{
    "header": {
        "version": 1,
        "type": "record"
    },
    "body": {
        "record1": {
            "<1>": "-2",
            "<2>": "-2",
            "<3>": "-1",
            "<4>": "-1",
            "<5>": "16777215",
            "<6>": {
                "<6,1>": {
                    "<6,1,1>": "MS Sans Serif",
                    "<6,1,2>": "-11",
                    "<6,1,3>": "400",
                    "<6,1,4>": "0",
                    "<6,1,5>": "0",
                    "<6,1,6>": "0",
                    "<6,1,7>": "0",
                    "<6,1,8>": "34",
                    "<6,1,9>": "0",
                    "<6,1,10>": "1",
                    "<6,1,11>": "2",
                    "<6,1,12>": "1",
                    "<6,1,13>": "0",
                    "<6,1,14>": "0"
                }
            },
            "<7>": "",
            "<8>": {
                "<8,1>": {
                    "<8,1,1>": "PRE",
                    "<8,1,2>": "Pre Epi",
                    "<8,1,3>": "ASM"
                },
                "<8,2>": {
                    "<8,2,1>": "LOAD",
                    "<8,2,2>": "Load",
                    "<8,2,3>": "ASM"
                },
                "<8,3>": {
                    "<8,3,1>": "FWI",
                    "<8,3,2>": "First Wafer",
                    "<8,3,3>": "ASM"
                },
                "<8,4>": {
                    "<8,4,1>": "UNLOAD",
                    "<8,4,2>": "Unload",
                    "<8,4,3>": "ASM"
                },
                "<8,5>": {
                    "<8,5,1>": "LWI",
                    "<8,5,2>": "Last Wafer",
                    "<8,5,3>": "ASM"
                },
                "<8,6>": {
                    "<8,6,1>": "POST",
                    "<8,6,2>": "Post Epi",
                    "<8,6,3>": "ASM"
                },
                "<8,7>": {
                    "<8,7,1>": "QA",
                    "<8,7,2>": "FQA",
                    "<8,7,3>": "ASM"
                },
                "<8,8>": {
                    "<8,8,1>": "MO_QA",
                    "<8,8,2>": "Cassette QA",
                    "<8,8,3>": "EpiPRO"
                },
                "<8,9>": {
                    "<8,9,1>": "G_RDS",
                    "<8,9,2>": "Lot Start_Create RDS",
                    "<8,9,3>": "GaN",
                    "<8,9,4>": ""
                },
                "<8,10>": {
                    "<8,10,1>": "ETCH",
                    "<8,10,2>": "Etch",
                    "<8,10,3>": "GaN",
                    "<8,10,4>": ""
                },
                "<8,11>": {
                    "<8,11,1>": "GROWTH",
                    "<8,11,2>": "Epi Deposition",
                    "<8,11,3>": "GaN",
                    "<8,11,4>": ""
                },
                "<8,12>": {
                    "<8,12,1>": "G_RATE",
                    "<8,12,2>": "Growth Rate Review",
                    "<8,12,3>": "GaN",
                    "<8,12,4>": ""
                },
                "<8,13>": {
                    "<8,13,1>": "UV",
                    "<8,13,2>": "UV Lamp",
                    "<8,13,3>": "GaN",
                    "<8,13,4>": "1"
                },
                "<8,14>": {
                    "<8,14,1>": "WARP",
                    "<8,14,2>": "Warp",
                    "<8,14,3>": "GaN",
                    "<8,14,4>": "1"
                },
                "<8,15>": {
                    "<8,15,1>": "CAN",
                    "<8,15,2>": "Candela Scan",
                    "<8,15,3>": "GaN",
                    "<8,15,4>": "1"
                },
                "<8,16>": {
                    "<8,16,1>": "SPLIT",
                    "<8,16,2>": "Characterization Split",
                    "<8,16,3>": "GaN",
                    "<8,16,4>": "1"
                },
                "<8,17>": {
                    "<8,17,1>": "LEH",
                    "<8,17,2>": "LEH",
                    "<8,17,3>": "GaN",
                    "<8,17,4>": "1"
                },
                "<8,18>": {
                    "<8,18,1>": "XRD",
                    "<8,18,2>": "XRD",
                    "<8,18,3>": "GaN",
                    "<8,18,4>": "1"
                },
                "<8,19>": {
                    "<8,19,1>": "AFM",
                    "<8,19,2>": "AFM",
                    "<8,19,3>": "GaN",
                    "<8,19,4>": "1"
                },
                "<8,20>": {
                    "<8,20,1>": "RPM",
                    "<8,20,2>": "RPM",
                    "<8,20,3>": "GaN",
                    "<8,20,4>": "1"
                },
                "<8,21>": {
                    "<8,21,1>": "PR",
                    "<8,21,2>": "Photoreflectance",
                    "<8,21,3>": "GaN",
                    "<8,21,4>": "1"
                },
                "<8,22>": {
                    "<8,22,1>": "SCOPE",
