{ "header": { "version": 1, "type": "record" }, "body": { "record1": { "<1>": "1010", "<2>": "55", "<3>": "" }, "record2": { "<1>": { "<1,1>": "RDS_RECIPE", "<1,2>": "", "<1,3>": "WINDOW", "<1,4>": "", "<1,5>": "56", "<1,6>": "91", "<1,7>": "469", "<1,8>": "319", "<1,9>": "Run Data Sheet ( Recipe Information )", "<1,10>": { "<1,10,1>": "0x92C00000", "<1,10,2>": "0x" }, "<1,11>": { "<1,11,1>": "0x100", "<1,11,2>": "0x80000000" }, "<1,12>": "0", "<1,13>": "-2", "<1,14>": "0", "<1,15>": "", "<1,16>": "", "<1,17>": "CREATE", "<1,18>": { "<1,18,1>": { "<1,18,1,1>": "R", "<1,18,1,2>": "EXECUTE", "<1,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.CONTEXT", "<1,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<1,18,1,5>": "", "<1,18,1,6>": "" }, "<1,18,2>": "" }, "<1,19>": { "<1,19,1>": "HELP", "<1,19,2>": "" }, "<1,20>": "", "<1,21>": "", "<1,22>": "", "<1,23>": "", "<1,24>": { "<1,24,1>": "0", "<1,24,2>": "0", "<1,24,3>": "0", "<1,24,4>": "0", "<1,24,5>": "0", "<1,24,6>": "0" }, "<1,25>": "0", "<1,26>": "0", "<1,27>": "", "<1,28>": "", "<1,29>": "", "<1,30>": "", "<1,31>": "", "<1,32>": { "<1,32,1>": "0x7FFFE", "<1,32,2>": "0xF001E988" }, "<1,33>": "", "<1,34>": "LSL2*IMAGE*ICO*DATASET", "<1,35>": "", "<1,36>": "", "<1,37>": { "<1,37,1>": "0x10001", "<1,37,2>": "0x10001" }, "<1,38>": { "<1,38,1>": "1", "<1,38,2>": "1" }, "<1,39>": "", "<1,40>": "", "<1,41>": "", "<1,42>": "", "<1,43>": "", "<1,44>": "", "<1,45>": "", "<1,46>": "", "<1,47>": "", "<1,48>": "", "<1,49>": "", "<1,50>": "", "<1,51>": "" } }, "record3": { "<1>": { "<1,1>": "GROUP_9", "<1,2>": "", "<1,3>": "GROUPBOX", "<1,4>": "RDS_RECIPE", "<1,5>": "6", "<1,6>": "220", "<1,7>": "338", "<1,8>": "51", "<1,9>": "Temperature Information", "<1,10>": { "<1,10,1>": "0x56000000", "<1,10,2>": "0x" }, "<1,11>": { "<1,11,1>": "0x0", "<1,11,2>": "0x80000000" }, "<1,12>": "1", "<1,13>": "-1", "<1,14>": "0", "<1,15>": { "<1,15,1>": { "<1,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<1,15,1,2>": "-11", "<1,15,1,3>": "700", "<1,15,1,4>": "0", "<1,15,1,5>": "0", "<1,15,1,6>": "0", "<1,15,1,7>": "0", "<1,15,1,8>": "34", "<1,15,1,9>": "0", "<1,15,1,10>": "1", "<1,15,1,11>": "2", "<1,15,1,12>": "1", "<1,15,1,13>": "0", "<1,15,1,14>": "0" } }, "<1,16>": "", "<1,17>": "", "<1,18>": "", "<1,19>": "", "<1,20>": "", "<1,21>": "", "<1,22>": "", "<1,23>": "", "<1,24>": "", "<1,25>": "0", "<1,26>": "0", "<1,27>": "", "<1,28>": "<>", "<1,29>": "<>", "<1,30>": "<>", "<1,31>": "0", "<1,32>": { "<1,32,1>": "0x7fffe", "<1,32,2>": "0xf0016c08" }, "<1,33>": "" }, "<2>": { "<2,1>": "GROUP_5", "<2,2>": "", "<2,3>": "GROUPBOX", "<2,4>": "RDS_RECIPE", "<2,5>": "236", "<2,6>": "33", "<2,7>": "218", "<2,8>": "98", "<2,9>": "Bake Information", "<2,10>": { "<2,10,1>": "0x56000000", "<2,10,2>": "0x" }, "<2,11>": { "<2,11,1>": "0x0", "<2,11,2>": "0x80000000" }, "<2,12>": "2", "<2,13>": "-1", "<2,14>": "0", "<2,15>": { "<2,15,1>": { "<2,15,1,1>": "MS Dialog", "<2,15,1,2>": "-11", "<2,15,1,3>": "700", "<2,15,1,4>": "0", "<2,15,1,5>": "0", "<2,15,1,6>": "0", "<2,15,1,7>": "0", "<2,15,1,8>": "34", "<2,15,1,9>": "0", "<2,15,1,10>": "1", "<2,15,1,11>": "2", "<2,15,1,12>": "1", "<2,15,1,13>": "0", "<2,15,1,14>": "0" } }, "<2,16>": "", "<2,17>": "", "<2,18>": "", "<2,19>": "", "<2,20>": "", "<2,21>": "", "<2,22>": "", "<2,23>": "", "<2,24>": "", "<2,25>": "0", "<2,26>": "0", "<2,27>": "", "<2,28>": "<>", "<2,29>": "<>", "<2,30>": "<>", "<2,31>": "0", "<2,32>": { "<2,32,1>": "0x7fffe", "<2,32,2>": "0xf0016c08" }, "<2,33>": "" }, "<3>": { "<3,1>": "GROUP_6", "<3,2>": "", "<3,3>": "GROUPBOX", "<3,4>": "RDS_RECIPE", "<3,5>": "7", "<3,6>": "34", "<3,7>": "221", "<3,8>": "182", "<3,9>": "EPI Growth Information", "<3,10>": { "<3,10,1>": "0x56000000", "<3,10,2>": "0x" }, "<3,11>": { "<3,11,1>": "0x0", "<3,11,2>": "0x80000000" }, "<3,12>": "3", "<3,13>": "-1", "<3,14>": "0", "<3,15>": { "<3,15,1>": { "<3,15,1,1>": "MS Dialog", "<3,15,1,2>": "-11", "<3,15,1,3>": "700", "<3,15,1,4>": "0", "<3,15,1,5>": "0", "<3,15,1,6>": "0", "<3,15,1,7>": "0", "<3,15,1,8>": "34", "<3,15,1,9>": "0", "<3,15,1,10>": "1", "<3,15,1,11>": "2", "<3,15,1,12>": "1", "<3,15,1,13>": "0", "<3,15,1,14>": "0" } }, "<3,16>": "", "<3,17>": "", "<3,18>": "", "<3,19>": "", "<3,20>": "", "<3,21>": "", "<3,22>": "", "<3,23>": "", "<3,24>": "", "<3,25>": "0", "<3,26>": "0", "<3,27>": "", "<3,28>": "<>", "<3,29>": "<>", "<3,30>": "<>", "<3,31>": "0", "<3,32>": { "<3,32,1>": "0x7fffe", "<3,32,2>": "0xf0016c08" }, "<3,33>": "" }, "<4>": { "<4,1>": "GROUP_7", "<4,2>": "", "<4,3>": "GROUPBOX", "<4,4>": "RDS_RECIPE", "<4,5>": "237", "<4,6>": "134", "<4,7>": "217", "<4,8>": "82", "<4,9>": "Wafer Etch Information", "<4,10>": { "<4,10,1>": "0x56000000", "<4,10,2>": "0x" }, "<4,11>": { "<4,11,1>": "0x0", "<4,11,2>": "0x80000000" }, "<4,12>": "4", "<4,13>": "-1", "<4,14>": "0", "<4,15>": { "<4,15,1>": { "<4,15,1,1>": "MS Dialog", "<4,15,1,2>": "-11", "<4,15,1,3>": "700", "<4,15,1,4>": "0", "<4,15,1,5>": "0", "<4,15,1,6>": "0", "<4,15,1,7>": "0", "<4,15,1,8>": "34", "<4,15,1,9>": "0", "<4,15,1,10>": "1", "<4,15,1,11>": "2", "<4,15,1,12>": "1", "<4,15,1,13>": "0", "<4,15,1,14>": "0" } }, "<4,16>": "", "<4,17>": "", "<4,18>": "", "<4,19>": "", "<4,20>": "", "<4,21>": "", "<4,22>": "", "<4,23>": "", "<4,24>": "", "<4,25>": "0", "<4,26>": "0", "<4,27>": "", "<4,28>": "<>", "<4,29>": "<>", "<4,30>": "<>", "<4,31>": "0", "<4,32>": { "<4,32,1>": "0x7fffe", "<4,32,2>": "0xf0016c08" }, "<4,33>": "" }, "<5>": { "<5,1>": "EPI_TIME", "<5,2>": "", "<5,3>": "EDITFIELD", "<5,4>": "RDS_RECIPE", "<5,5>": "49", "<5,6>": "75", "<5,7>": "74", "<5,8>": "21", "<5,9>": "", "<5,10>": { "<5,10,1>": "0x56800080", "<5,10,2>": "0x" }, "<5,11>": { "<5,11,1>": "0x4", "<5,11,2>": "0x80000000" }, "<5,12>": "5", "<5,13>": "-2", "<5,14>": "0", "<5,15>": { "<5,15,1>": { "<5,15,1,1>": "MS Dialog", "<5,15,1,2>": "-11", "<5,15,1,3>": "700", "<5,15,1,4>": "0", "<5,15,1,5>": "0", "<5,15,1,6>": "0", "<5,15,1,7>": "0", "<5,15,1,8>": "34", "<5,15,1,9>": "0", "<5,15,1,10>": "1", "<5,15,1,11>": "2", "<5,15,1,12>": "1", "<5,15,1,13>": "0", "<5,15,1,14>": "0" } }, "<5,16>": "", "<5,17>": "", "<5,18>": { "<5,18,1>": { "<5,18,1,1>": "R", "<5,18,1,2>": "EXECUTE", "<5,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.TIME_EPI_GROWTH", "<5,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<5,18,1,5>": "", "<5,18,1,6>": "" }, "<5,18,2>": "" }, "<5,19>": { "<5,19,1>": "HELP", "<5,19,2>": "" }, "<5,20>": "", "<5,21>": "", "<5,22>": "", "<5,23>": "", "<5,24>": "", "<5,25>": "0", "<5,26>": "0", "<5,27>": "", "<5,28>": "[DEP_TIME_CONV]", "<5,29>": "<>", "<5,30>": "<>", "<5,31>": "0", "<5,32>": { "<5,32,1>": "0x7fffe", "<5,32,2>": "0xc0016108" }, "<5,33>": "", "<5,34>": "", "<5,35>": "", "<5,36>": "", "<5,37>": "", "<5,38>": "", "<5,39>": "", "<5,40>": "", "<5,41>": "", "<5,42>": "", "<5,43>": "", "<5,44>": "", "<5,45>": "", "<5,46>": "", "<5,47>": "", "<5,48>": "", "<5,49>": "" }, "<6>": { "<6,1>": "EPI_SOURCE", "<6,2>": "", "<6,3>": "EDITFIELD", "<6,4>": "RDS_RECIPE", "<6,5>": "65", "<6,6>": "123", "<6,7>": "50", "<6,8>": "21", "<6,9>": "", "<6,10>": { "<6,10,1>": "0x56800080", "<6,10,2>": "0x" }, "<6,11>": { "<6,11,1>": "0x0", "<6,11,2>": "0x80000000" }, "<6,12>": "6", "<6,13>": "-2", "<6,14>": "0", "<6,15>": { "<6,15,1>": { "<6,15,1,1>": "MS