42>": "",
"<61,43>": "",
"<61,44>": "",
"<61,45>": "",
"<61,46>": "",
"<61,47>": "",
"<61,48>": "",
"<61,49>": "",
"<61,50>": "",
"<61,51>": "",
"<61,52>": ""
},
"<62>": {
"<62,1>": "TEXT_32B",
"<62,2>": "",
"<62,3>": "STATIC",
"<62,4>": "SPC_LIMITS",
"<62,5>": "11",
"<62,6>": "239:1",
"<62,7>": "194",
"<62,8>": "14",
"<62,9>": "|-----------------[ High ]-------------------|",
"<62,10>": {
"<62,10,1>": "0x56000000",
"<62,10,2>": "0x"
},
"<62,11>": {
"<62,11,1>": "0x0",
"<62,11,2>": "0x80000000"
},
"<62,12>": "62",
"<62,13>": "-1",
"<62,14>": "0",
"<62,15>": {
"<62,15,1>": {
"<62,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<62,15,1,2>": "-11",
"<62,15,1,3>": "700",
"<62,15,1,4>": "0",
"<62,15,1,5>": "0",
"<62,15,1,6>": "0",
"<62,15,1,7>": "0",
"<62,15,1,8>": "34",
"<62,15,1,9>": "0",
"<62,15,1,10>": "1",
"<62,15,1,11>": "2",
"<62,15,1,12>": "1",
"<62,15,1,13>": "0",
"<62,15,1,14>": "0"
}
},
"<62,16>": "",
"<62,17>": "",
"<62,18>": "",
"<62,19>": "",
"<62,20>": "",
"<62,21>": "",
"<62,22>": "",
"<62,23>": "",
"<62,24>": "",
"<62,25>": "0",
"<62,26>": "0",
"<62,27>": "",
"<62,28>": "<<None>>",
"<62,29>": "<<None>>",
"<62,30>": "<<None>>",
"<62,31>": "0",
"<62,32>": {
"<62,32,1>": "0x7fffe",
"<62,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<62,33>": "",
"<62,34>": "",
"<62,35>": "",
"<62,36>": "",
"<62,37>": "",
"<62,38>": "",
"<62,39>": "",
"<62,40>": "",
"<62,41>": "",
"<62,42>": "",
"<62,43>": "",
"<62,44>": "",
"<62,45>": "",
"<62,46>": "",
"<62,47>": "",
"<62,48>": "",
"<62,49>": "",
"<62,50>": "",
"<62,51>": "",
"<62,52>": ""
},
"<63>": {
"<63,1>": "TEXT_33B",
"<63,2>": "",
"<63,3>": "STATIC",
"<63,4>": "SPC_LIMITS",
"<63,5>": "205",
"<63,6>": "239:1",
"<63,7>": "191",
"<63,8>": "13",
"<63,9>": "|-----------------[ Mid ]--------------------|",
"<63,10>": {
"<63,10,1>": "0x56000000",
"<63,10,2>": "0x"
},
"<63,11>": {
"<63,11,1>": "0x0",
"<63,11,2>": "0x80000000"
},
"<63,12>": "63",
"<63,13>": "-1",
"<63,14>": "0",
"<63,15>": {
"<63,15,1>": {
"<63,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<63,15,1,2>": "-11",
"<63,15,1,3>": "700",
"<63,15,1,4>": "0",
"<63,15,1,5>": "0",
"<63,15,1,6>": "0",
"<63,15,1,7>": "0",
"<63,15,1,8>": "34",
"<63,15,1,9>": "0",
"<63,15,1,10>": "1",
"<63,15,1,11>": "2",
"<63,15,1,12>": "1",
"<63,15,1,13>": "0",
"<63,15,1,14>": "0"
}
},
"<63,16>": "",
"<63,17>": "",
"<63,18>": "",
"<63,19>": "",
"<63,20>": "",
"<63,21>": "",
"<63,22>": "",
"<63,23>": "",
"<63,24>": "",
"<63,25>": "0",
"<63,26>": "0",
"<63,27>": "",
"<63,28>": "<<None>>",
"<63,29>": "<<None>>",
"<63,30>": "<<None>>",
"<63,31>": "0",
"<63,32>": {
"<63,32,1>": "0x7fffe",
"<63,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<63,33>": "",
"<63,34>": "",
"<63,35>": "",
"<63,36>": "",
"<63,37>": "",
"<63,38>": "",
"<63,39>": "",
"<63,40>": "",
"<63,41>": "",
"<63,42>": "",
"<63,43>": "",
"<63,44>": "",
"<63,45>": "",
"<63,46>": "",
"<63,47>": "",
"<63,48>": "",
"<63,49>": "",
"<63,50>": "",
"<63,51>": "",
"<63,52>": ""
},
"<64>": {
"<64,1>": "TEXT_34B",
"<64,2>": "",
"<64,3>": "STATIC",
"<64,4>": "SPC_LIMITS",
"<64,5>": "397",
"<64,6>": "239:1",
"<64,7>": "203",
"<64,8>": "13",
"<64,9>": "|-----------------[ Low ]--------------------|",
"<64,10>": {
"<64,10,1>": "0x56000000",
"<64,10,2>": "0x"
},
"<64,11>": {
"<64,11,1>": "0x0",
"<64,11,2>": "0x80000000"
},
"<64,12>": "64",
"<64,13>": "-1",
"<64,14>": "0",
"<64,15>": {
"<64,15,1>": {
"<64,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<64,15,1,2>": "-11",
"<64,15,1,3>": "700",
"<64,15,1,4>": "0",
"<64,15,1,5>": "0",
"<64,15,1,6>": "0",
"<64,15,1,7>": "0",
"<64,15,1,8>": "34",
"<64,15,1,9>": "0",
"<64,15,1,10>": "1",
"<64,15,1,11>": "2",
"<64,15,1,12>": "1",
"<64,15,1,13>": "0",
"<64,15,1,14>": "0"
}
},
"<64,16>": "",
"<64,17>": "",
"<64,18>": "",
"<64,19>": "",
"<64,20>": "",
"<64,21>": "",
"<64,22>": "",
"<64,23>": "",
"<64,24>": "",
"<64,25>": "0",
"<64,26>": "0",
"<64,27>": "",
"<64,28>": "<<None>>",
"<64,29>": "<<None>>",
"<64,30>": "<<None>>",
"<64,31>": "0",
"<64,32>": {
"<64,32,1>": "0x7fffe",
"<64,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<64,33>": "",
"<64,34>": "",
"<64,35>": "",
"<64,36>": "",
"<64,37>": "",
"<64,38>": "",
"<64,39>": "",
"<64,40>": "",
"<64,41>": "",
"<64,42>": "",
"<64,43>": "",
"<64,44>": "",
"<64,45>": "",
"<64,46>": "",
"<64,47>": "",
"<64,48>": "",
"<64,49>": "",
"<64,50>": "",
"<64,51>": "",
"<64,52>": ""
},
"<65>": {
"<65,1>": "EVAL_4PP_INFO",
"<65,2>": "",
"<65,3>": "EDITTABLE",
"<65,4>": "SPC_LIMITS",
"<65,5>": "12",
"<65,6>": "255:1",
"<65,7>": "595",
"<65,8>": "62",
"<65,9>": "",
"<65,10>": {
"<65,10,1>": "0x560001D1",
"<65,10,2>": "0x200"
},
"<65,11>": {
"<65,11,1>": "0x60000",
"<65,11,2>": "0x80000002"
},
"<65,12>": "65",
"<65,13>": "-2",
"<65,14>": "0",
"<65,15>": {
"<65,15,1>": {
"<65,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<65,15,1,2>": "-11",
"<65,15,1,3>": "700",
"<65,15,1,4>": "0",
"<65,15,1,5>": "0",
"<65,15,1,6>": "0",
"<65,15,1,7>": "0",
"<65,15,1,8>": "34",
"<65,15,1,9>": "0",
"<65,15,1,10>": "1",
"<65,15,1,11>": "2",
"<65,15,1,12>": "1",
"<65,15,1,13>": "0",
"<65,15,1,14>": "0"
}
},
"<65,16>": "",
"<65,17>": {
"<65,17,1>": {
"<65,17,1,1>": "CLICK",
"<65,17,1,2>": "LOSTFOCUS",
"<65,17,1,3>": "OPTIONS"
}
},
"<65,18>": "",
"<65,19>": "",
"<65,20>": "",
"<65,21>": "",
"<65,22>": "",
"<65,23>": "",
"<65,24>": "",
"<65,25>": "0",
"<65,26>": "0",
"<65,27>": "",
"<65,28>": {
"<65,28,1>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVAL4PPWAFERID]",
"<65,28,2>": "<<None>>",
"<65,28,3>": "<<None>>",
"<65,28,4>": "(D)",
"<65,28,5>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVAL4PPWAFERID]",
"<65,28,6>": "<<None>>",
"<65,28,7>": "<<None>>",
"<65,28,8>": "(D)",
"<65,28,9>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVAL4PPWAFERID]",
"<65,28,10>": "<<None>>",
"<65,28,11>": "<<None>>",
"<65,28,12>": "(D)"
},
"<65,29>": {
"<65,29,1>": "<<None>>",
"<65,29,2>": "<<None>>",
"<65,29,3>": "<<None>>",
"<65,29,4>": "D2/",
"<65,29,5>": "<<None>>",
"<65,29,6>": "<<None>>",
"<65,29,7>": "<<None>>",
"<65,29,8>": "D2/",
"<65,29,9>": "<<None>>",
"<65,29,10>": "<<None>>",
"<65,29,11>": "<<None>>",
"<65,29,12>": "D2/"
},
"<65,30>": {
"<65,30,1>": "<<None>>",
"<65,30,2>": "<<None>>",
"<65,30,3>": "<<None>>",
