{ "header": { "version": 1, "type": "record" }, "body": { "record1": { "<1>": "-2", "<2>": "-2", "<3>": "-1", "<4>": "-1", "<5>": "16777215", "<6>": { "<6,1>": { "<6,1,1>": "MS Sans Serif", "<6,1,2>": "-11", "<6,1,3>": "700", "<6,1,4>": "0", "<6,1,5>": "0", "<6,1,6>": "6", "<6,1,7>": "0", "<6,1,8>": "33", "<6,1,9>": "0", "<6,1,10>": "0", "<6,1,11>": "0", "<6,1,12>": "0", "<6,1,13>": "11", "<6,1,14>": "2", "<6,1,15>": "0", "<6,1,16>": "12" } }, "<7>": "", "<8>": { "<8,1>": { "<8,1,1>": "Reactor Area", "<8,1,2>": "1" }, "<8,2>": { "<8,2,1>": "Reactor Gas Panel", "<8,2,2>": "2" }, "<8,3>": { "<8,3,1>": "Facilities", "<8,3,2>": "3" }, "<8,4>": { "<8,4,1>": "Gas Changes", "<8,4,2>": "4" }, "<8,5>": { "<8,5,1>": "Wafer Transfer Area", "<8,5,2>": "5" }, "<8,6>": { "<8,6,1>": "Calibrations", "<8,6,2>": "6" }, "<8,7>": { "<8,7,1>": "Process Trouble Shooting", "<8,7,2>": "7" }, "<8,8>": { "<8,8,1>": "Semitool", "<8,8,2>": "8" }, "<8,9>": { "<8,9,1>": "SRD", "<8,9,2>": "9" } }, "<9>": { "<9,1>": { "<9,1,1>": "1", "<9,1,2>": "20", "<9,1,3>": "", "<9,1,4>": "", "<9,1,5>": "", "<9,1,6>": "Category" }, "<9,2>": { "<9,2,1>": "2", "<9,2,2>": "0", "<9,2,3>": "", "<9,2,4>": "", "<9,2,5>": "", "<9,2,6>": "" } }, "<10>": "L", "<11>": "1", "<12>": "Category", "<13>": "2", "<14>": "F", "<15>": "1", "<16>": "1", "<17>": "1", "<18>": "1", "<19>": "1", "<20>": "1", "<21>": "1", "<22>": "0", "<23>": "0", "<24>": "0", "<25>": "0", "<26>": "" } } }