Dialog", "<6,15,1,2>": "-11", "<6,15,1,3>": "700", "<6,15,1,4>": "0", "<6,15,1,5>": "0", "<6,15,1,6>": "0", "<6,15,1,7>": "0", "<6,15,1,8>": "34", "<6,15,1,9>": "0", "<6,15,1,10>": "1", "<6,15,1,11>": "2", "<6,15,1,12>": "1", "<6,15,1,13>": "0", "<6,15,1,14>": "0" } }, "<6,16>": "", "<6,17>": "", "<6,18>": { "<6,18,1>": { "<6,18,1,1>": "R", "<6,18,1,2>": "EXECUTE", "<6,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_LAYERS.SOURCE_EPI_GROWTH", "<6,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<6,18,1,5>": "", "<6,18,1,6>": "" }, "<6,18,2>": "" }, "<6,19>": { "<6,19,1>": "HELP", "<6,19,2>": "" }, "<6,20>": "", "<6,21>": "", "<6,22>": "", "<6,23>": "", "<6,24>": "", "<6,25>": "0", "<6,26>": "0", "<6,27>": "", "<6,28>": "(MD2)", "<6,29>": "MD2", "<6,30>": "<>", "<6,31>": "0", "<6,32>": { "<6,32,1>": "0x7fffe", "<6,32,2>": "0xc0016d08" }, "<6,33>": "", "<6,34>": "", "<6,35>": "", "<6,36>": "", "<6,37>": "", "<6,38>": "", "<6,39>": "", "<6,40>": "", "<6,41>": "", "<6,42>": "", "<6,43>": "", "<6,44>": "", "<6,45>": "", "<6,46>": "", "<6,47>": "", "<6,48>": "", "<6,49>": "" }, "<7>": { "<7,1>": "EPI_INJECT", "<7,2>": "", "<7,3>": "EDITFIELD", "<7,4>": "RDS_RECIPE", "<7,5>": "160", "<7,6>": "123", "<7,7>": "50", "<7,8>": "21", "<7,9>": "", "<7,10>": { "<7,10,1>": "0x56800080", "<7,10,2>": "0x" }, "<7,11>": { "<7,11,1>": "0x0", "<7,11,2>": "0x80000000" }, "<7,12>": "7", "<7,13>": "-2", "<7,14>": "0", "<7,15>": { "<7,15,1>": { "<7,15,1,1>": "MS Dialog", "<7,15,1,2>": "-11", "<7,15,1,3>": "700", "<7,15,1,4>": "0", "<7,15,1,5>": "0", "<7,15,1,6>": "0", "<7,15,1,7>": "0", "<7,15,1,8>": "34", "<7,15,1,9>": "0", "<7,15,1,10>": "1", "<7,15,1,11>": "2", "<7,15,1,12>": "1", "<7,15,1,13>": "0", "<7,15,1,14>": "0" } }, "<7,16>": "", "<7,17>": "", "<7,18>": { "<7,18,1>": { "<7,18,1,1>": "R", "<7,18,1,2>": "EXECUTE", "<7,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.INJECT_EPI_GROWTH", "<7,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<7,18,1,5>": "", "<7,18,1,6>": "" }, "<7,18,2>": "" }, "<7,19>": { "<7,19,1>": "HELP", "<7,19,2>": "" }, "<7,20>": "", "<7,21>": "", "<7,22>": "", "<7,23>": "", "<7,24>": "", "<7,25>": "0", "<7,26>": "0", "<7,27>": "", "<7,28>": "(MD2)", "<7,29>": "MD2", "<7,30>": "<>", "<7,31>": "0", "<7,32>": { "<7,32,1>": "0x7fffe", "<7,32,2>": "0xc0016c08" }, "<7,33>": "", "<7,34>": "", "<7,35>": "", "<7,36>": "", "<7,37>": "", "<7,38>": "", "<7,39>": "", "<7,40>": "", "<7,41>": "", "<7,42>": "", "<7,43>": "", "<7,44>": "", "<7,45>": "", "<7,46>": "", "<7,47>": "", "<7,48>": "", "<7,49>": "" }, "<8>": { "<8,1>": "F_OFFSET", "<8,2>": "", "<8,3>": "EDITFIELD", "<8,4>": "RDS_RECIPE", "<8,5>": "55", "<8,6>": "239", "<8,7>": "65", "<8,8>": "21", "<8,9>": "", "<8,10>": { "<8,10,1>": "0x56800080", "<8,10,2>": "0x" }, "<8,11>": { "<8,11,1>": "0x0", "<8,11,2>": "0x80000000" }, "<8,12>": "8", "<8,13>": "-2", "<8,14>": "0", "<8,15>": { "<8,15,1>": { "<8,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<8,15,1,2>": "-11", "<8,15,1,3>": "700", "<8,15,1,4>": "0", "<8,15,1,5>": "0", "<8,15,1,6>": "0", "<8,15,1,7>": "0", "<8,15,1,8>": "34", "<8,15,1,9>": "0", "<8,15,1,10>": "1", "<8,15,1,11>": "2", "<8,15,1,12>": "1", "<8,15,1,13>": "0", "<8,15,1,14>": "0" } }, "<8,16>": "", "<8,17>": "", "<8,18>": { "<8,18,1>": { "<8,18,1,1>": "R", "<8,18,1,2>": "EXECUTE", "<8,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.F_OFFSET", "<8,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<8,18,1,5>": "", "<8,18,1,6>": "" }, "<8,18,2>": "" }, "<8,19>": { "<8,19,1>": "HELP", "<8,19,2>": "" }, "<8,20>": "", "<8,21>": "", "<8,22>": "", "<8,23>": "", "<8,24>": "", "<8,25>": "0", "<8,26>": "0", "<8,27>": "", "<8,28>": "(MD0)", "<8,29>": "MD0", "<8,30>": "<>", "<8,31>": "0", "<8,32>": { "<8,32,1>": "0x7fffe", "<8,32,2>": "0xc0012908" }, "<8,33>": "", "<8,34>": "", "<8,35>": "", "<8,36>": "", "<8,37>": "", "<8,38>": "", "<8,39>": "", "<8,40>": "", "<8,41>": "", "<8,42>": "", "<8,43>": "", "<8,44>": "", "<8,45>": "", "<8,46>": "", "<8,47>": "", "<8,48>": "", "<8,49>": "" }, "<9>": { "<9,1>": "S_OFFSET", "<9,2>": "", "<9,3>": "EDITFIELD", "<9,4>": "RDS_RECIPE", "<9,5>": "159", "<9,6>": "239", "<9,7>": "65", "<9,8>": "21", "<9,9>": "", "<9,10>": { "<9,10,1>": "0x56800080", "<9,10,2>": "0x" }, "<9,11>": { "<9,11,1>": "0x0", "<9,11,2>": "0x80000000" }, "<9,12>": "9", "<9,13>": "-2", "<9,14>": "0", "<9,15>": { "<9,15,1>": { "<9,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<9,15,1,2>": "-11", "<9,15,1,3>": "700", "<9,15,1,4>": "0", "<9,15,1,5>": "0", "<9,15,1,6>": "0", "<9,15,1,7>": "0", "<9,15,1,8>": "34", "<9,15,1,9>": "0", "<9,15,1,10>": "1", "<9,15,1,11>": "2", "<9,15,1,12>": "1", "<9,15,1,13>": "0", "<9,15,1,14>": "0" } }, "<9,16>": "", "<9,17>": "", "<9,18>": { "<9,18,1>": { "<9,18,1,1>": "R", "<9,18,1,2>": "EXECUTE", "<9,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.S_OFFSET", "<9,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<9,18,1,5>": "", "<9,18,1,6>": "" }, "<9,18,2>": "" }, "<9,19>": { "<9,19,1>": "HELP", "<9,19,2>": "" }, "<9,20>": "", "<9,21>": "", "<9,22>": "", "<9,23>": "", "<9,24>": "", "<9,25>": "0", "<9,26>": "0", "<9,27>": "", "<9,28>": "(MD0)", "<9,29>": "MD0", "<9,30>": "<>", "<9,31>": "0", "<9,32>": { "<9,32,1>": "0x7fffe", "<9,32,2>": "0xc0012908" }, "<9,33>": "", "<9,34>": "", "<9,35>": "", "<9,36>": "", "<9,37>": "", "<9,38>": "", "<9,39>": "", "<9,40>": "", "<9,41>": "", "<9,42>": "", "<9,43>": "", "<9,44>": "", "<9,45>": "", "<9,46>": "", "<9,47>": "", "<9,48>": "", "<9,49>": "" }, "<10>": { "<10,1>": "R_OFFSET", "<10,2>": "", "<10,3>": "EDITFIELD", "<10,4>": "RDS_RECIPE", "<10,5>": "271", "<10,6>": "239", "<10,7>": "65", "<10,8>": "21", "<10,9>": "", "<10,10>": { "<10,10,1>": "0x56800080", "<10,10,2>": "0x" }, "<10,11>": { "<10,11,1>": "0x0", "<10,11,2>": "0x80000000" }, "<10,12>": "10", "<10,13>": "-2", "<10,14>": "0", "<10,15>": { "<10,15,1>": { "<10,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<10,15,1,2>": "-11", "<10,15,1,3>": "700", "<10,15,1,4>": "0", "<10,15,1,5>": "0", "<10,15,1,6>": "0", "<10,15,1,7>": "0", "<10,15,1,8>": "34", "<10,15,1,9>": "0", "<10,15,1,10>": "1", "<10,15,1,11>": "2", "<10,15,1,12>": "1", "<10,15,1,13>": "0", "<10,15,1,14>": "0" } }, "<10,16>": "", "<10,17>": "", "<10,18>": { "<10,18,1>": { "<10,18,1,1>": "R", "<10,18,1,2>": "EXECUTE", "<10,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.R_OFFSET", "<10,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<10,18,1,5>": "", "<10,18,1,6>": "" }, "<10,18,2>": "" }, "<10,19>": { "<10,19,1>": "HELP", "<10,19,2>": "" }, "<10,20>": "", "<10,21>": "", "<10,22>": "", "<10,23>": "", "<10,24>": "", "<10,25>": "0", "<10,26>": "0", "<10,27>": "", "<10,28>": "(MD0)", "<10,29>": "MD0", "<10,30>": "<>", "<10,31>": "0", "<10,32>": { "<10,32,1>": "0x7fffe", "<10,32,2>": "0xc0012908" }, "<10,33>": "", "<10,34>": "", "<10,35>": "", "<10,36>": "", "<10,37>": "", "<10,38>": "", "<10,39>": "", "<10,40>": "", "<10,41>": "", "<10,42>": "", "<10,43>": "", "<10,44>": "", "<10,45>": "", "<10,46>": "", "<10,47>": "", "<10,48>": "", "<10,49>": "" }, "<11>": { "<11,1>": "BUTTON_1", "<11,2>": "", "<11,3>": "PUSHBUTTON", "<11,4>": "RDS_RECIPE", "<11,5>": "341", "<11,6>": "6", "<11,7>": "60", "<11,8>": "25", "<11,9>": "Save", "<11,10>": { "<11,10,1>": "0x56000000", "<11,10,2>": "0x" }, "<11,11>": { "<11,11,1>": "0x100", "<11,11,2>": "0x80000000" }, "<11,12>": "11", "<11,13>": "-2", "<11,14>": "0", "<11,15>": { "<11,15,1>": { "<11,15,1,1>": "MS Dialog", "<11,15,1,2>": "-11", "<11,15,1,3>": "700", "<11,15,1,4>": "0", "<11,15,1,5>": "0", "<11,15,1,6>": "0", "<11,15,1,7>": "0", "<11,15,1,8>": "34", "<11,15,1,9>": "0", "<11,15,1,10>": "1", "<11,15,1,11>": "2", "<11,15,1,12>": "1", "<11,15,1,13>": "0", "<11,15,1,14>": "0" } }, "<11,16>": "", "<11,17>": "CLICK", "<11,18>": "", "<11,19>": "", "<11,20>": "", "<11,21>": "", "<11,22>": "", "<11,23>": "", "<11,24>": "", "<11,25>": "0", "<11,26>": "0", "<11,27>": "", "<11,28>": "<>", "<11,29>": "<>", "<11,30>": "<>", "<11,31>": "0", "<11,32>": { "<11,32,1>": "0x7fffe", "<11,32,2>": "0xf0016508" }, "<11,33>": "", "<11,34>": "", "<11,35>": "", "<11,36>": "", "<11,37>": "", "<11,38>": "", "<11,39>": "", "<11,40>": "0", "<11,41>": "", "<11,42>": "", "<11,43>": "", "<11,44>": "", "<11,45>": "", "<11,46>": "", "<11,47>": "", "<11,48>": "", "<11,49>": "", "<11,50>": "", "<11,51>": "" }, "<12>": { "<12,1>": "BUTTON_2", "<12,2>": "", "<12,3>": "PUSHBUTTON", "<12,4>": "RDS_RECIPE", "<12,5>": "402", "<12,6>": "6", "<12,7>": "60", "<12,8>": "25", "<12,9>": "Cancel", "<12,10>": { "<12,10,1>": "0x56000000", "<12,10,2>": "0x" }, "<12,11>": { "<12,11,1>": "0x0", "<12,11,2>": "0x80000000" }, "<12,12>": "12", "<12,13>": "-2", "<12,14>": "0", "<12,15>": { "<12,15,1>": { "<12,15,1,1>": "MS