"<65,30,4>": "<<None>>",
"<65,30,5>": "<<None>>",
"<65,30,6>": "<<None>>",
"<65,30,7>": "<<None>>",
"<65,30,8>": "<<None>>",
"<65,30,9>": "<<None>>",
"<65,30,10>": "<<None>>",
"<65,30,11>": "<<None>>",
"<65,30,12>": "<<None>>"
},
"<65,31>": {
"<65,31,1>": "0",
"<65,31,2>": "0",
"<65,31,3>": "0",
"<65,31,4>": "0",
"<65,31,5>": "0",
"<65,31,6>": "0",
"<65,31,7>": "0",
"<65,31,8>": "0",
"<65,31,9>": "0",
"<65,31,10>": "0",
"<65,31,11>": "0",
"<65,31,12>": "0"
},
"<65,32>": {
"<65,32,1>": "0x7e27e",
"<65,32,2>": "0xc001eb08"
},
"<65,33>": "",
"<65,34>": "",
"<65,35>": {
"<65,35,1>": "",
"<65,35,2>": "",
"<65,35,3>": "",
"<65,35,4>": ""
},
"<65,36>": "",
"<65,37>": "",
"<65,38>": "",
"<65,39>": {
"<65,39,1>": "80",
"<65,39,2>": "80",
"<65,39,3>": "80",
"<65,39,4>": "80",
"<65,39,5>": "80",
"<65,39,6>": "80",
"<65,39,7>": "80",
"<65,39,8>": "80",
"<65,39,9>": "80",
"<65,39,10>": "80",
"<65,39,11>": "80",
"<65,39,12>": "80"
},
"<65,40>": "12",
"<65,41>": {
"<65,41,1>": "0",
"<65,41,2>": "",
"<65,41,3>": "",
"<65,41,4>": "",
"<65,41,5>": "",
"<65,41,6>": "",
"<65,41,7>": "",
"<65,41,8>": "40"
},
"<65,42>": {
"<65,42,1>": "16384",
"<65,42,2>": "16384",
"<65,42,3>": "16384",
"<65,42,4>": "16384",
"<65,42,5>": "16384",
"<65,42,6>": "16384",
"<65,42,7>": "16384",
"<65,42,8>": "16384",
"<65,42,9>": "16384",
"<65,42,10>": "16384",
"<65,42,11>": "16384",
"<65,42,12>": "16384"
},
"<65,43>": {
"<65,43,1>": "38",
"<65,43,2>": "44",
"<65,43,3>": "44",
"<65,43,4>": "66",
"<65,43,5>": "38",
"<65,43,6>": "44",
"<65,43,7>": "44",
"<65,43,8>": "66",
"<65,43,9>": "38",
"<65,43,10>": "44",
"<65,43,11>": "44",
"<65,43,12>": "66"
},
"<65,44>": {
"<65,44,1>": "ID#",
"<65,44,2>": "Min",
"<65,44,3>": "Max",
"<65,44,4>": "Change",
"<65,44,5>": "ID#",
"<65,44,6>": "Min",
"<65,44,7>": "Max",
"<65,44,8>": "Change",
"<65,44,9>": "ID#",
"<65,44,10>": "Min",
"<65,44,11>": "Max",
"<65,44,12>": "Change"
},
"<65,45>": "",
"<65,46>": "",
"<65,47>": "",
"<65,48>": "",
"<65,49>": "",
"<65,50>": "",
"<65,51>": "",
"<65,52>": "",
"<65,53>": "",
"<65,54>": "",
"<65,55>": "",
"<65,56>": "",
"<65,57>": "",
"<65,58>": "",
"<65,59>": "",
"<65,60>": {
"<65,60,1>": "18",
"<65,60,2>": "18",
"<65,60,3>": "18",
"<65,60,4>": "18",
"<65,60,5>": "18",
"<65,60,6>": "18",
"<65,60,7>": "18",
"<65,60,8>": "18",
"<65,60,9>": "18",
"<65,60,10>": "18",
"<65,60,11>": "18",
"<65,60,12>": "18"
}
},
"<66>": {
"<66,1>": "TEXT_35",
"<66,2>": "",
"<66,3>": "STATIC",
"<66,4>": "SPC_LIMITS",
"<66,5>": "9",
"<66,6>": "343:1",
"<66,7>": "193",
"<66,8>": "14",
"<66,9>": "|------------------[ High ]------------------|",
"<66,10>": {
"<66,10,1>": "0x56000000",
"<66,10,2>": "0x"
},
"<66,11>": {
"<66,11,1>": "0x0",
"<66,11,2>": "0x80000000"
},
"<66,12>": "66",
"<66,13>": "-1",
"<66,14>": "0",
"<66,15>": {
"<66,15,1>": {
"<66,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<66,15,1,2>": "-11",
"<66,15,1,3>": "700",
"<66,15,1,4>": "0",
"<66,15,1,5>": "0",
"<66,15,1,6>": "0",
"<66,15,1,7>": "0",
"<66,15,1,8>": "34",
"<66,15,1,9>": "0",
"<66,15,1,10>": "1",
"<66,15,1,11>": "2",
"<66,15,1,12>": "1",
"<66,15,1,13>": "0",
"<66,15,1,14>": "0"
}
},
"<66,16>": "",
"<66,17>": "",
"<66,18>": "",
"<66,19>": "",
"<66,20>": "",
"<66,21>": "",
"<66,22>": "",
"<66,23>": "",
"<66,24>": "",
"<66,25>": "0",
"<66,26>": "0",
"<66,27>": "",
"<66,28>": "<<None>>",
"<66,29>": "<<None>>",
"<66,30>": "<<None>>",
"<66,31>": "0",
"<66,32>": {
"<66,32,1>": "0x7fffe",
"<66,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<66,33>": "",
"<66,34>": "",
"<66,35>": "",
"<66,36>": "",
"<66,37>": "",
"<66,38>": "",
"<66,39>": "",
"<66,40>": "",
"<66,41>": "",
"<66,42>": "",
"<66,43>": "",
"<66,44>": "",
"<66,45>": "",
"<66,46>": "",
"<66,47>": "",
"<66,48>": "",
"<66,49>": "",
"<66,50>": "",
"<66,51>": "",
"<66,52>": ""
},
"<67>": {
"<67,1>": "TEXT_36",
"<67,2>": "",
"<67,3>": "STATIC",
"<67,4>": "SPC_LIMITS",
"<67,5>": "203",
"<67,6>": "343:1",
"<67,7>": "191",
"<67,8>": "13",
"<67,9>": "|-----------------[ Mid ]--------------------|",
"<67,10>": {
"<67,10,1>": "0x56000000",
"<67,10,2>": "0x"
},
"<67,11>": {
"<67,11,1>": "0x0",
"<67,11,2>": "0x80000000"
},
"<67,12>": "67",
"<67,13>": "-1",
"<67,14>": "0",
"<67,15>": {
"<67,15,1>": {
"<67,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<67,15,1,2>": "-11",
"<67,15,1,3>": "700",
"<67,15,1,4>": "0",
"<67,15,1,5>": "0",
"<67,15,1,6>": "0",
"<67,15,1,7>": "0",
"<67,15,1,8>": "34",
"<67,15,1,9>": "0",
"<67,15,1,10>": "1",
"<67,15,1,11>": "2",
"<67,15,1,12>": "1",
"<67,15,1,13>": "0",
"<67,15,1,14>": "0"
}
},
"<67,16>": "",
"<67,17>": "",
"<67,18>": "",
"<67,19>": "",
"<67,20>": "",
"<67,21>": "",
"<67,22>": "",
"<67,23>": "",
"<67,24>": "",
"<67,25>": "0",
"<67,26>": "0",
"<67,27>": "",
"<67,28>": "<<None>>",
"<67,29>": "<<None>>",
"<67,30>": "<<None>>",
"<67,31>": "0",
"<67,32>": {
"<67,32,1>": "0x7fffe",
"<67,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<67,33>": "",
"<67,34>": "",
"<67,35>": "",
"<67,36>": "",
"<67,37>": "",
"<67,38>": "",
"<67,39>": "",
"<67,40>": "",
"<67,41>": "",
"<67,42>": "",
"<67,43>": "",
"<67,44>": "",
"<67,45>": "",
"<67,46>": "",
"<67,47>": "",
"<67,48>": "",
"<67,49>": "",
"<67,50>": "",
"<67,51>": "",
"<67,52>": ""
},
"<68>": {
"<68,1>": "TEXT_37",
"<68,2>": "",
"<68,3>": "STATIC",
"<68,4>": "SPC_LIMITS",
"<68,5>": "395",
"<68,6>": "343:1",
"<68,7>": "203",
"<68,8>": "13",
"<68,9>": "|-----------------[ Low ]--------------------|",
"<68,10>": {
"<68,10,1>": "0x56000000",
"<68,10,2>": "0x"
},
"<68,11>": {
"<68,11,1>": "0x0",
"<68,11,2>": "0x80000000"
},
"<68,12>": "68",
"<68,13>": "-1",
"<68,14>": "0",
"<68,15>": {
"<68,15,1>": {
"<68,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<68,15,1,2>": "-11",
"<68,15,1,3>": "700",
"<68,15,1,4>": "0",
"<68,15,1,5>": "0",
"<68,15,1,6>": "0",
"<68,15,1,7>": "0",
"<68,15,1,8>": "34",
"<68,15,1,9>": "0",
"<68,15,1,10>": "1",
"<68,15,1,11>": "2",
"<68,15,1,12>": "1",
"<68,15,1,13>": "0",
"<68,15,1,14>": "0"
}
},
"<68,16>": "",
"<68,17>": "",
"<68,18>": "",
"<68,19>": "",
"<68,20>": "",
"<68,21>": "",
"<68,22>": "",
"<68,23>": "",
"<68,24>": "",
"<68,25>": "0",
"<68,26>": "0",
"<68,27>": "",
"<68,28>": "<<None>>",
"<68,29>": "<<None>>",
"<68,30>": "<<None>>",
"<68,31>": "0",
"<68,32>": {
"<68,32,1>": "0x7fffe",