                    "<8,22,2>": "Microscope",
                    "<8,22,3>": "GaN",
                    "<8,22,4>": "1"
                },
                "<8,23>": {
                    "<8,23,1>": "RTA",
                    "<8,23,2>": "RTA",
                    "<8,23,3>": "GaN",
                    "<8,23,4>": "1"
                },
                "<8,24>": {
                    "<8,24,1>": "CV",
                    "<8,24,2>": "CV-HG Probe",
                    "<8,24,3>": "GaN",
                    "<8,24,4>": "1"
                },
                "<8,25>": {
                    "<8,25,1>": "HALL",
                    "<8,25,2>": "Hall Coefficient Measure",
                    "<8,25,3>": "GaN",
                    "<8,25,4>": "1"
                },
                "<8,26>": {
                    "<8,26,1>": "EBEAM",
                    "<8,26,2>": "eBeam",
                    "<8,26,3>": "GaN",
                    "<8,26,4>": "1"
                },
                "<8,27>": {
                    "<8,27,1>": "RTA_HALL",
                    "<8,27,2>": "RTA_HALL",
                    "<8,27,3>": "GaN",
                    "<8,27,4>": "1"
                },
                "<8,28>": {
                    "<8,28,1>": "HALL_PGAN",
                    "<8,28,2>": "Hall PGaN Measure",
                    "<8,28,3>": "GaN",
                    "<8,28,4>": "1"
                },
                "<8,29>": {
                    "<8,29,1>": "BV",
                    "<8,29,2>": "BV",
                    "<8,29,3>": "GaN",
                    "<8,29,4>": "1"
                },
                "<8,30>": {
                    "<8,30,1>": "FRINGE",
                    "<8,30,2>": "Fringe",
                    "<8,30,3>": "GaN",
                    "<8,30,4>": "1"
                },
                "<8,31>": {
                    "<8,31,1>": "CTRL_PLAN",
                    "<8,31,2>": "Start Control Plan",
                    "<8,31,3>": "GaN",
                    "<8,31,4>": "1"
                },
                "<8,32>": {
                    "<8,32,1>": "DISP",
                    "<8,32,2>": "Wafer Disposition",
                    "<8,32,3>": "GaN",
                    "<8,32,4>": "1"
                },
                "<8,33>": {
                    "<8,33,1>": "G_FQA",
                    "<8,33,2>": "Final QA",
                    "<8,33,3>": "GaN",
                    "<8,33,4>": "1"
                },
                "<8,34>": {
                    "<8,34,1>": "G_PACK",
                    "<8,34,2>": "Package",
                    "<8,34,3>": "GaN",
                    "<8,34,4>": "1"
                },
                "<8,35>": {
                    "<8,35,1>": "RETAIN",
                    "<8,35,2>": "Retain Wafers",
                    "<8,35,3>": "GaN",
                    "<8,35,4>": "1"
                },
                "<8,36>": "",
                "<8,37>": ""
            },
            "<9>": {
                "<9,1>": {
                    "<9,1,1>": "1",
                    "<9,1,2>": "12",
                    "<9,1,3>": "C",
                    "<9,1,4>": "C",
                    "<9,1,5>": "",
                    "<9,1,6>": "Code"
                },
                "<9,2>": {
                    "<9,2,1>": "2",
                    "<9,2,2>": "20",
                    "<9,2,3>": "L",
                    "<9,2,4>": "L",
                    "<9,2,5>": "",
                    "<9,2,6>": "Stage Description"
                },
                "<9,3>": {
                    "<9,3,1>": "3",
                    "<9,3,2>": "10",
                    "<9,3,3>": "C",
                    "<9,3,4>": "C",
                    "<9,3,5>": "",
                    "<9,3,6>": "Process"
                },
                "<9,4>": {
                    "<9,4,1>": "4",
                    "<9,4,2>": "8",
                    "<9,4,3>": "C",
                    "<9,4,4>": "C",
                    "<9,4,5>": "",
                    "<9,4,6>": "CharTech"
                },
                "<9,5>": {
                    "<9,5,1>": "",
                    "<9,5,2>": "",
                    "<9,5,3>": "",
                    "<9,5,4>": "",
                    "<9,5,5>": "",
                    "<9,5,6>": ""
                }
            },
            "<10>": "L",
            "<11>": "1",
            "<12>": "Stage",
            "<13>": "1",
            "<14>": "F",
            "<15>": "1",
            "<16>": "1",
            "<17>": "1",
            "<18>": "1",
            "<19>": "1",
            "<20>": "1",
            "<21>": "1",
            "<22>": "0",
            "<23>": "0",
            "<24>": "0",
            "<25>": "0",
            "<26>": "",
            "<27>": "",
            "<28>": "",
            "<29>": "0",
            "<30>": "1",
            "<31>": "0",
            "<32>": "0",
            "<33>": "1",
            "<34>": "16777215",
            "<35>": "16777215"
        }
    }
}