Dialog", "<12,15,1,2>": "-11", "<12,15,1,3>": "700", "<12,15,1,4>": "0", "<12,15,1,5>": "0", "<12,15,1,6>": "0", "<12,15,1,7>": "0", "<12,15,1,8>": "34", "<12,15,1,9>": "0", "<12,15,1,10>": "1", "<12,15,1,11>": "2", "<12,15,1,12>": "1", "<12,15,1,13>": "0", "<12,15,1,14>": "0" } }, "<12,16>": "", "<12,17>": "CLICK", "<12,18>": "", "<12,19>": "", "<12,20>": "", "<12,21>": "", "<12,22>": "", "<12,23>": "", "<12,24>": "", "<12,25>": "0", "<12,26>": "0", "<12,27>": "", "<12,28>": "<>", "<12,29>": "<>", "<12,30>": "<>", "<12,31>": "0", "<12,32>": { "<12,32,1>": "0x7fffe", "<12,32,2>": "0xf0016d08" }, "<12,33>": "", "<12,34>": "", "<12,35>": "", "<12,36>": "", "<12,37>": "", "<12,38>": "", "<12,39>": "", "<12,40>": "0", "<12,41>": "", "<12,42>": "", "<12,43>": "", "<12,44>": "", "<12,45>": "", "<12,46>": "", "<12,47>": "", "<12,48>": "", "<12,49>": "", "<12,50>": "", "<12,51>": "" }, "<13>": { "<13,1>": "BUTTON_3", "<13,2>": "", "<13,3>": "PUSHBUTTON", "<13,4>": "RDS_RECIPE", "<13,5>": "279", "<13,6>": "6", "<13,7>": "60", "<13,8>": "25", "<13,9>": "Override", "<13,10>": { "<13,10,1>": "0x56000000", "<13,10,2>": "0x" }, "<13,11>": { "<13,11,1>": "0x100", "<13,11,2>": "0x80000000" }, "<13,12>": "13", "<13,13>": "-2", "<13,14>": "0", "<13,15>": { "<13,15,1>": { "<13,15,1,1>": "MS Dialog", "<13,15,1,2>": "-11", "<13,15,1,3>": "700", "<13,15,1,4>": "0", "<13,15,1,5>": "0", "<13,15,1,6>": "0", "<13,15,1,7>": "0", "<13,15,1,8>": "34", "<13,15,1,9>": "0", "<13,15,1,10>": "1", "<13,15,1,11>": "2", "<13,15,1,12>": "1", "<13,15,1,13>": "0", "<13,15,1,14>": "0" } }, "<13,16>": "", "<13,17>": "CLICK", "<13,18>": "", "<13,19>": "", "<13,20>": "", "<13,21>": "", "<13,22>": "", "<13,23>": "", "<13,24>": "", "<13,25>": "0", "<13,26>": "0", "<13,27>": "", "<13,28>": "<>", "<13,29>": "<>", "<13,30>": "<>", "<13,31>": "0", "<13,32>": { "<13,32,1>": "0x7fffe", "<13,32,2>": "0xf0016508" }, "<13,33>": "", "<13,34>": "", "<13,35>": "", "<13,36>": "", "<13,37>": "", "<13,38>": "", "<13,39>": "", "<13,40>": "0", "<13,41>": "", "<13,42>": "", "<13,43>": "", "<13,44>": "", "<13,45>": "", "<13,46>": "", "<13,47>": "", "<13,48>": "", "<13,49>": "", "<13,50>": "", "<13,51>": "" }, "<14>": { "<14,1>": "EPI_TEMP", "<14,2>": "", "<14,3>": "EDITFIELD", "<14,4>": "RDS_RECIPE", "<14,5>": "171", "<14,6>": "74", "<14,7>": "50", "<14,8>": "21", "<14,9>": "", "<14,10>": { "<14,10,1>": "0x56800080", "<14,10,2>": "0x" }, "<14,11>": { "<14,11,1>": "0x80000", "<14,11,2>": "0x80000000" }, "<14,12>": "14", "<14,13>": "-2", "<14,14>": "12632256", "<14,15>": { "<14,15,1>": { "<14,15,1,1>": "MS Dialog", "<14,15,1,2>": "-11", "<14,15,1,3>": "700", "<14,15,1,4>": "0", "<14,15,1,5>": "0", "<14,15,1,6>": "0", "<14,15,1,7>": "0", "<14,15,1,8>": "34", "<14,15,1,9>": "0", "<14,15,1,10>": "1", "<14,15,1,11>": "2", "<14,15,1,12>": "1", "<14,15,1,13>": "0", "<14,15,1,14>": "0" } }, "<14,16>": "", "<14,17>": "", "<14,18>": { "<14,18,1>": { "<14,18,1,1>": "R", "<14,18,1,2>": "EXECUTE", "<14,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.TEMP_EPI_GROWTH", "<14,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<14,18,1,5>": "", "<14,18,1,6>": "" }, "<14,18,2>": "" }, "<14,19>": { "<14,19,1>": "HELP", "<14,19,2>": "" }, "<14,20>": "", "<14,21>": "", "<14,22>": "", "<14,23>": "", "<14,24>": "", "<14,25>": "0", "<14,26>": "0", "<14,27>": "", "<14,28>": "(MD0)", "<14,29>": "MD0", "<14,30>": "<>", "<14,31>": "0", "<14,32>": { "<14,32,1>": "0x7fffe", "<14,32,2>": "0xc0012908" }, "<14,33>": "", "<14,34>": "", "<14,35>": "", "<14,36>": "", "<14,37>": "", "<14,38>": "", "<14,39>": "", "<14,40>": "", "<14,41>": "", "<14,42>": "", "<14,43>": "", "<14,44>": "", "<14,45>": "", "<14,46>": "", "<14,47>": "", "<14,48>": "", "<14,49>": "" }, "<15>": { "<15,1>": "EPI_H2_FLOW", "<15,2>": "", "<15,3>": "EDITFIELD", "<15,4>": "RDS_RECIPE", "<15,5>": "71", "<15,6>": "98", "<15,7>": "50", "<15,8>": "21", "<15,9>": "", "<15,10>": { "<15,10,1>": "0x56800080", "<15,10,2>": "0x" }, "<15,11>": { "<15,11,1>": "0x80000", "<15,11,2>": "0x80000000" }, "<15,12>": "15", "<15,13>": "-2", "<15,14>": "12632256", "<15,15>": { "<15,15,1>": { "<15,15,1,1>": "MS Dialog", "<15,15,1,2>": "-11", "<15,15,1,3>": "700", "<15,15,1,4>": "0", "<15,15,1,5>": "0", "<15,15,1,6>": "0", "<15,15,1,7>": "0", "<15,15,1,8>": "34", "<15,15,1,9>": "0", "<15,15,1,10>": "1", "<15,15,1,11>": "2", "<15,15,1,12>": "1", "<15,15,1,13>": "0", "<15,15,1,14>": "0" } }, "<15,16>": "", "<15,17>": "", "<15,18>": { "<15,18,1>": { "<15,18,1,1>": "R", "<15,18,1,2>": "EXECUTE", "<15,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.H2_FLOW_EPI_GROWTH", "<15,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<15,18,1,5>": "", "<15,18,1,6>": "" }, "<15,18,2>": "" }, "<15,19>": { "<15,19,1>": "HELP", "<15,19,2>": "" }, "<15,20>": "", "<15,21>": "", "<15,22>": "", "<15,23>": "", "<15,24>": "", "<15,25>": "0", "<15,26>": "0", "<15,27>": "", "<15,28>": "(MD0)", "<15,29>": "MD0", "<15,30>": "<>", "<15,31>": "0", "<15,32>": { "<15,32,1>": "0x7fffe", "<15,32,2>": "0xc0012908" }, "<15,33>": "", "<15,34>": "", "<15,35>": "", "<15,36>": "", "<15,37>": "", "<15,38>": "", "<15,39>": "", "<15,40>": "", "<15,41>": "", "<15,42>": "", "<15,43>": "", "<15,44>": "", "<15,45>": "", "<15,46>": "", "<15,47>": "", "<15,48>": "", "<15,49>": "" }, "<16>": { "<16,1>": "EPI_DILUENT", "<16,2>": "", "<16,3>": "EDITFIELD", "<16,4>": "RDS_RECIPE", "<16,5>": "65", "<16,6>": "148", "<16,7>": "50", "<16,8>": "21", "<16,9>": "", "<16,10>": { "<16,10,1>": "0x56800080", "<16,10,2>": "0x" }, "<16,11>": { "<16,11,1>": "0x80000", "<16,11,2>": "0x80000000" }, "<16,12>": "16", "<16,13>": "-2", "<16,14>": "12632256", "<16,15>": { "<16,15,1>": { "<16,15,1,1>": "MS Dialog", "<16,15,1,2>": "-11", "<16,15,1,3>": "700", "<16,15,1,4>": "0", "<16,15,1,5>": "0", "<16,15,1,6>": "0", "<16,15,1,7>": "0", "<16,15,1,8>": "34", "<16,15,1,9>": "0", "<16,15,1,10>": "1", "<16,15,1,11>": "2", "<16,15,1,12>": "1", "<16,15,1,13>": "0", "<16,15,1,14>": "0" } }, "<16,16>": "", "<16,17>": "", "<16,18>": { "<16,18,1>": { "<16,18,1,1>": "R", "<16,18,1,2>": "EXECUTE", "<16,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.DILUENT_EPI_GROWTH", "<16,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<16,18,1,5>": "", "<16,18,1,6>": "" }, "<16,18,2>": "" }, "<16,19>": { "<16,19,1>": "HELP", "<16,19,2>": "" }, "<16,20>": "", "<16,21>": "", "<16,22>": "", "<16,23>": "", "<16,24>": "", "<16,25>": "0", "<16,26>": "0", "<16,27>": "", "<16,28>": "(MD2)", "<16,29>": "MD2", "<16,30>": "<>", "<16,31>": "0", "<16,32>": { "<16,32,1>": "0x7fffe", "<16,32,2>": "0xc0012908" }, "<16,33>": "", "<16,34>": "", "<16,35>": "", "<16,36>": "", "<16,37>": "", "<16,38>": "", "<16,39>": "", "<16,40>": "", "<16,41>": "", "<16,42>": "", "<16,43>": "", "<16,44>": "", "<16,45>": "", "<16,46>": "", "<16,47>": "", "<16,48>": "", "<16,49>": "" }, "<17>": { "<17,1>": "EPI_GASES", "<17,2>": "", "<17,3>": "COMBOBOX", "<17,4>": "RDS_RECIPE", "<17,5>": "12", "<17,6>": "185", "<17,7>": "100", "<17,8>": "41", "<17,9>": "", "<17,10>": { "<17,10,1>": "0x5E200002", "<17,10,2>": "0x" }, "<17,11>": { "<17,11,1>": "0x0", "<17,11,2>": "0x80000000" }, "<17,12>": "17", "<17,13>": "-2", "<17,14>": "12632256", "<17,15>": { "<17,15,1>": { "<17,15,1,1>": "MS