{
    "header": {
        "version": 1,
        "type": "record"
    },
    "body": {
        "record1": {
            "<1>": "-2",
            "<2>": "-2",
            "<3>": "-1",
            "<4>": "-1",
            "<5>": "16777215",
            "<6>": {
                "<6,1>": {
                    "<6,1,1>": "Tahoma",
                    "<6,1,2>": "-11",
                    "<6,1,3>": "400",
                    "<6,1,4>": "0",
                    "<6,1,5>": "0",
                    "<6,1,6>": "5",
                    "<6,1,7>": "0",
                    "<6,1,8>": "39",
                    "<6,1,9>": "0",
                    "<6,1,10>": "0",
                    "<6,1,11>": "0",
                    "<6,1,12>": "0",
                    "<6,1,13>": "11",
                    "<6,1,14>": "2",
                    "<6,1,15>": "0",
                    "<6,1,16>": "21"
                }
            },
            "<7>": "",
            "<8>": {
                "<8,1>": {
                    "<8,1,1>": "P_SOURCE",
                    "<8,1,2>": "P Dopant Source"
                },
                "<8,2>": {
                    "<8,2,1>": "N_SOURCE",
                    "<8,2,2>": "N Dopant Source"
                },
                "<8,3>": {
                    "<8,3,1>": "P_DIL",
                    "<8,3,2>": "P Dopant Dilution"
                },
                "<8,4>": {
                    "<8,4,1>": "N_DIL",
                    "<8,4,2>": "N Dopant Dilution"
                },
                "<8,5>": {
                    "<8,5,1>": "P_INJECT",
                    "<8,5,2>": "P Dopant Injection"
                },
                "<8,6>": {
                    "<8,6,1>": "N_INJECT",
                    "<8,6,2>": "N Dopant Injection"
                },
                "<8,7>": {
                    "<8,7,1>": "HCL_LOW",
                    "<8,7,2>": "Hydrogen Chloride Low Flow"
                },
                "<8,8>": {
                    "<8,8,1>": "HCL_HI",
                    "<8,8,2>": "Hydrogen Chloride High Flow"
                },
                "<8,9>": {
                    "<8,9,1>": "MAIN",
                    "<8,9,2>": "Main Purge Gas"
                },
                "<8,10>": {
                    "<8,10,1>": "HEAVY",
                    "<8,10,2>": " Heavy Dopant"
                },
                "<8,11>": {
                    "<8,11,1>": "GERMANE",
                    "<8,11,2>": " Germane Dopant"
                },
                "<8,12>": {
                    "<8,12,1>": "DCS",
                    "<8,12,2>": "DiChloroSilane"
                },
                "<8,13>": {
                    "<8,13,1>": "SHAFT",
                    "<8,13,2>": "Shaft Purge"
                },
                "<8,14>": {
                    "<8,14,1>": "SILANE",
                    "<8,14,2>": "Silane"
                },
                "<8,15>": {
                    "<8,15,1>": "VAPOR_CONT",
                    "<8,15,2>": "Vapor Concentration Control"
                }
            },
            "<9>": {
                "<9,1>": {
                    "<9,1,1>": "1",
                    "<9,1,2>": "15",
                    "<9,1,3>": "C",
                    "<9,1,4>": "C",
                    "<9,1,5>": "",
                    "<9,1,6>": "Code"
                },
                "<9,2>": {
                    "<9,2,1>": "1",
                    "<9,2,2>": "30",
                    "<9,2,3>": "L",
                    "<9,2,4>": "C",
                    "<9,2,5>": "",
                    "<9,2,6>": "Function Description"
                }
            },
            "<10>": "L",
            "<11>": "2",
            "<12>": "Reactor MFC Functions",
            "<13>": "1",
            "<14>": "F",
            "<15>": "1",
            "<16>": "1",
            "<17>": "1",
            "<18>": "1",
            "<19>": "1",
            "<20>": "1",
            "<21>": "1",
            "<22>": "0",
            "<23>": "0",
            "<24>": "0",
            "<25>": "0",
            "<26>": "",
            "<27>": "",
            "<28>": "",
            "<29>": "0",
            "<30>": "0",
            "<31>": "0",
            "<32>": "0",
            "<33>": "1",
            "<34>": "12639424",
            "<35>": "16777215"
        }
    }
}