{ "header": { "version": 1, "type": "record" }, "body": { "record1": { "<1>": "-1", "<2>": "-1", "<3>": "-1", "<4>": "-1", "<5>": "16777215", "<6>": { "<6,1>": { "<6,1,1>": "Tahoma", "<6,1,2>": "-11", "<6,1,3>": "400", "<6,1,4>": "0", "<6,1,5>": "0", "<6,1,6>": "0", "<6,1,7>": "0", "<6,1,8>": "34", "<6,1,9>": "0", "<6,1,10>": "3", "<6,1,11>": "2", "<6,1,12>": "1", "<6,1,13>": "0", "<6,1,14>": "0", "<6,1,15>": "0", "<6,1,16>": "0" } }, "<7>": "RECIPE", "<8>": "BY RECIPE_NAME", "<9>": { "<9,1>": { "<9,1,1>": "SEQ", "<9,1,2>": "8", "<9,1,3>": "C", "<9,1,4>": "C", "<9,1,5>": "MD0", "<9,1,6>": "Recipe No" }, "<9,2>": { "<9,2,1>": "RECIPE_NAME", "<9,2,2>": "20", "<9,2,3>": "L", "<9,2,4>": "C", "<9,2,5>": "", "<9,2,6>": "Recipe Name" }, "<9,3>": { "<9,3,1>": "EPI_DOPANT", "<9,3,2>": "12", "<9,3,3>": "L", "<9,3,4>": "C", "<9,3,5>": "", "<9,3,6>": "Dopant" }, "<9,4>": { "<9,4,1>": "EPI_TEMP", "<9,4,2>": "6", "<9,4,3>": "R", "<9,4,4>": "C", "<9,4,5>": "", "<9,4,6>": "Temp" }, "<9,5>": { "<9,5,1>": "EPI_DILUENT", "<9,5,2>": "7", "<9,5,3>": "R", "<9,5,4>": "C", "<9,5,5>": "MD2", "<9,5,6>": "Diluent" }, "<9,6>": { "<9,6,1>": "EPI_GASES", "<9,6,2>": "12", "<9,6,3>": "C", "<9,6,4>": "C", "<9,6,5>": "", "<9,6,6>": "Source Gas" }, "<9,7>": { "<9,7,1>": "EPI_GAS_RATE", "<9,7,2>": "6", "<9,7,3>": "R", "<9,7,4>": "C", "<9,7,5>": "MD2", "<9,7,6>": "Source Rate" }, "<9,8>": { "<9,8,1>": "EPI_GASES_UNIT", "<9,8,2>": "6", "<9,8,3>": "C", "<9,8,4>": "C", "<9,8,5>": "", "<9,8,6>": "Unit" }, "<9,9>": { "<9,9,1>": "", "<9,9,2>": "", "<9,9,3>": "", "<9,9,4>": "", "<9,9,5>": "", "<9,9,6>": "" } }, "<10>": "T", "<11>": "1", "<12>": "Recipe", "<13>": "", "<14>": "K", "<15>": "1", "<16>": "1", "<17>": "1", "<18>": "1", "<19>": "1", "<20>": "1", "<21>": "1", "<22>": "1", "<23>": "1", "<24>": "1", "<25>": "0", "<26>": "", "<27>": "", "<28>": "", "<29>": "0", "<30>": "1", "<31>": "1", "<32>": "0", "<33>": "1", "<34>": "16777215", "<35>": "16777215" } } }