Dialog", "<17,15,1,2>": "-11", "<17,15,1,3>": "700", "<17,15,1,4>": "0", "<17,15,1,5>": "0", "<17,15,1,6>": "0", "<17,15,1,7>": "0", "<17,15,1,8>": "34", "<17,15,1,9>": "0", "<17,15,1,10>": "1", "<17,15,1,11>": "2", "<17,15,1,12>": "1", "<17,15,1,13>": "0", "<17,15,1,14>": "0" } }, "<17,16>": "", "<17,17>": "", "<17,18>": { "<17,18,1>": { "<17,18,1,1>": "R", "<17,18,1,2>": "EXECUTE", "<17,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.GASES_EPI_GROWTH", "<17,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<17,18,1,5>": "", "<17,18,1,6>": "" }, "<17,18,2>": "" }, "<17,19>": { "<17,19,1>": "HELP", "<17,19,2>": "" }, "<17,20>": "", "<17,21>": "", "<17,22>": "", "<17,23>": "", "<17,24>": "", "<17,25>": "0", "<17,26>": "0", "<17,27>": "", "<17,28>": "<>", "<17,29>": "<>", "<17,30>": "<>", "<17,31>": "0", "<17,32>": { "<17,32,1>": "0x7fffe", "<17,32,2>": "0xc0012988" }, "<17,33>": "", "<17,34>": "", "<17,35>": "", "<17,36>": "", "<17,37>": "", "<17,38>": "", "<17,39>": "", "<17,40>": "", "<17,41>": "", "<17,42>": "" }, "<18>": { "<18,1>": "EPI_GAS_RATE", "<18,2>": "", "<18,3>": "EDITFIELD", "<18,4>": "RDS_RECIPE", "<18,5>": "117", "<18,6>": "185", "<18,7>": "41", "<18,8>": "21", "<18,9>": "", "<18,10>": { "<18,10,1>": "0x56800080", "<18,10,2>": "0x" }, "<18,11>": { "<18,11,1>": "0x80000", "<18,11,2>": "0x80000000" }, "<18,12>": "18", "<18,13>": "-2", "<18,14>": "12632256", "<18,15>": { "<18,15,1>": { "<18,15,1,1>": "MS Dialog", "<18,15,1,2>": "-11", "<18,15,1,3>": "700", "<18,15,1,4>": "0", "<18,15,1,5>": "0", "<18,15,1,6>": "0", "<18,15,1,7>": "0", "<18,15,1,8>": "34", "<18,15,1,9>": "0", "<18,15,1,10>": "1", "<18,15,1,11>": "2", "<18,15,1,12>": "1", "<18,15,1,13>": "0", "<18,15,1,14>": "0" } }, "<18,16>": "", "<18,17>": "", "<18,18>": { "<18,18,1>": { "<18,18,1,1>": "R", "<18,18,1,2>": "EXECUTE", "<18,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.GASES_RATE_EPI_GROW", "<18,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<18,18,1,5>": "", "<18,18,1,6>": "" }, "<18,18,2>": "" }, "<18,19>": { "<18,19,1>": "HELP", "<18,19,2>": "" }, "<18,20>": "", "<18,21>": "", "<18,22>": "", "<18,23>": "", "<18,24>": "", "<18,25>": "0", "<18,26>": "0", "<18,27>": "", "<18,28>": "(MD2)", "<18,29>": "MD2", "<18,30>": "<>", "<18,31>": "0", "<18,32>": { "<18,32,1>": "0x7fffe", "<18,32,2>": "0xc0012908" }, "<18,33>": "", "<18,34>": "", "<18,35>": "", "<18,36>": "", "<18,37>": "", "<18,38>": "", "<18,39>": "", "<18,40>": "", "<18,41>": "", "<18,42>": "", "<18,43>": "", "<18,44>": "", "<18,45>": "", "<18,46>": "", "<18,47>": "", "<18,48>": "", "<18,49>": "" }, "<19>": { "<19,1>": "EPI_GASUNITS", "<19,2>": "", "<19,3>": "COMBOBOX", "<19,4>": "RDS_RECIPE", "<19,5>": "163", "<19,6>": "186", "<19,7>": "60", "<19,8>": "60", "<19,9>": "", "<19,10>": { "<19,10,1>": "0x5E200002", "<19,10,2>": "0x" }, "<19,11>": { "<19,11,1>": "0x0", "<19,11,2>": "0x80000000" }, "<19,12>": "19", "<19,13>": "-2", "<19,14>": "12632256", "<19,15>": { "<19,15,1>": { "<19,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<19,15,1,2>": "-11", "<19,15,1,3>": "700", "<19,15,1,4>": "0", "<19,15,1,5>": "0", "<19,15,1,6>": "0", "<19,15,1,7>": "0", "<19,15,1,8>": "34", "<19,15,1,9>": "0", "<19,15,1,10>": "1", "<19,15,1,11>": "2", "<19,15,1,12>": "1", "<19,15,1,13>": "0", "<19,15,1,14>": "0" } }, "<19,16>": "", "<19,17>": "", "<19,18>": { "<19,18,1>": { "<19,18,1,1>": "R", "<19,18,1,2>": "EXECUTE", "<19,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.GASES_UNIT_EPI_GROW", "<19,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<19,18,1,5>": "", "<19,18,1,6>": "" }, "<19,18,2>": "" }, "<19,19>": { "<19,19,1>": "HELP", "<19,19,2>": "" }, "<19,20>": "", "<19,21>": "", "<19,22>": "", "<19,23>": "", "<19,24>": "", "<19,25>": "0", "<19,26>": "0", "<19,27>": "", "<19,28>": "<>", "<19,29>": "<>", "<19,30>": "<>", "<19,31>": "0", "<19,32>": { "<19,32,1>": "0x7fffe", "<19,32,2>": "0xf0012988" }, "<19,33>": "", "<19,34>": "", "<19,35>": "", "<19,36>": "", "<19,37>": "", "<19,38>": "", "<19,39>": "", "<19,40>": "", "<19,41>": "", "<19,42>": "" }, "<20>": { "<20,1>": "BAKE_TIME", "<20,2>": "", "<20,3>": "EDITFIELD", "<20,4>": "RDS_RECIPE", "<20,5>": "283", "<20,6>": "56", "<20,7>": "50", "<20,8>": "21", "<20,9>": "", "<20,10>": { "<20,10,1>": "0x56800080", "<20,10,2>": "0x" }, "<20,11>": { "<20,11,1>": "0x80000", "<20,11,2>": "0x80000000" }, "<20,12>": "20", "<20,13>": "-2", "<20,14>": "12632256", "<20,15>": { "<20,15,1>": { "<20,15,1,1>": "MS Dialog", "<20,15,1,2>": "-11", "<20,15,1,3>": "700", "<20,15,1,4>": "0", "<20,15,1,5>": "0", "<20,15,1,6>": "0", "<20,15,1,7>": "0", "<20,15,1,8>": "34", "<20,15,1,9>": "0", "<20,15,1,10>": "1", "<20,15,1,11>": "2", "<20,15,1,12>": "1", "<20,15,1,13>": "0", "<20,15,1,14>": "0" } }, "<20,16>": "", "<20,17>": "", "<20,18>": { "<20,18,1>": { "<20,18,1,1>": "R", "<20,18,1,2>": "EXECUTE", "<20,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.TIME_BAKE", "<20,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<20,18,1,5>": "", "<20,18,1,6>": "" }, "<20,18,2>": "" }, "<20,19>": { "<20,19,1>": "HELP", "<20,19,2>": "" }, "<20,20>": "", "<20,21>": "", "<20,22>": "", "<20,23>": "", "<20,24>": "", "<20,25>": "0", "<20,26>": "0", "<20,27>": "", "<20,28>": "[SECONDS_CONV]", "<20,29>": "[SECONDS_CONV]", "<20,30>": "<>", "<20,31>": "0", "<20,32>": { "<20,32,1>": "0x7fffe", "<20,32,2>": "0xc0012908" }, "<20,33>": "", "<20,34>": "", "<20,35>": "", "<20,36>": "", "<20,37>": "", "<20,38>": "", "<20,39>": "", "<20,40>": "", "<20,41>": "", "<20,42>": "", "<20,43>": "", "<20,44>": "", "<20,45>": "", "<20,46>": "", "<20,47>": "", "<20,48>": "", "<20,49>": "" }, "<21>": { "<21,1>": "BAKE_TEMP", "<21,2>": "", "<21,3>": "EDITFIELD", "<21,4>": "RDS_RECIPE", "<21,5>": "376", "<21,6>": "56", "<21,7>": "50", "<21,8>": "21", "<21,9>": "", "<21,10>": { "<21,10,1>": "0x56800080", "<21,10,2>": "0x" }, "<21,11>": { "<21,11,1>": "0x80000", "<21,11,2>": "0x80000000" }, "<21,12>": "21", "<21,13>": "-2", "<21,14>": "12632256", "<21,15>": { "<21,15,1>": { "<21,15,1,1>": "MS Dialog", "<21,15,1,2>": "-11", "<21,15,1,3>": "700", "<21,15,1,4>": "0", "<21,15,1,5>": "0", "<21,15,1,6>": "0", "<21,15,1,7>": "0", "<21,15,1,8>": "34", "<21,15,1,9>": "0", "<21,15,1,10>": "1", "<21,15,1,11>": "2", "<21,15,1,12>": "1", "<21,15,1,13>": "0", "<21,15,1,14>": "0" } }, "<21,16>": "", "<21,17>": "", "<21,18>": { "<21,18,1>": { "<21,18,1,1>": "R", "<21,18,1,2>": "EXECUTE", "<21,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.TEMP_BAKE", "<21,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<21,18,1,5>": "", "<21,18,1,6>": "" }, "<21,18,2>": "" }, "<21,19>": { "<21,19,1>": "HELP", "<21,19,2>": "" }, "<21,20>": "", "<21,21>": "", "<21,22>": "", "<21,23>": "", "<21,24>": "", "<21,25>": "0", "<21,26>": "0", "<21,27>": "", "<21,28>": "(MD0)", "<21,29>": "MD0", "<21,30>": "<>", "<21,31>": "0", "<21,32>": { "<21,32,1>": "0x7fffe", "<21,32,2>": "0xc0012908" }, "<21,33>": "", "<21,34>": "", "<21,35>": "", "<21,36>": "", "<21,37>": "", "<21,38>": "", "<21,39>": "", "<21,40>": "", "<21,41>": "", "<21,42>": "", "<21,43>": "", "<21,44>": "", "<21,45>": "", "<21,46>": "", "<21,47>": "", "<21,48>": "", "<21,49>": "" }, "<22>": { "<22,1>": "BAKE_H2", "<22,2>": "", "<22,3>": "EDITFIELD", "<22,4>": "RDS_RECIPE", "<22,5>": "302", "<22,6>": "83", "<22,7>": "50", "<22,8>": "21", "<22,9>": "", "<22,10>": { "<22,10,1>": "0x56800080", "<22,10,2>": "0x" }, "<22,11>": { "<22,11,1>": "0x80000", "<22,11,2>": "0x80000000" }, "<22,12>": "22", "<22,13>": "-2", "<22,14>": "12632256", "<22,15>": { "<22,15,1>": { "<22,15,1,1>": "MS