"<68,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<68,33>": "",
"<68,34>": "",
"<68,35>": "",
"<68,36>": "",
"<68,37>": "",
"<68,38>": "",
"<68,39>": "",
"<68,40>": "",
"<68,41>": "",
"<68,42>": "",
"<68,43>": "",
"<68,44>": "",
"<68,45>": "",
"<68,46>": "",
"<68,47>": "",
"<68,48>": "",
"<68,49>": "",
"<68,50>": "",
"<68,51>": "",
"<68,52>": ""
},
"<69>": {
"<69,1>": "EVAL_4PP_STDEV_INFO",
"<69,2>": "",
"<69,3>": "EDITTABLE",
"<69,4>": "SPC_LIMITS",
"<69,5>": "10",
"<69,6>": "359:1",
"<69,7>": "595",
"<69,8>": "62",
"<69,9>": "",
"<69,10>": {
"<69,10,1>": "0x560001D1",
"<69,10,2>": "0x200"
},
"<69,11>": {
"<69,11,1>": "0x60000",
"<69,11,2>": "0x80000002"
},
"<69,12>": "69",
"<69,13>": "-2",
"<69,14>": "0",
"<69,15>": {
"<69,15,1>": {
"<69,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<69,15,1,2>": "-11",
"<69,15,1,3>": "700",
"<69,15,1,4>": "0",
"<69,15,1,5>": "0",
"<69,15,1,6>": "0",
"<69,15,1,7>": "0",
"<69,15,1,8>": "34",
"<69,15,1,9>": "0",
"<69,15,1,10>": "1",
"<69,15,1,11>": "2",
"<69,15,1,12>": "1",
"<69,15,1,13>": "0",
"<69,15,1,14>": "0"
}
},
"<69,16>": "",
"<69,17>": {
"<69,17,1>": {
"<69,17,1,1>": "CLICK",
"<69,17,1,2>": "LOSTFOCUS",
"<69,17,1,3>": "OPTIONS"
}
},
"<69,18>": "",
"<69,19>": "",
"<69,20>": "",
"<69,21>": "",
"<69,22>": "",
"<69,23>": "",
"<69,24>": "",
"<69,25>": "0",
"<69,26>": "0",
"<69,27>": "",
"<69,28>": {
"<69,28,1>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVAL4PPWAFERID]",
"<69,28,2>": "(MD3)",
"<69,28,3>": "(MD3)",
"<69,28,4>": "(D)",
"<69,28,5>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVAL4PPWAFERID]",
"<69,28,6>": "(MD3)",
"<69,28,7>": "(MD3)",
"<69,28,8>": "(D)",
"<69,28,9>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVAL4PPWAFERID]",
"<69,28,10>": "(MD3)",
"<69,28,11>": "(MD3)",
"<69,28,12>": "(D)"
},
"<69,29>": {
"<69,29,1>": "<<None>>",
"<69,29,2>": "MD3",
"<69,29,3>": "MD3",
"<69,29,4>": "D2/",
"<69,29,5>": "<<None>>",
"<69,29,6>": "MD3",
"<69,29,7>": "MD3",
"<69,29,8>": "D2/",
"<69,29,9>": "<<None>>",
"<69,29,10>": "MD3",
"<69,29,11>": "MD3",
"<69,29,12>": "D2/"
},
"<69,30>": {
"<69,30,1>": "<<None>>",
"<69,30,2>": "<<None>>",
"<69,30,3>": "<<None>>",
"<69,30,4>": "<<None>>",
"<69,30,5>": "<<None>>",
"<69,30,6>": "<<None>>",
"<69,30,7>": "<<None>>",
"<69,30,8>": "<<None>>",
"<69,30,9>": "<<None>>",
"<69,30,10>": "<<None>>",
"<69,30,11>": "<<None>>",
"<69,30,12>": "<<None>>"
},
"<69,31>": {
"<69,31,1>": "0",
"<69,31,2>": "0",
"<69,31,3>": "0",
"<69,31,4>": "0",
"<69,31,5>": "0",
"<69,31,6>": "0",
"<69,31,7>": "0",
"<69,31,8>": "0",
"<69,31,9>": "0",
"<69,31,10>": "0",
"<69,31,11>": "0",
"<69,31,12>": "0"
},
"<69,32>": {
"<69,32,1>": "0x7e27e",
"<69,32,2>": "0xc001eb08"
},
"<69,33>": "",
"<69,34>": "",
"<69,35>": {
"<69,35,1>": "",
"<69,35,2>": "",
"<69,35,3>": "",
"<69,35,4>": ""
},
"<69,36>": "",
"<69,37>": "",
"<69,38>": "",
"<69,39>": {
"<69,39,1>": "80",
"<69,39,2>": "80",
"<69,39,3>": "80",
"<69,39,4>": "80",
"<69,39,5>": "80",
"<69,39,6>": "80",
"<69,39,7>": "80",
"<69,39,8>": "80",
"<69,39,9>": "80",
"<69,39,10>": "80",
"<69,39,11>": "80",
"<69,39,12>": "80"
},
"<69,40>": "12",
"<69,41>": {
"<69,41,1>": "0",
"<69,41,2>": "",
"<69,41,3>": "",
"<69,41,4>": "",
"<69,41,5>": "",
"<69,41,6>": "",
"<69,41,7>": "",
"<69,41,8>": "40"
},
"<69,42>": {
"<69,42,1>": "16384",
"<69,42,2>": "16384",
"<69,42,3>": "16384",
"<69,42,4>": "16384",
"<69,42,5>": "16384",
"<69,42,6>": "16384",
"<69,42,7>": "16384",
"<69,42,8>": "16384",
"<69,42,9>": "16384",
"<69,42,10>": "16384",
"<69,42,11>": "16384",
"<69,42,12>": "16384"
},
"<69,43>": {
"<69,43,1>": "38",
"<69,43,2>": "44",
"<69,43,3>": "44",
"<69,43,4>": "66",
"<69,43,5>": "38",
"<69,43,6>": "44",
"<69,43,7>": "44",
"<69,43,8>": "66",
"<69,43,9>": "38",
"<69,43,10>": "44",
"<69,43,11>": "44",
"<69,43,12>": "66"
},
"<69,44>": {
"<69,44,1>": "ID#",
"<69,44,2>": "Min",
"<69,44,3>": "Max",
"<69,44,4>": "Change",
"<69,44,5>": "ID#",
"<69,44,6>": "Min",
"<69,44,7>": "Max",
"<69,44,8>": "Change",
"<69,44,9>": "ID#",
"<69,44,10>": "Min",
"<69,44,11>": "Max",
"<69,44,12>": "Change"
},
"<69,45>": "",
"<69,46>": "",
"<69,47>": "",
"<69,48>": "",
"<69,49>": "",
"<69,50>": "",
"<69,51>": "",
"<69,52>": "",
"<69,53>": "",
"<69,54>": "",
"<69,55>": "",
"<69,56>": "",
"<69,57>": "",
"<69,58>": "",
"<69,59>": "",
"<69,60>": {
"<69,60,1>": "18",
"<69,60,2>": "18",
"<69,60,3>": "18",
"<69,60,4>": "18",
"<69,60,5>": "18",
"<69,60,6>": "18",
"<69,60,7>": "18",
"<69,60,8>": "18",
"<69,60,9>": "18",
"<69,60,10>": "18",
"<69,60,11>": "18",
"<69,60,12>": "18"
}
},
"<70>": {
"<70,1>": "TEXT_34C",
"<70,2>": "",
"<70,3>": "STATIC",
"<70,4>": "SPC_LIMITS",
"<70,5>": "323",
"<70,6>": "319",
"<70,7>": "234",
"<70,8>": "14",
"<70,9>": "Min Max Last Change:",
"<70,10>": {
"<70,10,1>": "0x56000000",
"<70,10,2>": "0x"
},
"<70,11>": {
"<70,11,1>": "0x0",
"<70,11,2>": "0x80000000"
},
"<70,12>": "70",
"<70,13>": "-1",
"<70,14>": "0",
"<70,15>": {
"<70,15,1>": {
"<70,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<70,15,1,2>": "-11",
"<70,15,1,3>": "700",
"<70,15,1,4>": "0",
"<70,15,1,5>": "0",
"<70,15,1,6>": "0",
"<70,15,1,7>": "0",
"<70,15,1,8>": "34",
"<70,15,1,9>": "0",
"<70,15,1,10>": "1",
"<70,15,1,11>": "2",
"<70,15,1,12>": "1",
"<70,15,1,13>": "0",
"<70,15,1,14>": "0"
}
},
"<70,16>": "",
"<70,17>": "",
"<70,18>": "",
"<70,19>": "",
"<70,20>": "",
"<70,21>": "",
"<70,22>": "",
"<70,23>": "",
"<70,24>": "",
"<70,25>": "0",
"<70,26>": "0",
"<70,27>": "",
"<70,28>": "<<None>>",
"<70,29>": "<<None>>",
"<70,30>": "<<None>>",
"<70,31>": "0",
"<70,32>": {
"<70,32,1>": "0x7fffe",
"<70,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<70,33>": "",
"<70,34>": "",
"<70,35>": "",
"<70,36>": "",
"<70,37>": "",
"<70,38>": "",
"<70,39>": "",
"<70,40>": "",
"<70,41>": "",
"<70,42>": "",
"<70,43>": "",
"<70,44>": "",
"<70,45>": "",
"<70,46>": "",
"<70,47>": "",
"<70,48>": "",
"<70,49>": "",
"<70,50>": "",
"<70,51>": "",
"<70,52>": ""
},
"<71>": {
"<71,1>": "TEXT_35B",
"<71,2>": "",
"<71,3>": "STATIC",
"<71,4>": "SPC_LIMITS",
"<71,5>": "322",
"<71,6>": "55",
"<71,7>": "234",
"<71,8>": "14",
"<71,9>": "Min Max Last Change:",
"<71,10>": {
"<71,10,1>": "0x56000000",
"<71,10,2>": "0x"
},
"<71,11>": {
"<71,11,1>": "0x0",
"<71,11,2>": "0x80000000"
},
"<71,12>": "71",
