{
    "header": {
        "version": 1,
        "type": "record"
    },
    "body": {
        "record1": {
            "<1>": "-2",
            "<2>": "-2",
            "<3>": "-1",
            "<4>": "-1",
            "<5>": "16777215",
            "<6>": {
                "<6,1>": {
                    "<6,1,1>": "Tahoma",
                    "<6,1,2>": "-11",
                    "<6,1,3>": "400",
                    "<6,1,4>": "0",
                    "<6,1,5>": "0",
                    "<6,1,6>": "5",
                    "<6,1,7>": "0",
                    "<6,1,8>": "39",
                    "<6,1,9>": "0",
                    "<6,1,10>": "0",
                    "<6,1,11>": "0",
                    "<6,1,12>": "0",
                    "<6,1,13>": "11",
                    "<6,1,14>": "2",
                    "<6,1,15>": "0",
                    "<6,1,16>": "21"
                }
            },
            "<7>": "",
            "<8>": {
                "<8,1>": {
                    "<8,1,1>": "SiH4",
                    "<8,1,2>": "Silane"
                },
                "<8,2>": {
                    "<8,2,1>": "SiH4_2%",
                    "<8,2,2>": "Silane 2%"
                },
                "<8,3>": {
                    "<8,3,1>": "SiH2Cl2",
                    "<8,3,2>": "Dichlorosilane"
                },
                "<8,4>": {
                    "<8,4,1>": "SiHCl3",
                    "<8,4,2>": "Trichlorosilane"
                },
                "<8,5>": {
                    "<8,5,1>": "AsH3_100",
                    "<8,5,2>": "Arsine 100 ppm"
                },
                "<8,6>": {
                    "<8,6,1>": "PH3_50",
                    "<8,6,2>": "Phosphine 50 ppm"
                },
                "<8,7>": {
                    "<8,7,1>": "B2H6_100",
                    "<8,7,2>": "Diborane 100 ppm"
                },
                "<8,8>": {
                    "<8,8,1>": "B2H6_1%",
                    "<8,8,2>": "Heavy Dope - Diborane 1%"
                },
                "<8,9>": {
                    "<8,9,1>": "AsH3_1000",
                    "<8,9,2>": "Heavy Dope - Arsine 1000ppm (0.1%)"
                },
                "<8,10>": {
                    "<8,10,1>": "GeH4_10%",
                    "<8,10,2>": "Heavy Dope - Germane 10%"
                },
                "<8,11>": {
                    "<8,11,1>": "H2",
                    "<8,11,2>": "Hydrogen"
                },
                "<8,12>": {
                    "<8,12,1>": "N2",
                    "<8,12,2>": "Nitrogen"
                },
                "<8,13>": {
                    "<8,13,1>": "HCl",
                    "<8,13,2>": "Hydrogen Chloride"
                }
            },
            "<9>": {
                "<9,1>": {
                    "<9,1,1>": "1",
                    "<9,1,2>": "25",
                    "<9,1,3>": "L",
                    "<9,1,4>": "C",
                    "<9,1,5>": "",
                    "<9,1,6>": "Gas"
                },
                "<9,2>": {
                    "<9,2,1>": "2",
                    "<9,2,2>": "30",
                    "<9,2,3>": "L",
                    "<9,2,4>": "C",
                    "<9,2,5>": "",
                    "<9,2,6>": "Description"
                }
            },
            "<10>": "L",
            "<11>": "2",
            "<12>": "Reactor Gases",
            "<13>": "1",
            "<14>": "F",
            "<15>": "1",
            "<16>": "1",
            "<17>": "1",
            "<18>": "1",
            "<19>": "1",
            "<20>": "1",
            "<21>": "1",
            "<22>": "0",
            "<23>": "0",
            "<24>": "0",
            "<25>": "0",
            "<26>": "",
            "<27>": "",
            "<28>": "",
            "<29>": "0",
            "<30>": "1",
            "<31>": "0",
            "<32>": "0",
            "<33>": "1",
            "<34>": "12639424",
            "<35>": "16777215"
        }
    }
}