Dialog", "<22,15,1,2>": "-11", "<22,15,1,3>": "700", "<22,15,1,4>": "0", "<22,15,1,5>": "0", "<22,15,1,6>": "0", "<22,15,1,7>": "0", "<22,15,1,8>": "34", "<22,15,1,9>": "0", "<22,15,1,10>": "1", "<22,15,1,11>": "2", "<22,15,1,12>": "1", "<22,15,1,13>": "0", "<22,15,1,14>": "0" } }, "<22,16>": "", "<22,17>": "", "<22,18>": { "<22,18,1>": { "<22,18,1,1>": "R", "<22,18,1,2>": "EXECUTE", "<22,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.H2_BAKE", "<22,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<22,18,1,5>": "", "<22,18,1,6>": "" }, "<22,18,2>": "" }, "<22,19>": { "<22,19,1>": "HELP", "<22,19,2>": "" }, "<22,20>": "", "<22,21>": "", "<22,22>": "", "<22,23>": "", "<22,24>": "", "<22,25>": "0", "<22,26>": "0", "<22,27>": "", "<22,28>": "(MD0)", "<22,29>": "MD0", "<22,30>": "<>", "<22,31>": "0", "<22,32>": { "<22,32,1>": "0x7fffe", "<22,32,2>": "0xc0012908" }, "<22,33>": "", "<22,34>": "", "<22,35>": "", "<22,36>": "", "<22,37>": "", "<22,38>": "", "<22,39>": "", "<22,40>": "", "<22,41>": "", "<22,42>": "", "<22,43>": "", "<22,44>": "", "<22,45>": "", "<22,46>": "", "<22,47>": "", "<22,48>": "", "<22,49>": "" }, "<23>": { "<23,1>": "BAKE_SUSC_ROT", "<23,2>": "", "<23,3>": "EDITFIELD", "<23,4>": "RDS_RECIPE", "<23,5>": "367", "<23,6>": "105", "<23,7>": "50", "<23,8>": "21", "<23,9>": "", "<23,10>": { "<23,10,1>": "0x56800080", "<23,10,2>": "0x" }, "<23,11>": { "<23,11,1>": "0x80000", "<23,11,2>": "0x80000000" }, "<23,12>": "23", "<23,13>": "-2", "<23,14>": "12632256", "<23,15>": { "<23,15,1>": { "<23,15,1,1>": "MS Dialog", "<23,15,1,2>": "-11", "<23,15,1,3>": "700", "<23,15,1,4>": "0", "<23,15,1,5>": "0", "<23,15,1,6>": "0", "<23,15,1,7>": "0", "<23,15,1,8>": "34", "<23,15,1,9>": "0", "<23,15,1,10>": "1", "<23,15,1,11>": "2", "<23,15,1,12>": "1", "<23,15,1,13>": "0", "<23,15,1,14>": "0" } }, "<23,16>": "", "<23,17>": "", "<23,18>": { "<23,18,1>": { "<23,18,1,1>": "R", "<23,18,1,2>": "EXECUTE", "<23,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.SUSCEPTOR_ROTATION", "<23,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<23,18,1,5>": "", "<23,18,1,6>": "" }, "<23,18,2>": "" }, "<23,19>": { "<23,19,1>": "HELP", "<23,19,2>": "" }, "<23,20>": "", "<23,21>": "", "<23,22>": "", "<23,23>": "", "<23,24>": "", "<23,25>": "0", "<23,26>": "0", "<23,27>": "", "<23,28>": "(MD0)", "<23,29>": "MD0", "<23,30>": "<>", "<23,31>": "0", "<23,32>": { "<23,32,1>": "0x7fffe", "<23,32,2>": "0xc0012908" }, "<23,33>": "", "<23,34>": "", "<23,35>": "", "<23,36>": "", "<23,37>": "", "<23,38>": "", "<23,39>": "", "<23,40>": "", "<23,41>": "", "<23,42>": "", "<23,43>": "", "<23,44>": "", "<23,45>": "", "<23,46>": "", "<23,47>": "", "<23,48>": "", "<23,49>": "" }, "<24>": { "<24,1>": "ETCH_TIME", "<24,2>": "", "<24,3>": "EDITFIELD", "<24,4>": "RDS_RECIPE", "<24,5>": "282", "<24,6>": "157", "<24,7>": "50", "<24,8>": "21", "<24,9>": "", "<24,10>": { "<24,10,1>": "0x56800080", "<24,10,2>": "0x" }, "<24,11>": { "<24,11,1>": "0x80000", "<24,11,2>": "0x80000000" }, "<24,12>": "24", "<24,13>": "-2", "<24,14>": "12632256", "<24,15>": { "<24,15,1>": { "<24,15,1,1>": "MS Dialog", "<24,15,1,2>": "-11", "<24,15,1,3>": "700", "<24,15,1,4>": "0", "<24,15,1,5>": "0", "<24,15,1,6>": "0", "<24,15,1,7>": "0", "<24,15,1,8>": "34", "<24,15,1,9>": "0", "<24,15,1,10>": "1", "<24,15,1,11>": "2", "<24,15,1,12>": "1", "<24,15,1,13>": "0", "<24,15,1,14>": "0" } }, "<24,16>": "", "<24,17>": "", "<24,18>": { "<24,18,1>": { "<24,18,1,1>": "R", "<24,18,1,2>": "EXECUTE", "<24,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.TIME_WAFER_ETCH", "<24,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<24,18,1,5>": "", "<24,18,1,6>": "" }, "<24,18,2>": "" }, "<24,19>": { "<24,19,1>": "HELP", "<24,19,2>": "" }, "<24,20>": "", "<24,21>": "", "<24,22>": "", "<24,23>": "", "<24,24>": "", "<24,25>": "0", "<24,26>": "0", "<24,27>": "", "<24,28>": "[SECONDS_CONV]", "<24,29>": "[SECONDS_CONV]", "<24,30>": "<>", "<24,31>": "0", "<24,32>": { "<24,32,1>": "0x7fffe", "<24,32,2>": "0xc0012908" }, "<24,33>": "", "<24,34>": "", "<24,35>": "", "<24,36>": "", "<24,37>": "", "<24,38>": "", "<24,39>": "", "<24,40>": "", "<24,41>": "", "<24,42>": "", "<24,43>": "", "<24,44>": "", "<24,45>": "", "<24,46>": "", "<24,47>": "", "<24,48>": "", "<24,49>": "" }, "<25>": { "<25,1>": "ETCH_TEMP", "<25,2>": "", "<25,3>": "EDITFIELD", "<25,4>": "RDS_RECIPE", "<25,5>": "376", "<25,6>": "157", "<25,7>": "50", "<25,8>": "21", "<25,9>": "", "<25,10>": { "<25,10,1>": "0x56800080", "<25,10,2>": "0x" }, "<25,11>": { "<25,11,1>": "0x80000", "<25,11,2>": "0x80000000" }, "<25,12>": "25", "<25,13>": "-2", "<25,14>": "12632256", "<25,15>": { "<25,15,1>": { "<25,15,1,1>": "MS Dialog", "<25,15,1,2>": "-11", "<25,15,1,3>": "700", "<25,15,1,4>": "0", "<25,15,1,5>": "0", "<25,15,1,6>": "0", "<25,15,1,7>": "0", "<25,15,1,8>": "34", "<25,15,1,9>": "0", "<25,15,1,10>": "1", "<25,15,1,11>": "2", "<25,15,1,12>": "1", "<25,15,1,13>": "0", "<25,15,1,14>": "0" } }, "<25,16>": "", "<25,17>": "", "<25,18>": { "<25,18,1>": { "<25,18,1,1>": "R", "<25,18,1,2>": "EXECUTE", "<25,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.TEMP_WAFER_ETCH", "<25,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<25,18,1,5>": "", "<25,18,1,6>": "" }, "<25,18,2>": "" }, "<25,19>": { "<25,19,1>": "HELP", "<25,19,2>": "" }, "<25,20>": "", "<25,21>": "", "<25,22>": "", "<25,23>": "", "<25,24>": "", "<25,25>": "0", "<25,26>": "0", "<25,27>": "", "<25,28>": "(MD0)", "<25,29>": "MD0", "<25,30>": "<>", "<25,31>": "0", "<25,32>": { "<25,32,1>": "0x7fffe", "<25,32,2>": "0xc0012908" }, "<25,33>": "", "<25,34>": "", "<25,35>": "", "<25,36>": "", "<25,37>": "", "<25,38>": "", "<25,39>": "", "<25,40>": "", "<25,41>": "", "<25,42>": "", "<25,43>": "", "<25,44>": "", "<25,45>": "", "<25,46>": "", "<25,47>": "", "<25,48>": "", "<25,49>": "" }, "<26>": { "<26,1>": "ETCH_H2", "<26,2>": "", "<26,3>": "EDITFIELD", "<26,4>": "RDS_RECIPE", "<26,5>": "302", "<26,6>": "185", "<26,7>": "49", "<26,8>": "21", "<26,9>": "", "<26,10>": { "<26,10,1>": "0x56800080", "<26,10,2>": "0x" }, "<26,11>": { "<26,11,1>": "0x80000", "<26,11,2>": "0x80000000" }, "<26,12>": "26", "<26,13>": "-2", "<26,14>": "12632256", "<26,15>": { "<26,15,1>": { "<26,15,1,1>": "MS Dialog", "<26,15,1,2>": "-11", "<26,15,1,3>": "700", "<26,15,1,4>": "0", "<26,15,1,5>": "0", "<26,15,1,6>": "0", "<26,15,1,7>": "0", "<26,15,1,8>": "34", "<26,15,1,9>": "0", "<26,15,1,10>": "1", "<26,15,1,11>": "2", "<26,15,1,12>": "1", "<26,15,1,13>": "0", "<26,15,1,14>": "0" } }, "<26,16>": "", "<26,17>": "", "<26,18>": { "<26,18,1>": { "<26,18,1,1>": "R", "<26,18,1,2>": "EXECUTE", "<26,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.H2_WAFER_ETCH", "<26,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<26,18,1,5>": "", "<26,18,1,6>": "" }, "<26,18,2>": "" }, "<26,19>": { "<26,19,1>": "HELP", "<26,19,2>": "" }, "<26,20>": "", "<26,21>": "", "<26,22>": "", "<26,23>": "", "<26,24>": "", "<26,25>": "0", "<26,26>": "0", "<26,27>": "", "<26,28>": "(MD0)", "<26,29>": "MD0", "<26,30>": "<>", "<26,31>": "0", "<26,32>": { "<26,32,1>": "0x7fffe", "<26,32,2>": "0xc0012908" }, "<26,33>": "", "<26,34>": "", "<26,35>": "", "<26,36>": "", "<26,37>": "", "<26,38>": "", "<26,39>": "", "<26,40>": "", "<26,41>": "", "<26,42>": "", "<26,43>": "", "<26,44>": "", "<26,45>": "", "<26,46>": "", "<26,47>": "", "<26,48>": "", "<26,49>": "" }, "<27>": { "<27,1>": "ETCH_HCL", "<27,2>": "", "<27,3>": "EDITFIELD", "<27,4>": "RDS_RECIPE", "<27,5>": "395", "<27,6>": "184", "<27,7>": "50", "<27,8>": "21", "<27,9>": "", "<27,10>": { "<27,10,1>": "0x56800080", "<27,10,2>": "0x" }, "<27,11>": { "<27,11,1>": "0x80000", "<27,11,2>": "0x80000000" }, "<27,12>": "27", "<27,13>": "-2", "<27,14>": "12632256", "<27,15>": { "<27,15,1>": { "<27,15,1,1>": "MS