"<71,13>": "-1",
"<71,14>": "0",
"<71,15>": {
"<71,15,1>": {
"<71,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<71,15,1,2>": "-11",
"<71,15,1,3>": "700",
"<71,15,1,4>": "0",
"<71,15,1,5>": "0",
"<71,15,1,6>": "0",
"<71,15,1,7>": "0",
"<71,15,1,8>": "34",
"<71,15,1,9>": "0",
"<71,15,1,10>": "1",
"<71,15,1,11>": "2",
"<71,15,1,12>": "1",
"<71,15,1,13>": "0",
"<71,15,1,14>": "0"
}
},
"<71,16>": "",
"<71,17>": "",
"<71,18>": "",
"<71,19>": "",
"<71,20>": "",
"<71,21>": "",
"<71,22>": "",
"<71,23>": "",
"<71,24>": "",
"<71,25>": "0",
"<71,26>": "0",
"<71,27>": "",
"<71,28>": "<<None>>",
"<71,29>": "<<None>>",
"<71,30>": "<<None>>",
"<71,31>": "0",
"<71,32>": {
"<71,32,1>": "0x7fffe",
"<71,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<71,33>": "",
"<71,34>": "",
"<71,35>": "",
"<71,36>": "",
"<71,37>": "",
"<71,38>": "",
"<71,39>": "",
"<71,40>": "",
"<71,41>": "",
"<71,42>": "",
"<71,43>": "",
"<71,44>": "",
"<71,45>": "",
"<71,46>": "",
"<71,47>": "",
"<71,48>": "",
"<71,49>": "",
"<71,50>": "",
"<71,51>": "",
"<71,52>": ""
},
"<72>": {
"<72,1>": "TEXT_36B",
"<72,2>": "",
"<72,3>": "STATIC",
"<72,4>": "SPC_LIMITS",
"<72,5>": "322",
"<72,6>": "117",
"<72,7>": "234",
"<72,8>": "14",
"<72,9>": "Min Max Last Change:",
"<72,10>": {
"<72,10,1>": "0x56000000",
"<72,10,2>": "0x"
},
"<72,11>": {
"<72,11,1>": "0x0",
"<72,11,2>": "0x80000000"
},
"<72,12>": "72",
"<72,13>": "-1",
"<72,14>": "0",
"<72,15>": {
"<72,15,1>": {
"<72,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<72,15,1,2>": "-11",
"<72,15,1,3>": "700",
"<72,15,1,4>": "0",
"<72,15,1,5>": "0",
"<72,15,1,6>": "0",
"<72,15,1,7>": "0",
"<72,15,1,8>": "34",
"<72,15,1,9>": "0",
"<72,15,1,10>": "1",
"<72,15,1,11>": "2",
"<72,15,1,12>": "1",
"<72,15,1,13>": "0",
"<72,15,1,14>": "0"
}
},
"<72,16>": "",
"<72,17>": "",
"<72,18>": "",
"<72,19>": "",
"<72,20>": "",
"<72,21>": "",
"<72,22>": "",
"<72,23>": "",
"<72,24>": "",
"<72,25>": "0",
"<72,26>": "0",
"<72,27>": "",
"<72,28>": "<<None>>",
"<72,29>": "<<None>>",
"<72,30>": "<<None>>",
"<72,31>": "0",
"<72,32>": {
"<72,32,1>": "0x7fffe",
"<72,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<72,33>": "",
"<72,34>": "",
"<72,35>": "",
"<72,36>": "",
"<72,37>": "",
"<72,38>": "",
"<72,39>": "",
"<72,40>": "",
"<72,41>": "",
"<72,42>": "",
"<72,43>": "",
"<72,44>": "",
"<72,45>": "",
"<72,46>": "",
"<72,47>": "",
"<72,48>": "",
"<72,49>": "",
"<72,50>": "",
"<72,51>": "",
"<72,52>": ""
},
"<73>": {
"<73,1>": "TEXT_37B",
"<73,2>": "",
"<73,3>": "STATIC",
"<73,4>": "SPC_LIMITS",
"<73,5>": "319",
"<73,6>": "185",
"<73,7>": "234",
"<73,8>": "14",
"<73,9>": "Min Max Last Change:",
"<73,10>": {
"<73,10,1>": "0x56000000",
"<73,10,2>": "0x"
},
"<73,11>": {
"<73,11,1>": "0x0",
"<73,11,2>": "0x80000000"
},
"<73,12>": "73",
"<73,13>": "-1",
"<73,14>": "0",
"<73,15>": {
"<73,15,1>": {
"<73,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<73,15,1,2>": "-11",
"<73,15,1,3>": "700",
"<73,15,1,4>": "0",
"<73,15,1,5>": "0",
"<73,15,1,6>": "0",
"<73,15,1,7>": "0",
"<73,15,1,8>": "34",
"<73,15,1,9>": "0",
"<73,15,1,10>": "1",
"<73,15,1,11>": "2",
"<73,15,1,12>": "1",
"<73,15,1,13>": "0",
"<73,15,1,14>": "0"
}
},
"<73,16>": "",
"<73,17>": "",
"<73,18>": "",
"<73,19>": "",
"<73,20>": "",
"<73,21>": "",
"<73,22>": "",
"<73,23>": "",
"<73,24>": "",
"<73,25>": "0",
"<73,26>": "0",
"<73,27>": "",
"<73,28>": "<<None>>",
"<73,29>": "<<None>>",
"<73,30>": "<<None>>",
"<73,31>": "0",
"<73,32>": {
"<73,32,1>": "0x7fffe",
"<73,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<73,33>": "",
"<73,34>": "",
"<73,35>": "",
"<73,36>": "",
"<73,37>": "",
"<73,38>": "",
"<73,39>": "",
"<73,40>": "",
"<73,41>": "",
"<73,42>": "",
"<73,43>": "",
"<73,44>": "",
"<73,45>": "",
"<73,46>": "",
"<73,47>": "",
"<73,48>": "",
"<73,49>": "",
"<73,50>": "",
"<73,51>": "",
"<73,52>": ""
},
"<74>": {
"<74,1>": "TEXT_38",
"<74,2>": "",
"<74,3>": "STATIC",
"<74,4>": "SPC_LIMITS",
"<74,5>": "322",
"<74,6>": "250",
"<74,7>": "234",
"<74,8>": "14",
"<74,9>": "Min Max Last Change:",
"<74,10>": {
"<74,10,1>": "0x56000000",
"<74,10,2>": "0x"
},
"<74,11>": {
"<74,11,1>": "0x0",
"<74,11,2>": "0x80000000"
},
"<74,12>": "74",
"<74,13>": "-1",
"<74,14>": "0",
"<74,15>": {
"<74,15,1>": {
"<74,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<74,15,1,2>": "-11",
"<74,15,1,3>": "700",
"<74,15,1,4>": "0",
"<74,15,1,5>": "0",
"<74,15,1,6>": "0",
"<74,15,1,7>": "0",
"<74,15,1,8>": "34",
"<74,15,1,9>": "0",
"<74,15,1,10>": "1",
"<74,15,1,11>": "2",
"<74,15,1,12>": "1",
"<74,15,1,13>": "0",
"<74,15,1,14>": "0"
}
},
"<74,16>": "",
"<74,17>": "",
"<74,18>": "",
"<74,19>": "",
"<74,20>": "",
"<74,21>": "",
"<74,22>": "",
"<74,23>": "",
"<74,24>": "",
"<74,25>": "0",
"<74,26>": "0",
"<74,27>": "",
"<74,28>": "<<None>>",
"<74,29>": "<<None>>",
"<74,30>": "<<None>>",
"<74,31>": "0",
"<74,32>": {
"<74,32,1>": "0x7fffe",
"<74,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<74,33>": "",
"<74,34>": "",
"<74,35>": "",
"<74,36>": "",
"<74,37>": "",
"<74,38>": "",
"<74,39>": "",
"<74,40>": "",
"<74,41>": "",
"<74,42>": "",
"<74,43>": "",
"<74,44>": "",
"<74,45>": "",
"<74,46>": "",
"<74,47>": "",
"<74,48>": "",
"<74,49>": "",
"<74,50>": "",
"<74,51>": "",
"<74,52>": ""
},
"<75>": {
"<75,1>": "TEXT_39",
"<75,2>": "",
"<75,3>": "STATIC",
"<75,4>": "SPC_LIMITS",
"<75,5>": "35",
"<75,6>": "175",
"<75,7>": "234",
"<75,8>": "14",
"<75,9>": "Min ( Target ) Max Last Change:",
"<75,10>": {
"<75,10,1>": "0x56000000",
"<75,10,2>": "0x"
},
"<75,11>": {
"<75,11,1>": "0x0",
"<75,11,2>": "0x80000000"
},
"<75,12>": "75",
"<75,13>": "-1",
"<75,14>": "0",
"<75,15>": {
"<75,15,1>": {
"<75,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<75,15,1,2>": "-11",
"<75,15,1,3>": "700",
"<75,15,1,4>": "0",
"<75,15,1,5>": "0",
"<75,15,1,6>": "0",
"<75,15,1,7>": "0",
"<75,15,1,8>": "34",
"<75,15,1,9>": "0",
"<75,15,1,10>": "1",
"<75,15,1,11>": "2",
"<75,15,1,12>": "1",
"<75,15,1,13>": "0",
"<75,15,1,14>": "0"
}
},
"<75,16>": "",
"<75,17>": "",
"<75,18>": "",
"<75,19>": "",
"<75,20>": "",
"<75,21>": "",
"<75,22>": "",
"<75,23>": "",
"<75,24>": "",
"<75,25>": "0",
"<75,26>": "0",
"<75,27>": "",
"<75,28>": "<<None>>",
"<75,29>": "<<None>>",
"<75,30>": "<<None>>",
"<75,31>": "0",
"<75,32>": {
"<75,32,1>": "0x7fffe",
"<75,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<75,33>": "",
"<75,34>": "",
"<75,35>": "",
"<75,36>": "",
"<75,37>": "",
"<75,38>": "",
"<75,39>": "",
"<75,40>": "",
"<75,41>": "",
"<75,42>": "",
"<75,43>": "",
"<75,44>": "",
"<75,45>": "",
"<75,46>": "",
"<75,47>": "",
"<75,48>": "",
"<75,49>": "",
"<75,50>": "",
"<75,51>": "",
"<75,52>": ""
},
"<76>": {
"<76,1>": "TEXT_40",
"<76,2>": "",
"<76,3>": "STATIC",
"<76,4>": "SPC_LIMITS",
"<76,5>": "35",
"<76,6>": "108",
"<76,7>": "234",
"<76,8>": "14",
"<76,9>": "Min ( Target ) Max Last Change:",
"<76,10>": {
"<76,10,1>": "0x56000000",
"<76,10,2>": "0x"
},
"<76,11>": {
"<76,11,1>": "0x0",
"<76,11,2>": "0x80000000"
},
"<76,12>": "76",
"<76,13>": "-1",
"<76,14>": "0",
"<76,15>": {
"<76,15,1>": {
"<76,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<76,15,1,2>": "-11",
"<76,15,1,3>": "700",
"<76,15,1,4>": "0",
"<76,15,1,5>": "0",
"<76,15,1,6>": "0",
"<76,15,1,7>": "0",
"<76,15,1,8>": "34",
"<76,15,1,9>": "0",
"<76,15,1,10>": "1",
"<76,15,1,11>": "2",
"<76,15,1,12>": "1",
"<76,15,1,13>": "0",
"<76,15,1,14>": "0"
}
},
"<76,16>": "",
"<76,17>": "",
"<76,18>": "",
"<76,19>": "",
"<76,20>": "",
"<76,21>": "",
"<76,22>": "",
"<76,23>": "",
"<76,24>": "",
"<76,25>": "0",
"<76,26>": "0",
"<76,27>": "",
"<76,28>": "<<None>>",
"<76,29>": "<<None>>",
"<76,30>": "<<None>>",
"<76,31>": "0",
"<76,32>": {
"<76,32,1>": "0x7fffe",
"<76,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<76,33>": "",
"<76,34>": "",
"<76,35>": "",
"<76,36>": "",
"<76,37>": "",
"<76,38>": "",
"<76,39>": "",
"<76,40>": "",
"<76,41>": "",
"<76,42>": "",
"<76,43>": "",
"<76,44>": "",
"<76,45>": "",
"<76,46>": "",
"<76,47>": "",
"<76,48>": "",
"<76,49>": "",
"<76,50>": "",
"<76,51>": "",
"<76,52>": ""
},
"<77>": {
"<77,1>": "TEXT_41",
"<77,2>": "",
"<77,3>": "STATIC",
"<77,4>": "SPC_LIMITS",
"<77,5>": "35",
"<77,6>": "43",
"<77,7>": "234",
"<77,8>": "14",
"<77,9>": "Min ( Target ) Max Last Change:",
"<77,10>": {
"<77,10,1>": "0x56000000",
"<77,10,2>": "0x"
},
"<77,11>": {
"<77,11,1>": "0x0",
"<77,11,2>": "0x80000000"
},
"<77,12>": "77",
"<77,13>": "-1",
"<77,14>": "0",
"<77,15>": {
"<77,15,1>": {
"<77,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<77,15,1,2>": "-11",
"<77,15,1,3>": "700",
"<77,15,1,4>": "0",
"<77,15,1,5>": "0",
"<77,15,1,6>": "0",
"<77,15,1,7>": "0",
"<77,15,1,8>": "34",
"<77,15,1,9>": "0",
"<77,15,1,10>": "1",
"<77,15,1,11>": "2",
"<77,15,1,12>": "1",
"<77,15,1,13>": "0",
"<77,15,1,14>": "0"
}
},
"<77,16>": "",
"<77,17>": "",
"<77,18>": "",
"<77,19>": "",
"<77,20>": "",
"<77,21>": "",
"<77,22>": "",
"<77,23>": "",
"<77,24>": "",
"<77,25>": "0",
"<77,26>": "0",
"<77,27>": "",
"<77,28>": "<<None>>",
"<77,29>": "<<None>>",
"<77,30>": "<<None>>",
"<77,31>": "0",
"<77,32>": {
"<77,32,1>": "0x7fffe",
"<77,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<77,33>": "",
"<77,34>": "",
"<77,35>": "",
"<77,36>": "",
"<77,37>": "",
"<77,38>": "",
"<77,39>": "",
"<77,40>": "",
"<77,41>": "",
"<77,42>": "",
"<77,43>": "",
"<77,44>": "",
"<77,45>": "",
"<77,46>": "",
"<77,47>": "",
"<77,48>": "",
"<77,49>": "",
"<77,50>": "",
"<77,51>": "",
"<77,52>": ""
},
"<78>": {
"<78,1>": "TEXT_42",
"<78,2>": "",
"<78,3>": "STATIC",
"<78,4>": "SPC_LIMITS",
"<78,5>": "35",
"<78,6>": "241",
"<78,7>": "234",
"<78,8>": "14",
"<78,9>": "Min ( Target ) Max Last Change:",
"<78,10>": {
"<78,10,1>": "0x56000000",
"<78,10,2>": "0x"
},
"<78,11>": {
"<78,11,1>": "0x0",
"<78,11,2>": "0x80000000"
},
"<78,12>": "78",
"<78,13>": "-1",
"<78,14>": "0",
"<78,15>": {
"<78,15,1>": {
"<78,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<78,15,1,2>": "-11",
"<78,15,1,3>": "700",
"<78,15,1,4>": "0",
"<78,15,1,5>": "0",
"<78,15,1,6>": "0",
"<78,15,1,7>": "0",
"<78,15,1,8>": "34",
"<78,15,1,9>": "0",
"<78,15,1,10>": "1",
"<78,15,1,11>": "2",
"<78,15,1,12>": "1",
"<78,15,1,13>": "0",
"<78,15,1,14>": "0"
}
},
"<78,16>": "",
"<78,17>": "",
"<78,18>": "",
"<78,19>": "",
"<78,20>": "",
"<78,21>": "",
"<78,22>": "",
"<78,23>": "",
"<78,24>": "",
"<78,25>": "0",
"<78,26>": "0",
"<78,27>": "",
"<78,28>": "<<None>>",
"<78,29>": "<<None>>",
"<78,30>": "<<None>>",
"<78,31>": "0",
"<78,32>": {
"<78,32,1>": "0x7fffe",
"<78,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<78,33>": "",
"<78,34>": "",
"<78,35>": "",
"<78,36>": "",
"<78,37>": "",
"<78,38>": "",
"<78,39>": "",
"<78,40>": "",
"<78,41>": "",
"<78,42>": "",
"<78,43>": "",
"<78,44>": "",
"<78,45>": "",
"<78,46>": "",
"<78,47>": "",
"<78,48>": "",
"<78,49>": "",
"<78,50>": "",
"<78,51>": "",
"<78,52>": ""
},
"<79>": {
"<79,1>": "TEXT_22",
"<79,2>": "",
"<79,3>": "STATIC",
"<79,4>": "SPC_LIMITS",
"<79,5>": "34",
"<79,6>": "311",
"<79,7>": "234",
"<79,8>": "14",
"<79,9>": "Min ( Target ) Max Last Change:",
"<79,10>": {
"<79,10,1>": "0x56000000",
"<79,10,2>": "0x"
},
"<79,11>": {
"<79,11,1>": "0x0",
"<79,11,2>": "0x80000000"
},
"<79,12>": "79",
"<79,13>": "-1",
"<79,14>": "0",
"<79,15>": {
"<79,15,1>": {
"<79,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<79,15,1,2>": "-11",
"<79,15,1,3>": "700",
"<79,15,1,4>": "0",
"<79,15,1,5>": "0",
"<79,15,1,6>": "0",
"<79,15,1,7>": "0",
"<79,15,1,8>": "34",
"<79,15,1,9>": "0",
"<79,15,1,10>": "1",
"<79,15,1,11>": "2",
"<79,15,1,12>": "1",
"<79,15,1,13>": "0",
"<79,15,1,14>": "0"
}
},
"<79,16>": "",
"<79,17>": "",
"<79,18>": "",
"<79,19>": "",
"<79,20>": "",
"<79,21>": "",
"<79,22>": "",
"<79,23>": "",
"<79,24>": "",
"<79,25>": "0",
"<79,26>": "0",
"<79,27>": "",
"<79,28>": "<<None>>",
"<79,29>": "<<None>>",
"<79,30>": "<<None>>",
"<79,31>": "0",
"<79,32>": {
"<79,32,1>": "0x7fffe",
"<79,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<79,33>": "",
"<79,34>": "",
"<79,35>": "",
"<79,36>": "",
"<79,37>": "",
"<79,38>": "",
"<79,39>": "",
"<79,40>": "",
"<79,41>": "",
"<79,42>": "",
"<79,43>": "",
"<79,44>": "",
"<79,45>": "",
"<79,46>": "",
"<79,47>": "",
"<79,48>": "",
"<79,49>": "",
"<79,50>": "",
"<79,51>": "",
"<79,52>": ""
},
"<80>": {
"<80,1>": "TEXT_23",
"<80,2>": "",
"<80,3>": "STATIC",
"<80,4>": "SPC_LIMITS",
"<80,5>": "323",
"<80,6>": "383",
"<80,7>": "234",
"<80,8>": "14",
"<80,9>": "Min Max Last Change:",
"<80,10>": {
"<80,10,1>": "0x56000000",
"<80,10,2>": "0x"
},
"<80,11>": {
"<80,11,1>": "0x0",
"<80,11,2>": "0x80000000"
},
"<80,12>": "80",