Dialog", "<27,15,1,2>": "-11", "<27,15,1,3>": "700", "<27,15,1,4>": "0", "<27,15,1,5>": "0", "<27,15,1,6>": "0", "<27,15,1,7>": "0", "<27,15,1,8>": "34", "<27,15,1,9>": "0", "<27,15,1,10>": "1", "<27,15,1,11>": "2", "<27,15,1,12>": "1", "<27,15,1,13>": "0", "<27,15,1,14>": "0" } }, "<27,16>": "", "<27,17>": "", "<27,18>": { "<27,18,1>": { "<27,18,1,1>": "R", "<27,18,1,2>": "EXECUTE", "<27,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.HCL_WAFER_ETCH", "<27,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<27,18,1,5>": "", "<27,18,1,6>": "" }, "<27,18,2>": "" }, "<27,19>": { "<27,19,1>": "HELP", "<27,19,2>": "" }, "<27,20>": "", "<27,21>": "", "<27,22>": "", "<27,23>": "", "<27,24>": "", "<27,25>": "0", "<27,26>": "0", "<27,27>": "", "<27,28>": "(MD2)", "<27,29>": "MD2", "<27,30>": "<>", "<27,31>": "0", "<27,32>": { "<27,32,1>": "0x7fffe", "<27,32,2>": "0xc0012908" }, "<27,33>": "", "<27,34>": "", "<27,35>": "", "<27,36>": "", "<27,37>": "", "<27,38>": "", "<27,39>": "", "<27,40>": "", "<27,41>": "", "<27,42>": "", "<27,43>": "", "<27,44>": "", "<27,45>": "", "<27,46>": "", "<27,47>": "", "<27,48>": "", "<27,49>": "" }, "<28>": { "<28,1>": "EPI_DOPANT", "<28,2>": "", "<28,3>": "COMBOBOX", "<28,4>": "RDS_RECIPE", "<28,5>": "60", "<28,6>": "51", "<28,7>": "128", "<28,8>": "60", "<28,9>": "", "<28,10>": { "<28,10,1>": "0x5E200002", "<28,10,2>": "0x" }, "<28,11>": { "<28,11,1>": "0x0", "<28,11,2>": "0x80000000" }, "<28,12>": "28", "<28,13>": "-2", "<28,14>": "12632256", "<28,15>": { "<28,15,1>": { "<28,15,1,1>": "MS Dialog", "<28,15,1,2>": "-11", "<28,15,1,3>": "700", "<28,15,1,4>": "0", "<28,15,1,5>": "0", "<28,15,1,6>": "0", "<28,15,1,7>": "0", "<28,15,1,8>": "34", "<28,15,1,9>": "0", "<28,15,1,10>": "1", "<28,15,1,11>": "2", "<28,15,1,12>": "1", "<28,15,1,13>": "0", "<28,15,1,14>": "0" } }, "<28,16>": "", "<28,17>": "", "<28,18>": { "<28,18,1>": { "<28,18,1,1>": "R", "<28,18,1,2>": "EXECUTE", "<28,18,1,3>": "LSL2*APPNOTE**RDS_RECIPE.DOPANT", "<28,18,1,4>": "RDS_RECIPE", "<28,18,1,5>": "", "<28,18,1,6>": "" }, "<28,18,2>": "" }, "<28,19>": { "<28,19,1>": "HELP", "<28,19,2>": "" }, "<28,20>": "", "<28,21>": "", "<28,22>": "", "<28,23>": "", "<28,24>": "", "<28,25>": "0", "<28,26>": "0", "<28,27>": "", "<28,28>": "<>", "<28,29>": "<>", "<28,30>": "<>", "<28,31>": "0", "<28,32>": { "<28,32,1>": "0x7fffe", "<28,32,2>": "0xc0012188" }, "<28,33>": "", "<28,34>": "", "<28,35>": "", "<28,36>": "", "<28,37>": "", "<28,38>": "", "<28,39>": "", "<28,40>": "", "<28,41>": "", "<28,42>": "" }, "<29>": { "<29,1>": "RECIPE_NO", "<29,2>": "", "<29,3>": "EDITFIELD", "<29,4>": "RDS_RECIPE", "<29,5>": "35", "<29,6>": "11", "<29,7>": "51", "<29,8>": "21", "<29,9>": "", "<29,10>": { "<29,10,1>": "0x56800080", "<29,10,2>": "0x" }, "<29,11>": { "<29,11,1>": "0x80000", "<29,11,2>": "0x80000000" }, "<29,12>": "29", "<29,13>": "-2", "<29,14>": "12632256", "<29,15>": { "<29,15,1>": { "<29,15,1,1>": "MS Dialog", "<29,15,1,2>": "-11", "<29,15,1,3>": "700", "<29,15,1,4>": "0", "<29,15,1,5>": "0", "<29,15,1,6>": "0", "<29,15,1,7>": "0", "<29,15,1,8>": "34", "<29,15,1,9>": "0", "<29,15,1,10>": "1", "<29,15,1,11>": "2", "<29,15,1,12>": "1", "<29,15,1,13>": "0", "<29,15,1,14>": "0" } }, "<29,16>": "", "<29,17>": "", "<29,18>": "", "<29,19>": "", "<29,20>": "", "<29,21>": "", "<29,22>": "", "<29,23>": "", "<29,24>": "", "<29,25>": "0", "<29,26>": "0", "<29,27>": "", "<29,28>": "<>", "<29,29>": "<>", "<29,30>": "<>", "<29,31>": "0", "<29,32>": { "<29,32,1>": "0x7fffe", "<29,32,2>": "0xc0012108" }, "<29,33>": "", "<29,34>": "", "<29,35>": "", "<29,36>": "", "<29,37>": "", "<29,38>": "", "<29,39>": "", "<29,40>": "", "<29,41>": "", "<29,42>": "", "<29,43>": "", "<29,44>": "", "<29,45>": "", "<29,46>": "", "<29,47>": "", "<29,48>": "", "<29,49>": "" }, "<30>": { "<30,1>": "TEXT_14", "<30,2>": "", "<30,3>": "STATIC", "<30,4>": "RDS_RECIPE", "<30,5>": "8", "<30,6>": "13", "<30,7>": "23", "<30,8>": "17", "<30,9>": "No:\r\n", "<30,10>": { "<30,10,1>": "0x56000000", "<30,10,2>": "0x" }, "<30,11>": { "<30,11,1>": "0x0", "<30,11,2>": "0x80000000" }, "<30,12>": "30", "<30,13>": "-1", "<30,14>": "0", "<30,15>": { "<30,15,1>": { "<30,15,1,1>": "MS Dialog", "<30,15,1,2>": "-11", "<30,15,1,3>": "700", "<30,15,1,4>": "0", "<30,15,1,5>": "0", "<30,15,1,6>": "0", "<30,15,1,7>": "0", "<30,15,1,8>": "34", "<30,15,1,9>": "0", "<30,15,1,10>": "1", "<30,15,1,11>": "2", "<30,15,1,12>": "1", "<30,15,1,13>": "0", "<30,15,1,14>": "0" } }, "<30,16>": "", "<30,17>": "", "<30,18>": "", "<30,19>": "", "<30,20>": "", "<30,21>": "", "<30,22>": "", "<30,23>": "", "<30,24>": "", "<30,25>": "0", "<30,26>": "0", "<30,27>": "", "<30,28>": "<>", "<30,29>": "<>", "<30,30>": "<>", "<30,31>": "0", "<30,32>": { "<30,32,1>": "0x7fffe", "<30,32,2>": "0xf0016d08" }, "<30,33>": "", "<30,34>": "", "<30,35>": "", "<30,36>": "", "<30,37>": "", "<30,38>": "", "<30,39>": "", "<30,40>": "", "<30,41>": "", "<30,42>": "", "<30,43>": "", "<30,44>": "", "<30,45>": "", "<30,46>": "", "<30,47>": "", "<30,48>": "", "<30,49>": "" }, "<31>": { "<31,1>": "RECIPE_NAME", "<31,2>": "", "<31,3>": "EDITFIELD", "<31,4>": "RDS_RECIPE", "<31,5>": "131", "<31,6>": "10", "<31,7>": "142", "<31,8>": "21", "<31,9>": "", "<31,10>": { "<31,10,1>": "0x56800080", "<31,10,2>": "0x" }, "<31,11>": { "<31,11,1>": "0x80000", "<31,11,2>": "0x80000000" }, "<31,12>": "31", "<31,13>": "-2", "<31,14>": "12632256", "<31,15>": { "<31,15,1>": { "<31,15,1,1>": "MS Dialog", "<31,15,1,2>": "-11", "<31,15,1,3>": "700", "<31,15,1,4>": "0", "<31,15,1,5>": "0", "<31,15,1,6>": "0", "<31,15,1,7>": "0", "<31,15,1,8>": "34", "<31,15,1,9>": "0", "<31,15,1,10>": "1", "<31,15,1,11>": "2", "<31,15,1,12>": "1", "<31,15,1,13>": "0", "<31,15,1,14>": "0" } }, "<31,16>": "", "<31,17>": "", "<31,18>": "", "<31,19>": "", "<31,20>": "", "<31,21>": "", "<31,22>": "", "<31,23>": "", "<31,24>": "", "<31,25>": "0", "<31,26>": "0", "<31,27>": "", "<31,28>": "<>", "<31,29>": "<>", "<31,30>": "<>", "<31,31>": "0", "<31,32>": { "<31,32,1>": "0x7fffe", "<31,32,2>": "0xc0012908" }, "<31,33>": "", "<31,34>": "", "<31,35>": "", "<31,36>": "", "<31,37>": "", "<31,38>": "", "<31,39>": "", "<31,40>": "", "<31,41>": "", "<31,42>": "", "<31,43>": "", "<31,44>": "", "<31,45>": "", "<31,46>": "", "<31,47>": "", "<31,48>": "", "<31,49>": "" }, "<32>": { "<32,1>": "TEXT_15", "<32,2>": "", "<32,3>": "STATIC", "<32,4>": "RDS_RECIPE", "<32,5>": "90", "<32,6>": "12", "<32,7>": "38", "<32,8>": "17", "<32,9>": "Name:", "<32,10>": { "<32,10,1>": "0x56000000", "<32,10,2>": "0x" }, "<32,11>": { "<32,11,1>": "0x0", "<32,11,2>": "0x80000000" }, "<32,12>": "32", "<32,13>": "-1", "<32,14>": "0", "<32,15>": { "<32,15,1>": { "<32,15,1,1>": "MS Dialog", "<32,15,1,2>": "-11", "<32,15,1,3>": "700", "<32,15,1,4>": "0", "<32,15,1,5>": "0", "<32,15,1,6>": "0", "<32,15,1,7>": "0", "<32,15,1,8>": "34", "<32,15,1,9>": "0", "<32,15,1,10>": "1", "<32,15,1,11>": "2", "<32,15,1,12>": "1", "<32,15,1,13>": "0", "<32,15,1,14>": "0" } }, "<32,16>": "", "<32,17>": "", "<32,18>": "", "<32,19>": "", "<32,20>": "", "<32,21>": "", "<32,22>": "", "<32,23>": "", "<32,24>": "", "<32,25>": "0", "<32,26>": "0", "<32,27>": "", "<32,28>": "<>", "<32,29>": "<>", "<32,30>": "<>", "<32,31>": "0", "<32,32>": { "<32,32,1>": "0x7fffe", "<32,32,2>": "0xf0016d08" }, "<32,33>": "", "<32,34>": "", "<32,35>": "", "<32,36>": "", "<32,37>": "", "<32,38>": "", "<32,39>": "", "<32,40>": "", "<32,41>": "", "<32,42>": "", "<32,43>": "", "<32,44>": "", "<32,45>": "", "<32,46>": "", "<32,47>": "", "<32,48>": "", "<32,49>": "" }, "<33>": { "<33,1>": "TEXT_18", "<33,2>": "", "<33,3>": "STATIC", "<33,4>": "RDS_RECIPE", "<33,5>": "13", "<33,6>": "53", "<33,7>": "48", "<33,8>": "17", "<33,9>": "Dopant:\r\n", "<33,10>": { "<33,10,1>": "0x56000000", "<33,10,2>": "0x" }, "<33,11>": { "<33,11,1>": "0x0", "<33,11,2>": "0x80000000" }, "<33,12>": "33", "<33,13>": "-1", "<33,14>": "0", "<33,15>": { "<33,15,1>": { "<33,15,1,1>": "MS