"<80,13>": "-1",
"<80,14>": "0",
"<80,15>": {
"<80,15,1>": {
"<80,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<80,15,1,2>": "-11",
"<80,15,1,3>": "700",
"<80,15,1,4>": "0",
"<80,15,1,5>": "0",
"<80,15,1,6>": "0",
"<80,15,1,7>": "0",
"<80,15,1,8>": "34",
"<80,15,1,9>": "0",
"<80,15,1,10>": "1",
"<80,15,1,11>": "2",
"<80,15,1,12>": "1",
"<80,15,1,13>": "0",
"<80,15,1,14>": "0"
}
},
"<80,16>": "",
"<80,17>": "",
"<80,18>": "",
"<80,19>": "",
"<80,20>": "",
"<80,21>": "",
"<80,22>": "",
"<80,23>": "",
"<80,24>": "",
"<80,25>": "0",
"<80,26>": "0",
"<80,27>": "",
"<80,28>": "<<None>>",
"<80,29>": "<<None>>",
"<80,30>": "<<None>>",
"<80,31>": "0",
"<80,32>": {
"<80,32,1>": "0x7fffe",
"<80,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<80,33>": "",
"<80,34>": "",
"<80,35>": "",
"<80,36>": "",
"<80,37>": "",
"<80,38>": "",
"<80,39>": "",
"<80,40>": "",
"<80,41>": "",
"<80,42>": "",
"<80,43>": "",
"<80,44>": "",
"<80,45>": "",
"<80,46>": "",
"<80,47>": "",
"<80,48>": "",
"<80,49>": "",
"<80,50>": "",
"<80,51>": "",
"<80,52>": ""
},
"<81>": {
"<81,1>": "TEXT_240",
"<81,2>": "",
"<81,3>": "STATIC",
"<81,4>": "SPC_LIMITS",
"<81,5>": "12",
"<81,6>": "30:2",
"<81,7>": "194",
"<81,8>": "14",
"<81,9>": "|-----------------[ High ]-------------------|",
"<81,10>": {
"<81,10,1>": "0x56000000",
"<81,10,2>": "0x"
},
"<81,11>": {
"<81,11,1>": "0x0",
"<81,11,2>": "0x80000000"
},
"<81,12>": "81",
"<81,13>": "-1",
"<81,14>": "0",
"<81,15>": {
"<81,15,1>": {
"<81,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<81,15,1,2>": "-11",
"<81,15,1,3>": "700",
"<81,15,1,4>": "0",
"<81,15,1,5>": "0",
"<81,15,1,6>": "0",
"<81,15,1,7>": "0",
"<81,15,1,8>": "34",
"<81,15,1,9>": "0",
"<81,15,1,10>": "1",
"<81,15,1,11>": "2",
"<81,15,1,12>": "1",
"<81,15,1,13>": "0",
"<81,15,1,14>": "0"
}
},
"<81,16>": "",
"<81,17>": "",
"<81,18>": "",
"<81,19>": "",
"<81,20>": "",
"<81,21>": "",
"<81,22>": "",
"<81,23>": "",
"<81,24>": "",
"<81,25>": "0",
"<81,26>": "0",
"<81,27>": "",
"<81,28>": "<<None>>",
"<81,29>": "<<None>>",
"<81,30>": "<<None>>",
"<81,31>": "0",
"<81,32>": {
"<81,32,1>": "0x7fffe",
"<81,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<81,33>": "",
"<81,34>": "",
"<81,35>": "",
"<81,36>": "",
"<81,37>": "",
"<81,38>": "",
"<81,39>": "",
"<81,40>": "",
"<81,41>": "",
"<81,42>": "",
"<81,43>": "",
"<81,44>": "",
"<81,45>": "",
"<81,46>": "",
"<81,47>": "",
"<81,48>": "",
"<81,49>": "",
"<81,50>": "",
"<81,51>": "",
"<81,52>": ""
},
"<82>": {
"<82,1>": "EVAL_ADE_INFO",
"<82,2>": "",
"<82,3>": "EDITTABLE",
"<82,4>": "SPC_LIMITS",
"<82,5>": "15",
"<82,6>": "51:2",
"<82,7>": "595",
"<82,8>": "62",
"<82,9>": "",
"<82,10>": {
"<82,10,1>": "0x560001D1",
"<82,10,2>": "0x200"
},
"<82,11>": {
"<82,11,1>": "0x60000",
"<82,11,2>": "0x80000002"
},
"<82,12>": "82",
"<82,13>": "-2",
"<82,14>": "0",
"<82,15>": {
"<82,15,1>": {
"<82,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<82,15,1,2>": "-11",
"<82,15,1,3>": "700",
"<82,15,1,4>": "0",
"<82,15,1,5>": "0",
"<82,15,1,6>": "0",
"<82,15,1,7>": "0",
"<82,15,1,8>": "34",
"<82,15,1,9>": "0",
"<82,15,1,10>": "1",
"<82,15,1,11>": "2",
"<82,15,1,12>": "1",
"<82,15,1,13>": "0",
"<82,15,1,14>": "0"
}
},
"<82,16>": "",
"<82,17>": {
"<82,17,1>": {
"<82,17,1,1>": "CLICK",
"<82,17,1,2>": "LOSTFOCUS",
"<82,17,1,3>": "OPTIONS"
}
},
"<82,18>": "",
"<82,19>": "",
"<82,20>": "",
"<82,21>": "",
"<82,22>": "",
"<82,23>": "",
"<82,24>": "",
"<82,25>": "0",
"<82,26>": "0",
"<82,27>": "",
"<82,28>": {
"<82,28,1>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALADEWAFERID]",
"<82,28,2>": "(MD3)",
"<82,28,3>": "(MD3)",
"<82,28,4>": "(D)",
"<82,28,5>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALADEWAFERID]",
"<82,28,6>": "(MD3)",
"<82,28,7>": "(MD3)",
"<82,28,8>": "(D)",
"<82,28,9>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALADEWAFERID]",
"<82,28,10>": "(MD3)",
"<82,28,11>": "(MD3)",
"<82,28,12>": "(D)"
},
"<82,29>": {
"<82,29,1>": "<<None>>",
"<82,29,2>": "MD3",
"<82,29,3>": "MD3",
"<82,29,4>": "D2/",
"<82,29,5>": "<<None>>",
"<82,29,6>": "MD3",
"<82,29,7>": "MD3",
"<82,29,8>": "D2/",
"<82,29,9>": "<<None>>",
"<82,29,10>": "MD3",
"<82,29,11>": "MD3",
"<82,29,12>": "D2/"
},
"<82,30>": {
"<82,30,1>": "<<None>>",
"<82,30,2>": "<<None>>",
"<82,30,3>": "<<None>>",
"<82,30,4>": "<<None>>",
"<82,30,5>": "<<None>>",
"<82,30,6>": "<<None>>",
"<82,30,7>": "<<None>>",
"<82,30,8>": "<<None>>",
"<82,30,9>": "<<None>>",
"<82,30,10>": "<<None>>",
"<82,30,11>": "<<None>>",
"<82,30,12>": "<<None>>"
},
"<82,31>": {
"<82,31,1>": "0",
"<82,31,2>": "0",
"<82,31,3>": "0",
"<82,31,4>": "0",
"<82,31,5>": "0",
"<82,31,6>": "0",
"<82,31,7>": "0",
"<82,31,8>": "0",
"<82,31,9>": "0",
"<82,31,10>": "0",
"<82,31,11>": "0",
"<82,31,12>": "0"
},
"<82,32>": {
"<82,32,1>": "0x7e27e",
"<82,32,2>": "0xc001eb08"
},
"<82,33>": "",
"<82,34>": "",
"<82,35>": {
"<82,35,1>": "",
"<82,35,2>": "",
"<82,35,3>": "",
"<82,35,4>": ""
},
"<82,36>": "",
"<82,37>": "",
"<82,38>": "",
"<82,39>": {
"<82,39,1>": "80",
"<82,39,2>": "80",
"<82,39,3>": "80",
"<82,39,4>": "80",
"<82,39,5>": "80",
"<82,39,6>": "80",
"<82,39,7>": "80",
"<82,39,8>": "80",
"<82,39,9>": "80",
"<82,39,10>": "80",
"<82,39,11>": "80",
"<82,39,12>": "80"
},
"<82,40>": "12",
"<82,41>": {
"<82,41,1>": "0",
"<82,41,2>": "",
"<82,41,3>": "",
"<82,41,4>": "",
"<82,41,5>": "",
"<82,41,6>": "",
"<82,41,7>": "",
"<82,41,8>": "40"
},
"<82,42>": {
"<82,42,1>": "16384",
"<82,42,2>": "16384",
"<82,42,3>": "16384",
"<82,42,4>": "16384",
"<82,42,5>": "16384",
"<82,42,6>": "16384",
"<82,42,7>": "16384",
"<82,42,8>": "16384",
"<82,42,9>": "16384",
"<82,42,10>": "16384",
"<82,42,11>": "16384",
"<82,42,12>": "16384"
},
"<82,43>": {
"<82,43,1>": "38",
"<82,43,2>": "44",
"<82,43,3>": "44",
"<82,43,4>": "66",
"<82,43,5>": "38",
"<82,43,6>": "44",
"<82,43,7>": "44",
"<82,43,8>": "66",
"<82,43,9>": "38",
"<82,43,10>": "44",
"<82,43,11>": "44",
"<82,43,12>": "66"
},
"<82,44>": {
"<82,44,1>": "ID#",
"<82,44,2>": "Min",
"<82,44,3>": "Max",
"<82,44,4>": "Change",
"<82,44,5>": "ID#",
"<82,44,6>": "Min",
"<82,44,7>": "Max",
"<82,44,8>": "Change",
"<82,44,9>": "ID#",
"<82,44,10>": "Min",
"<82,44,11>": "Max",
"<82,44,12>": "Change"
},
"<82,45>": "",
"<82,46>": "",
"<82,47>": "",
"<82,48>": "",
"<82,49>": "",
"<82,50>": "",
"<82,51>": "",
"<82,52>": "",
"<82,53>": "",
"<82,54>": "",
"<82,55>": "",
"<82,56>": "",
"<82,57>": "",
"<82,58>": "",
"<82,59>": "",
"<82,60>": {
"<82,60,1>": "18",
"<82,60,2>": "18",
"<82,60,3>": "18",
"<82,60,4>": "18",
"<82,60,5>": "18",
"<82,60,6>": "18",
"<82,60,7>": "18",
"<82,60,8>": "18",
"<82,60,9>": "18",
"<82,60,10>": "18",
"<82,60,11>": "18",
"<82,60,12>": "18"
}
},
"<83>": {
"<83,1>": "TEXT_250",
"<83,2>": "",
"<83,3>": "STATIC",
"<83,4>": "SPC_LIMITS",
"<83,5>": "205",
"<83,6>": "30:2",
"<83,7>": "193",
"<83,8>": "13",
"<83,9>": "|-----------------[ Mid ]--------------------|",
"<83,10>": {
"<83,10,1>": "0x56000000",
"<83,10,2>": "0x"
},
"<83,11>": {
"<83,11,1>": "0x0",
"<83,11,2>": "0x80000000"
},
"<83,12>": "83",
"<83,13>": "-1",
"<83,14>": "0",
"<83,15>": {
"<83,15,1>": {
"<83,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<83,15,1,2>": "-11",
"<83,15,1,3>": "700",
"<83,15,1,4>": "0",
"<83,15,1,5>": "0",
"<83,15,1,6>": "0",
"<83,15,1,7>": "0",
"<83,15,1,8>": "34",
"<83,15,1,9>": "0",
"<83,15,1,10>": "1",
"<83,15,1,11>": "2",
"<83,15,1,12>": "1",
"<83,15,1,13>": "0",
"<83,15,1,14>": "0"
}
},
"<83,16>": "",
"<83,17>": "",
"<83,18>": "",
"<83,19>": "",
"<83,20>": "",
"<83,21>": "",
"<83,22>": "",
"<83,23>": "",
"<83,24>": "",
"<83,25>": "0",
"<83,26>": "0",
"<83,27>": "",
"<83,28>": "<<None>>",
"<83,29>": "<<None>>",
"<83,30>": "<<None>>",
"<83,31>": "0",
"<83,32>": {
"<83,32,1>": "0x7fffe",
"<83,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<83,33>": "",
"<83,34>": "",
"<83,35>": "",
"<83,36>": "",
"<83,37>": "",
"<83,38>": "",
"<83,39>": "",
"<83,40>": "",
"<83,41>": "",
"<83,42>": "",
"<83,43>": "",
"<83,44>": "",
"<83,45>": "",
"<83,46>": "",
"<83,47>": "",
"<83,48>": "",
"<83,49>": "",
"<83,50>": "",
"<83,51>": "",
"<83,52>": ""
},
"<84>": {
"<84,1>": "EVAL_ADE_STDEV_INFO",
"<84,2>": "",
"<84,3>": "EDITTABLE",
"<84,4>": "SPC_LIMITS",
"<84,5>": "13",
"<84,6>": "154:2",
"<84,7>": "595",
"<84,8>": "62",
"<84,9>": "",
"<84,10>": {
"<84,10,1>": "0x560001D1",
"<84,10,2>": "0x200"
},
"<84,11>": {
"<84,11,1>": "0x60000",
"<84,11,2>": "0x80000002"
},
"<84,12>": "84",
"<84,13>": "-2",
"<84,14>": "0",
"<84,15>": {
"<84,15,1>": {
"<84,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<84,15,1,2>": "-11",
"<84,15,1,3>": "700",
"<84,15,1,4>": "0",
"<84,15,1,5>": "0",
"<84,15,1,6>": "0",
"<84,15,1,7>": "0",
"<84,15,1,8>": "34",
"<84,15,1,9>": "0",
"<84,15,1,10>": "1",
"<84,15,1,11>": "2",
"<84,15,1,12>": "1",
"<84,15,1,13>": "0",
"<84,15,1,14>": "0"
}
},
"<84,16>": "",
"<84,17>": {
"<84,17,1>": {
"<84,17,1,1>": "CLICK",
"<84,17,1,2>": "LOSTFOCUS",
"<84,17,1,3>": "OPTIONS"
}
},
"<84,18>": "",
"<84,19>": "",
"<84,20>": "",
"<84,21>": "",
"<84,22>": "",
"<84,23>": "",
"<84,24>": "",
"<84,25>": "0",
"<84,26>": "0",
"<84,27>": "",
"<84,28>": {
"<84,28,1>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALADEWAFERID]",
"<84,28,2>": "(MD3)",
"<84,28,3>": "(MD3)",
"<84,28,4>": "(D)",
"<84,28,5>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALADEWAFERID]",
"<84,28,6>": "(MD3)",
"<84,28,7>": "(MD3)",
"<84,28,8>": "(D)",
"<84,28,9>": "[LISTBOX_CONFIG_VALID,EVALADEWAFERID]",
"<84,28,10>": "(MD3)",
"<84,28,11>": "(MD3)",
"<84,28,12>": "(D)"
},
"<84,29>": {
"<84,29,1>": "<<None>>",
"<84,29,2>": "MD3",
"<84,29,3>": "MD3",
"<84,29,4>": "D2/",
"<84,29,5>": "<<None>>",
"<84,29,6>": "MD3",
"<84,29,7>": "MD3",
"<84,29,8>": "D2/",
"<84,29,9>": "<<None>>",
"<84,29,10>": "MD3",
"<84,29,11>": "MD3",
"<84,29,12>": "D2/"
},
"<84,30>": {
"<84,30,1>": "<<None>>",
"<84,30,2>": "<<None>>",
"<84,30,3>": "<<None>>",
"<84,30,4>": "<<None>>",
"<84,30,5>": "<<None>>",
"<84,30,6>": "<<None>>",
"<84,30,7>": "<<None>>",
"<84,30,8>": "<<None>>",
"<84,30,9>": "<<None>>",
"<84,30,10>": "<<None>>",
"<84,30,11>": "<<None>>",
"<84,30,12>": "<<None>>"
},
"<84,31>": {
"<84,31,1>": "0",
"<84,31,2>": "0",
"<84,31,3>": "0",
"<84,31,4>": "0",
"<84,31,5>": "0",
"<84,31,6>": "0",
"<84,31,7>": "0",
"<84,31,8>": "0",
"<84,31,9>": "0",
"<84,31,10>": "0",
"<84,31,11>": "0",
"<84,31,12>": "0"
},
"<84,32>": {
"<84,32,1>": "0x7e27e",
"<84,32,2>": "0xc001eb08"
},
"<84,33>": "",
"<84,34>": "",
"<84,35>": {
"<84,35,1>": "",
"<84,35,2>": "",
"<84,35,3>": "",
"<84,35,4>": ""
},
"<84,36>": "",
"<84,37>": "",
"<84,38>": "",
"<84,39>": {
"<84,39,1>": "80",
"<84,39,2>": "80",
"<84,39,3>": "80",
"<84,39,4>": "80",
"<84,39,5>": "80",
"<84,39,6>": "80",
"<84,39,7>": "80",
"<84,39,8>": "80",
"<84,39,9>": "80",
"<84,39,10>": "80",
"<84,39,11>": "80",
"<84,39,12>": "80"
},
"<84,40>": "12",
"<84,41>": {
"<84,41,1>": "0",
"<84,41,2>": "",
"<84,41,3>": "",
"<84,41,4>": "",
"<84,41,5>": "",
"<84,41,6>": "",
"<84,41,7>": "",
"<84,41,8>": "40"
},
"<84,42>": {
"<84,42,1>": "16384",
"<84,42,2>": "16384",
"<84,42,3>": "16384",
"<84,42,4>": "16384",
"<84,42,5>": "16384",
"<84,42,6>": "16384",
"<84,42,7>": "16384",
"<84,42,8>": "16384",
"<84,42,9>": "16384",
"<84,42,10>": "16384",
"<84,42,11>": "16384",
"<84,42,12>": "16384"
},
"<84,43>": {
"<84,43,1>": "38",
"<84,43,2>": "44",
"<84,43,3>": "44",
"<84,43,4>": "66",
"<84,43,5>": "38",
"<84,43,6>": "44",
"<84,43,7>": "44",
"<84,43,8>": "66",
"<84,43,9>": "38",
"<84,43,10>": "44",
"<84,43,11>": "44",
"<84,43,12>": "66"
},
"<84,44>": {
"<84,44,1>": "ID#",
"<84,44,2>": "Min",
"<84,44,3>": "Max",
"<84,44,4>": "Change",
"<84,44,5>": "ID#",
"<84,44,6>": "Min",
"<84,44,7>": "Max",
"<84,44,8>": "Change",
"<84,44,9>": "ID#",
"<84,44,10>": "Min",
"<84,44,11>": "Max",
"<84,44,12>": "Change"
},
"<84,45>": "",
"<84,46>": "",
"<84,47>": "",
"<84,48>": "",
"<84,49>": "",
"<84,50>": "",
"<84,51>": "",
"<84,52>": "",
"<84,53>": "",
"<84,54>": "",
"<84,55>": "",
"<84,56>": "",
"<84,57>": "",
"<84,58>": "",
"<84,59>": "",
"<84,60>": {
"<84,60,1>": "18",
"<84,60,2>": "18",
"<84,60,3>": "18",
"<84,60,4>": "18",
"<84,60,5>": "18",
"<84,60,6>": "18",
"<84,60,7>": "18",
"<84,60,8>": "18",
"<84,60,9>": "18",
"<84,60,10>": "18",
"<84,60,11>": "18",
"<84,60,12>": "18"
}
},
"<85>": {
"<85,1>": "TEXT_260",
"<85,2>": "",
"<85,3>": "STATIC",
"<85,4>": "SPC_LIMITS",
"<85,5>": "11",
"<85,6>": "138:2",
"<85,7>": "194",
"<85,8>": "14",
"<85,9>": "|-----------------[ High ]-------------------|",
"<85,10>": {
"<85,10,1>": "0x56000000",
"<85,10,2>": "0x"
},
"<85,11>": {