Dialog", "<33,15,1,2>": "-11", "<33,15,1,3>": "700", "<33,15,1,4>": "0", "<33,15,1,5>": "0", "<33,15,1,6>": "0", "<33,15,1,7>": "0", "<33,15,1,8>": "34", "<33,15,1,9>": "0", "<33,15,1,10>": "1", "<33,15,1,11>": "2", "<33,15,1,12>": "1", "<33,15,1,13>": "0", "<33,15,1,14>": "0" } }, "<33,16>": "", "<33,17>": "", "<33,18>": "", "<33,19>": "", "<33,20>": "", "<33,21>": "", "<33,22>": "", "<33,23>": "", "<33,24>": "", "<33,25>": "0", "<33,26>": "0", "<33,27>": "", "<33,28>": "<>", "<33,29>": "<>", "<33,30>": "<>", "<33,31>": "0", "<33,32>": { "<33,32,1>": "0x7fffe", "<33,32,2>": "0xf0016d08" }, "<33,33>": "", "<33,34>": "", "<33,35>": "", "<33,36>": "", "<33,37>": "", "<33,38>": "", "<33,39>": "", "<33,40>": "", "<33,41>": "", "<33,42>": "", "<33,43>": "", "<33,44>": "", "<33,45>": "", "<33,46>": "", "<33,47>": "", "<33,48>": "", "<33,49>": "" }, "<34>": { "<34,1>": "TEXT_19", "<34,2>": "", "<34,3>": "STATIC", "<34,4>": "RDS_RECIPE", "<34,5>": "13", "<34,6>": "75", "<34,7>": "32", "<34,8>": "17", "<34,9>": "Time:", "<34,10>": { "<34,10,1>": "0x56000000", "<34,10,2>": "0x" }, "<34,11>": { "<34,11,1>": "0x0", "<34,11,2>": "0x80000000" }, "<34,12>": "34", "<34,13>": "-1", "<34,14>": "0", "<34,15>": { "<34,15,1>": { "<34,15,1,1>": "MS Dialog", "<34,15,1,2>": "-11", "<34,15,1,3>": "700", "<34,15,1,4>": "0", "<34,15,1,5>": "0", "<34,15,1,6>": "0", "<34,15,1,7>": "0", "<34,15,1,8>": "34", "<34,15,1,9>": "0", "<34,15,1,10>": "1", "<34,15,1,11>": "2", "<34,15,1,12>": "1", "<34,15,1,13>": "0", "<34,15,1,14>": "0" } }, "<34,16>": "", "<34,17>": "", "<34,18>": "", "<34,19>": "", "<34,20>": "", "<34,21>": "", "<34,22>": "", "<34,23>": "", "<34,24>": "", "<34,25>": "0", "<34,26>": "0", "<34,27>": "", "<34,28>": "<>", "<34,29>": "<>", "<34,30>": "<>", "<34,31>": "0", "<34,32>": { "<34,32,1>": "0x7fffe", "<34,32,2>": "0xf0016d08" }, "<34,33>": "", "<34,34>": "", "<34,35>": "", "<34,36>": "", "<34,37>": "", "<34,38>": "", "<34,39>": "", "<34,40>": "", "<34,41>": "", "<34,42>": "", "<34,43>": "", "<34,44>": "", "<34,45>": "", "<34,46>": "", "<34,47>": "", "<34,48>": "", "<34,49>": "" }, "<35>": { "<35,1>": "TEXT_20", "<35,2>": "", "<35,3>": "STATIC", "<35,4>": "RDS_RECIPE", "<35,5>": "132", "<35,6>": "76", "<35,7>": "35", "<35,8>": "17", "<35,9>": "Temp:", "<35,10>": { "<35,10,1>": "0x56000000", "<35,10,2>": "0x" }, "<35,11>": { "<35,11,1>": "0x0", "<35,11,2>": "0x80000000" }, "<35,12>": "35", "<35,13>": "-1", "<35,14>": "0", "<35,15>": { "<35,15,1>": { "<35,15,1,1>": "MS Dialog", "<35,15,1,2>": "-11", "<35,15,1,3>": "700", "<35,15,1,4>": "0", "<35,15,1,5>": "0", "<35,15,1,6>": "0", "<35,15,1,7>": "0", "<35,15,1,8>": "34", "<35,15,1,9>": "0", "<35,15,1,10>": "1", "<35,15,1,11>": "2", "<35,15,1,12>": "1", "<35,15,1,13>": "0", "<35,15,1,14>": "0" } }, "<35,16>": "", "<35,17>": "", "<35,18>": "", "<35,19>": "", "<35,20>": "", "<35,21>": "", "<35,22>": "", "<35,23>": "", "<35,24>": "", "<35,25>": "0", "<35,26>": "0", "<35,27>": "", "<35,28>": "<>", "<35,29>": "<>", "<35,30>": "<>", "<35,31>": "0", "<35,32>": { "<35,32,1>": "0x7fffe", "<35,32,2>": "0xf0016d08" }, "<35,33>": "", "<35,34>": "", "<35,35>": "", "<35,36>": "", "<35,37>": "", "<35,38>": "", "<35,39>": "", "<35,40>": "", "<35,41>": "", "<35,42>": "", "<35,43>": "", "<35,44>": "", "<35,45>": "", "<35,46>": "", "<35,47>": "", "<35,48>": "", "<35,49>": "" }, "<36>": { "<36,1>": "TEXT_21", "<36,2>": "", "<36,3>": "STATIC", "<36,4>": "RDS_RECIPE", "<36,5>": "13", "<36,6>": "100", "<36,7>": "50", "<36,8>": "17", "<36,9>": "H2 Flow:\r\n", "<36,10>": { "<36,10,1>": "0x56000000", "<36,10,2>": "0x" }, "<36,11>": { "<36,11,1>": "0x0", "<36,11,2>": "0x80000000" }, "<36,12>": "36", "<36,13>": "-1", "<36,14>": "0", "<36,15>": { "<36,15,1>": { "<36,15,1,1>": "MS Dialog", "<36,15,1,2>": "-11", "<36,15,1,3>": "700", "<36,15,1,4>": "0", "<36,15,1,5>": "0", "<36,15,1,6>": "0", "<36,15,1,7>": "0", "<36,15,1,8>": "34", "<36,15,1,9>": "0", "<36,15,1,10>": "1", "<36,15,1,11>": "2", "<36,15,1,12>": "1", "<36,15,1,13>": "0", "<36,15,1,14>": "0" } }, "<36,16>": "", "<36,17>": "", "<36,18>": "", "<36,19>": "", "<36,20>": "", "<36,21>": "", "<36,22>": "", "<36,23>": "", "<36,24>": "", "<36,25>": "0", "<36,26>": "0", "<36,27>": "", "<36,28>": "<>", "<36,29>": "<>", "<36,30>": "<>", "<36,31>": "0", "<36,32>": { "<36,32,1>": "0x7fffe", "<36,32,2>": "0xf0016d08" }, "<36,33>": "", "<36,34>": "", "<36,35>": "", "<36,36>": "", "<36,37>": "", "<36,38>": "", "<36,39>": "", "<36,40>": "", "<36,41>": "", "<36,42>": "", "<36,43>": "", "<36,44>": "", "<36,45>": "", "<36,46>": "", "<36,47>": "", "<36,48>": "", "<36,49>": "" }, "<37>": { "<37,1>": "TEXT_22", "<37,2>": "", "<37,3>": "STATIC", "<37,4>": "RDS_RECIPE", "<37,5>": "13", "<37,6>": "123", "<37,7>": "43", "<37,8>": "17", "<37,9>": "Source:", "<37,10>": { "<37,10,1>": "0x56000000", "<37,10,2>": "0x" }, "<37,11>": { "<37,11,1>": "0x0", "<37,11,2>": "0x80000000" }, "<37,12>": "37", "<37,13>": "-1", "<37,14>": "0", "<37,15>": { "<37,15,1>": { "<37,15,1,1>": "MS Dialog", "<37,15,1,2>": "-11", "<37,15,1,3>": "700", "<37,15,1,4>": "0", "<37,15,1,5>": "0", "<37,15,1,6>": "0", "<37,15,1,7>": "0", "<37,15,1,8>": "34", "<37,15,1,9>": "0", "<37,15,1,10>": "1", "<37,15,1,11>": "2", "<37,15,1,12>": "1", "<37,15,1,13>": "0", "<37,15,1,14>": "0" } }, "<37,16>": "", "<37,17>": "", "<37,18>": "", "<37,19>": "", "<37,20>": "", "<37,21>": "", "<37,22>": "", "<37,23>": "", "<37,24>": "", "<37,25>": "0", "<37,26>": "0", "<37,27>": "", "<37,28>": "<>", "<37,29>": "<>", "<37,30>": "<>", "<37,31>": "0", "<37,32>": { "<37,32,1>": "0x7fffe", "<37,32,2>": "0xf0016d08" }, "<37,33>": "", "<37,34>": "", "<37,35>": "", "<37,36>": "", "<37,37>": "", "<37,38>": "", "<37,39>": "", "<37,40>": "", "<37,41>": "", "<37,42>": "", "<37,43>": "", "<37,44>": "", "<37,45>": "", "<37,46>": "", "<37,47>": "", "<37,48>": "", "<37,49>": "" }, "<38>": { "<38,1>": "TEXT_23", "<38,2>": "", "<38,3>": "STATIC", "<38,4>": "RDS_RECIPE", "<38,5>": "123", "<38,6>": "124", "<38,7>": "37", "<38,8>": "17", "<38,9>": "Inject:", "<38,10>": { "<38,10,1>": "0x56000000", "<38,10,2>": "0x" }, "<38,11>": { "<38,11,1>": "0x0", "<38,11,2>": "0x80000000" }, "<38,12>": "38", "<38,13>": "-1", "<38,14>": "0", "<38,15>": { "<38,15,1>": { "<38,15,1,1>": "MS Dialog", "<38,15,1,2>": "-11", "<38,15,1,3>": "700", "<38,15,1,4>": "0", "<38,15,1,5>": "0", "<38,15,1,6>": "0", "<38,15,1,7>": "0", "<38,15,1,8>": "34", "<38,15,1,9>": "0", "<38,15,1,10>": "1", "<38,15,1,11>": "2", "<38,15,1,12>": "1", "<38,15,1,13>": "0", "<38,15,1,14>": "0" } }, "<38,16>": "", "<38,17>": "", "<38,18>": "", "<38,19>": "", "<38,20>": "", "<38,21>": "", "<38,22>": "", "<38,23>": "", "<38,24>": "", "<38,25>": "0", "<38,26>": "0", "<38,27>": "", "<38,28>": "<>", "<38,29>": "<>", "<38,30>": "<>", "<38,31>": "0", "<38,32>": { "<38,32,1>": "0x7fffe", "<38,32,2>": "0xf0016d08" }, "<38,33>": "", "<38,34>": "", "<38,35>": "", "<38,36>": "", "<38,37>": "", "<38,38>": "", "<38,39>": "", "<38,40>": "", "<38,41>": "", "<38,42>": "", "<38,43>": "", "<38,44>": "", "<38,45>": "", "<38,46>": "", "<38,47>": "", "<38,48>": "", "<38,49>": "" }, "<39>": { "<39,1>": "TEXT_24", "<39,2>": "", "<39,3>": "STATIC", "<39,4>": "RDS_RECIPE", "<39,5>": "13", "<39,6>": "149", "<39,7>": "45", "<39,8>": "17", "<39,9>": "Diluent:", "<39,10>": { "<39,10,1>": "0x56000000", "<39,10,2>": "0x" }, "<39,11>": { "<39,11,1>": "0x0", "<39,11,2>": "0x80000000" }, "<39,12>": "39", "<39,13>": "-1", "<39,14>": "0", "<39,15>": { "<39,15,1>": { "<39,15,1,1>": "MS