"<85,11,1>": "0x0",
"<85,11,2>": "0x80000000"
},
"<85,12>": "85",
"<85,13>": "-1",
"<85,14>": "0",
"<85,15>": {
"<85,15,1>": {
"<85,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<85,15,1,2>": "-11",
"<85,15,1,3>": "700",
"<85,15,1,4>": "0",
"<85,15,1,5>": "0",
"<85,15,1,6>": "0",
"<85,15,1,7>": "0",
"<85,15,1,8>": "34",
"<85,15,1,9>": "0",
"<85,15,1,10>": "1",
"<85,15,1,11>": "2",
"<85,15,1,12>": "1",
"<85,15,1,13>": "0",
"<85,15,1,14>": "0"
}
},
"<85,16>": "",
"<85,17>": "",
"<85,18>": "",
"<85,19>": "",
"<85,20>": "",
"<85,21>": "",
"<85,22>": "",
"<85,23>": "",
"<85,24>": "",
"<85,25>": "0",
"<85,26>": "0",
"<85,27>": "",
"<85,28>": "<<None>>",
"<85,29>": "<<None>>",
"<85,30>": "<<None>>",
"<85,31>": "0",
"<85,32>": {
"<85,32,1>": "0x7fffe",
"<85,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<85,33>": "",
"<85,34>": "",
"<85,35>": "",
"<85,36>": "",
"<85,37>": "",
"<85,38>": "",
"<85,39>": "",
"<85,40>": "",
"<85,41>": "",
"<85,42>": "",
"<85,43>": "",
"<85,44>": "",
"<85,45>": "",
"<85,46>": "",
"<85,47>": "",
"<85,48>": "",
"<85,49>": "",
"<85,50>": "",
"<85,51>": "",
"<85,52>": ""
},
"<86>": {
"<86,1>": "TEXT_270",
"<86,2>": "",
"<86,3>": "STATIC",
"<86,4>": "SPC_LIMITS",
"<86,5>": "205",
"<86,6>": "138:2",
"<86,7>": "191",
"<86,8>": "13",
"<86,9>": "|-----------------[ Mid ]--------------------|",
"<86,10>": {
"<86,10,1>": "0x56000000",
"<86,10,2>": "0x"
},
"<86,11>": {
"<86,11,1>": "0x0",
"<86,11,2>": "0x80000000"
},
"<86,12>": "86",
"<86,13>": "-1",
"<86,14>": "0",
"<86,15>": {
"<86,15,1>": {
"<86,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<86,15,1,2>": "-11",
"<86,15,1,3>": "700",
"<86,15,1,4>": "0",
"<86,15,1,5>": "0",
"<86,15,1,6>": "0",
"<86,15,1,7>": "0",
"<86,15,1,8>": "34",
"<86,15,1,9>": "0",
"<86,15,1,10>": "1",
"<86,15,1,11>": "2",
"<86,15,1,12>": "1",
"<86,15,1,13>": "0",
"<86,15,1,14>": "0"
}
},
"<86,16>": "",
"<86,17>": "",
"<86,18>": "",
"<86,19>": "",
"<86,20>": "",
"<86,21>": "",
"<86,22>": "",
"<86,23>": "",
"<86,24>": "",
"<86,25>": "0",
"<86,26>": "0",
"<86,27>": "",
"<86,28>": "<<None>>",
"<86,29>": "<<None>>",
"<86,30>": "<<None>>",
"<86,31>": "0",
"<86,32>": {
"<86,32,1>": "0x7fffe",
"<86,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<86,33>": "",
"<86,34>": "",
"<86,35>": "",
"<86,36>": "",
"<86,37>": "",
"<86,38>": "",
"<86,39>": "",
"<86,40>": "",
"<86,41>": "",
"<86,42>": "",
"<86,43>": "",
"<86,44>": "",
"<86,45>": "",
"<86,46>": "",
"<86,47>": "",
"<86,48>": "",
"<86,49>": "",
"<86,50>": "",
"<86,51>": "",
"<86,52>": ""
},
"<87>": {
"<87,1>": "TEXT_280",
"<87,2>": "",
"<87,3>": "STATIC",
"<87,4>": "SPC_LIMITS",
"<87,5>": "397",
"<87,6>": "30:2",
"<87,7>": "203",
"<87,8>": "13",
"<87,9>": "|-----------------[ Low ]--------------------|",
"<87,10>": {
"<87,10,1>": "0x56000000",
"<87,10,2>": "0x"
},
"<87,11>": {
"<87,11,1>": "0x0",
"<87,11,2>": "0x80000000"
},
"<87,12>": "87",
"<87,13>": "-1",
"<87,14>": "0",
"<87,15>": {
"<87,15,1>": {
"<87,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<87,15,1,2>": "-11",
"<87,15,1,3>": "700",
"<87,15,1,4>": "0",
"<87,15,1,5>": "0",
"<87,15,1,6>": "0",
"<87,15,1,7>": "0",
"<87,15,1,8>": "34",
"<87,15,1,9>": "0",
"<87,15,1,10>": "1",
"<87,15,1,11>": "2",
"<87,15,1,12>": "1",
"<87,15,1,13>": "0",
"<87,15,1,14>": "0"
}
},
"<87,16>": "",
"<87,17>": "",
"<87,18>": "",
"<87,19>": "",
"<87,20>": "",
"<87,21>": "",
"<87,22>": "",
"<87,23>": "",
"<87,24>": "",
"<87,25>": "0",
"<87,26>": "0",
"<87,27>": "",
"<87,28>": "<<None>>",
"<87,29>": "<<None>>",
"<87,30>": "<<None>>",
"<87,31>": "0",
"<87,32>": {
"<87,32,1>": "0x7fffe",
"<87,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<87,33>": "",
"<87,34>": "",
"<87,35>": "",
"<87,36>": "",
"<87,37>": "",
"<87,38>": "",
"<87,39>": "",
"<87,40>": "",
"<87,41>": "",
"<87,42>": "",
"<87,43>": "",
"<87,44>": "",
"<87,45>": "",
"<87,46>": "",
"<87,47>": "",
"<87,48>": "",
"<87,49>": "",
"<87,50>": "",
"<87,51>": "",
"<87,52>": ""
},
"<88>": {
"<88,1>": "TEXT_290",
"<88,2>": "",
"<88,3>": "STATIC",
"<88,4>": "SPC_LIMITS",
"<88,5>": "396",
"<88,6>": "138:2",
"<88,7>": "203",
"<88,8>": "13",
"<88,9>": "|-----------------[ Low ]--------------------|",
"<88,10>": {
"<88,10,1>": "0x56000000",
"<88,10,2>": "0x"
},
"<88,11>": {
"<88,11,1>": "0x0",
"<88,11,2>": "0x80000000"
},
"<88,12>": "88",
"<88,13>": "-1",
"<88,14>": "0",
"<88,15>": {
"<88,15,1>": {
"<88,15,1,1>": "MS Sans Serif",
"<88,15,1,2>": "-11",
"<88,15,1,3>": "700",
"<88,15,1,4>": "0",
"<88,15,1,5>": "0",
"<88,15,1,6>": "0",
"<88,15,1,7>": "0",
"<88,15,1,8>": "34",
"<88,15,1,9>": "0",
"<88,15,1,10>": "1",
"<88,15,1,11>": "2",
"<88,15,1,12>": "1",
"<88,15,1,13>": "0",
"<88,15,1,14>": "0"
}
},
"<88,16>": "",
"<88,17>": "",
"<88,18>": "",
"<88,19>": "",
"<88,20>": "",
"<88,21>": "",
"<88,22>": "",
"<88,23>": "",
"<88,24>": "",
"<88,25>": "0",
"<88,26>": "0",
"<88,27>": "",
"<88,28>": "<<None>>",
"<88,29>": "<<None>>",
"<88,30>": "<<None>>",
"<88,31>": "0",
"<88,32>": {
"<88,32,1>": "0x7fffe",
"<88,32,2>": "0xf0016c08"
},
"<88,33>": "",
"<88,34>": "",
"<88,35>": "",
"<88,36>": "",
"<88,37>": "",
"<88,38>": "",
"<88,39>": "",
"<88,40>": "",
"<88,41>": "",
"<88,42>": "",
"<88,43>": "",
"<88,44>": "",
"<88,45>": "",
"<88,46>": "",
"<88,47>": "",
"<88,48>": "",
"<88,49>": "",
"<88,50>": "",
"<88,51>": "",
"<88,52>": ""
},
"<89>": ""
},
"record4": {
"<1>": {
"<1,1>": {
"<1,1,1>": "MENU",
"<1,1,2>": "1",
"<1,1,3>": "",
"<1,1,4>": "",
"<1,1,5>": "0",
"<1,1,6>": "0",
"<1,1,7>": "0",
"<1,1,8>": "0",
"<1,1,9>": "3",
"<1,1,10>": "",
"<1,1,11>": "0"
},
"<1,2>": {
"<1,2,1>": "POPUP",
"<1,2,2>": "1",
"<1,2,3>": "",
"<1,2,4>": "&Edit",
"<1,2,5>": "0",
"<1,2,6>": "0",
"<1,2,7>": "0",
"<1,2,8>": "0",
"<1,2,9>": "",
"<1,2,10>": "",
"<1,2,11>": "0"
},
"<1,3>": {
"<1,3,1>": "ITEM",
"<1,3,2>": "",
"<1,3,3>": "",
"<1,3,4>": "&Options\tShift+F2",
"<1,3,5>": "0",
"<1,3,6>": "0",
"<1,3,7>": "0",
"<1,3,8>": "369",
"<1,3,9>": "",
"<1,3,10>": "",
"<1,3,11>": "0"
}
},
"<2>": {
"<2,1>": "",
"<2,2>": {
"<2,2,1>": {
"<2,2,1,1>": "E",
"<2,2,1,2>": "OPTIONS",
"<2,2,1,3>": "@FOCUS",
"<2,2,1,4>": "",
"<2,2,1,5>": "",
"<2,2,1,6>": ""
},
"<2,2,2>": ""
},
"<2,3>": {
"<2,3,1>": "EDIT.OPTIONS",
"<2,3,2>": ""
},
"<2,4>": "0"
}
}
}
}
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