Dialog", "<39,15,1,2>": "-11", "<39,15,1,3>": "700", "<39,15,1,4>": "0", "<39,15,1,5>": "0", "<39,15,1,6>": "0", "<39,15,1,7>": "0", "<39,15,1,8>": "34", "<39,15,1,9>": "0", "<39,15,1,10>": "1", "<39,15,1,11>": "2", "<39,15,1,12>": "1", "<39,15,1,13>": "0", "<39,15,1,14>": "0" } }, "<39,16>": "", "<39,17>": "", "<39,18>": "", "<39,19>": "", "<39,20>": "", "<39,21>": "", "<39,22>": "", "<39,23>": "", "<39,24>": "", "<39,25>": "0", "<39,26>": "0", "<39,27>": "", "<39,28>": "<>", "<39,29>": "<>", "<39,30>": "<>", "<39,31>": "0", "<39,32>": { "<39,32,1>": "0x7fffe", "<39,32,2>": "0xf0016d08" }, "<39,33>": "", "<39,34>": "", "<39,35>": "", "<39,36>": "", "<39,37>": "", "<39,38>": "", "<39,39>": "", "<39,40>": "", "<39,41>": "", "<39,42>": "", "<39,43>": "", "<39,44>": "", "<39,45>": "", "<39,46>": "", "<39,47>": "", "<39,48>": "", "<39,49>": "" }, "<40>": { "<40,1>": "TEXT_25", "<40,2>": "", "<40,3>": "STATIC", "<40,4>": "RDS_RECIPE", "<40,5>": "13", "<40,6>": "171", "<40,7>": "42", "<40,8>": "14", "<40,9>": "Gases:", "<40,10>": { "<40,10,1>": "0x56000000", "<40,10,2>": "0x" }, "<40,11>": { "<40,11,1>": "0x0", "<40,11,2>": "0x80000000" }, "<40,12>": "40", "<40,13>": "-1", "<40,14>": "0", "<40,15>": { "<40,15,1>": { "<40,15,1,1>": "MS Dialog", "<40,15,1,2>": "-11", "<40,15,1,3>": "700", "<40,15,1,4>": "0", "<40,15,1,5>": "0", "<40,15,1,6>": "0", "<40,15,1,7>": "0", "<40,15,1,8>": "34", "<40,15,1,9>": "0", "<40,15,1,10>": "1", "<40,15,1,11>": "2", "<40,15,1,12>": "1", "<40,15,1,13>": "0", "<40,15,1,14>": "0" } }, "<40,16>": "", "<40,17>": "", "<40,18>": "", "<40,19>": "", "<40,20>": "", "<40,21>": "", "<40,22>": "", "<40,23>": "", "<40,24>": "", "<40,25>": "0", "<40,26>": "0", "<40,27>": "", "<40,28>": "<>", "<40,29>": "<>", "<40,30>": "<>", "<40,31>": "0", "<40,32>": { "<40,32,1>": "0x7fffe", "<40,32,2>": "0xf0016c08" }, "<40,33>": "", "<40,34>": "", "<40,35>": "", "<40,36>": "", "<40,37>": "", "<40,38>": "", "<40,39>": "", "<40,40>": "", "<40,41>": "", "<40,42>": "", "<40,43>": "", "<40,44>": "", "<40,45>": "", "<40,46>": "", "<40,47>": "", "<40,48>": "", "<40,49>": "" }, "<41>": { "<41,1>": "TEXT_26", "<41,2>": "", "<41,3>": "STATIC", "<41,4>": "RDS_RECIPE", "<41,5>": "118", "<41,6>": "172", "<41,7>": "33", "<41,8>": "14", "<41,9>": "Rate:", "<41,10>": { "<41,10,1>": "0x56000000", "<41,10,2>": "0x" }, "<41,11>": { "<41,11,1>": "0x0", "<41,11,2>": "0x80000000" }, "<41,12>": "41", "<41,13>": "-1", "<41,14>": "0", "<41,15>": { "<41,15,1>": { "<41,15,1,1>": "MS Dialog", "<41,15,1,2>": "-11", "<41,15,1,3>": "700", "<41,15,1,4>": "0", "<41,15,1,5>": "0", "<41,15,1,6>": "0", "<41,15,1,7>": "0", "<41,15,1,8>": "34", "<41,15,1,9>": "0", "<41,15,1,10>": "1", "<41,15,1,11>": "2", "<41,15,1,12>": "1", "<41,15,1,13>": "0", "<41,15,1,14>": "0" } }, "<41,16>": "", "<41,17>": "", "<41,18>": "", "<41,19>": "", "<41,20>": "", "<41,21>": "", "<41,22>": "", "<41,23>": "", "<41,24>": "", "<41,25>": "0", "<41,26>": "0", "<41,27>": "", "<41,28>": "<>", "<41,29>": "<>", "<41,30>": "<>", "<41,31>": "0", "<41,32>": { "<41,32,1>": "0x7fffe", "<41,32,2>": "0xf0016c08" }, "<41,33>": "", "<41,34>": "", "<41,35>": "", "<41,36>": "", "<41,37>": "", "<41,38>": "", "<41,39>": "", "<41,40>": "", "<41,41>": "", "<41,42>": "", "<41,43>": "", "<41,44>": "", "<41,45>": "", "<41,46>": "", "<41,47>": "", "<41,48>": "", "<41,49>": "" }, "<42>": { "<42,1>": "TEXT_27", "<42,2>": "", "<42,3>": "STATIC", "<42,4>": "RDS_RECIPE", "<42,5>": "165", "<42,6>": "171", "<42,7>": "29", "<42,8>": "13", "<42,9>": "Unit:", "<42,10>": { "<42,10,1>": "0x56000000", "<42,10,2>": "0x" }, "<42,11>": { "<42,11,1>": "0x0", "<42,11,2>": "0x80000000" }, "<42,12>": "42", "<42,13>": "-1", "<42,14>": "0", "<42,15>": { "<42,15,1>": { "<42,15,1,1>": "MS Dialog", "<42,15,1,2>": "-11", "<42,15,1,3>": "700", "<42,15,1,4>": "0", "<42,15,1,5>": "0", "<42,15,1,6>": "0", "<42,15,1,7>": "0", "<42,15,1,8>": "34", "<42,15,1,9>": "0", "<42,15,1,10>": "1", "<42,15,1,11>": "2", "<42,15,1,12>": "1", "<42,15,1,13>": "0", "<42,15,1,14>": "0" } }, "<42,16>": "", "<42,17>": "", "<42,18>": "", "<42,19>": "", "<42,20>": "", "<42,21>": "", "<42,22>": "", "<42,23>": "", "<42,24>": "", "<42,25>": "0", "<42,26>": "0", "<42,27>": "", "<42,28>": "<>", "<42,29>": "<>", "<42,30>": "<>", "<42,31>": "0", "<42,32>": { "<42,32,1>": "0x7fffe", "<42,32,2>": "0xf0016c08" }, "<42,33>": "", "<42,34>": "", "<42,35>": "", "<42,36>": "", "<42,37>": "", "<42,38>": "", "<42,39>": "", "<42,40>": "", "<42,41>": "", "<42,42>": "", "<42,43>": "", "<42,44>": "", "<42,45>": "", "<42,46>": "", "<42,47>": "", "<42,48>": "", "<42,49>": "" }, "<43>": { "<43,1>": "TEXT_29", "<43,2>": "", "<43,3>": "STATIC", "<43,4>": "RDS_RECIPE", "<43,5>": "338", "<43,6>": "159", "<43,7>": "35", "<43,8>": "17", "<43,9>": "Temp:", "<43,10>": { "<43,10,1>": "0x56000000", "<43,10,2>": "0x" }, "<43,11>": { "<43,11,1>": "0x0", "<43,11,2>": "0x80000000" }, "<43,12>": "43", "<43,13>": "-1", "<43,14>": "0", "<43,15>": { "<43,15,1>": { "<43,15,1,1>": "MS Dialog", "<43,15,1,2>": "-11", "<43,15,1,3>": "700", "<43,15,1,4>": "0", "<43,15,1,5>": "0", "<43,15,1,6>": "0", "<43,15,1,7>": "0", "<43,15,1,8>": "34", "<43,15,1,9>": "0", "<43,15,1,10>": "1", "<43,15,1,11>": "2", "<43,15,1,12>": "1", "<43,15,1,13>": "0", "<43,15,1,14>": "0" } }, "<43,16>": "", "<43,17>": "", "<43,18>": "", "<43,19>": "", "<43,20>": "", "<43,21>": "", "<43,22>": "", "<43,23>": "", "<43,24>": "", "<43,25>": "0", "<43,26>": "0", "<43,27>": "", "<43,28>": "<>", "<43,29>": "<>", "<43,30>": "<>", "<43,31>": "0", "<43,32>": { "<43,32,1>": "0x7fffe", "<43,32,2>": "0xf0016d08" }, "<43,33>": "", "<43,34>": "", "<43,35>": "", "<43,36>": "", "<43,37>": "", "<43,38>": "", "<43,39>": "", "<43,40>": "", "<43,41>": "", "<43,42>": "", "<43,43>": "", "<43,44>": "", "<43,45>": "", "<43,46>": "", "<43,47>": "", "<43,48>": "", "<43,49>": "" }, "<44>": { "<44,1>": "TEXT_30", "<44,2>": "", "<44,3>": "STATIC", "<44,4>": "RDS_RECIPE", "<44,5>": "246", "<44,6>": "187", "<44,7>": "51", "<44,8>": "17", "<44,9>": "H2 Flow:", "<44,10>": { "<44,10,1>": "0x56000000", "<44,10,2>": "0x" }, "<44,11>": { "<44,11,1>": "0x0", "<44,11,2>": "0x80000000" }, "<44,12>": "44", "<44,13>": "-1", "<44,14>": "0", "<44,15>": { "<44,15,1>": { "<44,15,1,1>": "MS Dialog", "<44,15,1,2>": "-11", "<44,15,1,3>": "700", "<44,15,1,4>": "0", "<44,15,1,5>": "0", "<44,15,1,6>": "0", "<44,15,1,7>": "0", "<44,15,1,8>": "34", "<44,15,1,9>": "0", "<44,15,1,10>": "1", "<44,15,1,11>": "2", "<44,15,1,12>": "1", "<44,15,1,13>": "0", "<44,15,1,14>": "0" } }, "<44,16>": "", "<44,17>": "", "<44,18>": "", "<44,19>": "", "<44,20>": "", "<44,21>": "", "<44,22>": "", "<44,23>": "", "<44,24>": "", "<44,25>": "0", "<44,26>": "0", "<44,27>": "", "<44,28>": "<>", "<44,29>": "<>", "<44,30>": "<>", "<44,31>": "0", "<44,32>": { "<44,32,1>": "0x7fffe", "<44,32,2>": "0xf0016d08" }, "<44,33>": "", "<44,34>": "", "<44,35>": "", "<44,36>": "", "<44,37>": "", "<44,38>": "", "<44,39>": "", "<44,40>": "", "<44,41>": "", "<44,42>": "", "<44,43>": "", "<44,44>": "", "<44,45>": "", "<44,46>": "", "<44,47>": "", "<44,48>": "", "<44,49>": "" }, "<45>": { "<45,1>": "TEXT_31", "<45,2>": "", "<45,3>": "STATIC", "<45,4>": "RDS_RECIPE", "<45,5>": "246", "<45,6>": "85", "<45,7>": "50", "<45,8>": "17", "<45,9>": "H2 Flow:", "<45,10>": { "<45,10,1>": "0x56000000", "<45,10,2>": "0x" }, "<45,11>": { "<45,11,1>": "0x0", "<45,11,2>": "0x80000000" }, "<45,12>": "45", "<45,13>": "-1", "<45,14>": "0", "<45,15>": { "<45,15,1>": { "<45,15,1,1>": "MS Dialog", "<45,15,1,2>": "-11", "<45,15,1,3>": "700", "<45,15,1,4>": "0", "<45,15,1,5>": "0", "<45,15,1,6>": "0", "<45,15,1,7>": "0", "<45,15,1,8>": "34", "<45,15,1,9>": "0", "<45,15,1,10>": "1", "<45,15,1,11>": "2", "<45,15,1,12>": "1", "<45,15,1,13>": "0", "<45,15,1,14>": "0" } }, "<45,16>": "", "<45,17>": "", "<45,18>": "", "<45,19>": "", "<45,20>": "", "<45,21>": "", "<45,22>": "", "<45,23>": "", "<45,24>": "", "<45,25>": "0", "<45,26>": "0", "<45,27>": "", "<45,28>": "<>", "<45,29>": "<>", "<45,30>": "<>", "<45,31>": "0", "<45,32>": { "<45,32,1>": "0x7fffe", "<45,32,2>": "0xf0016d08" }, "<45,33>": "", "<45,34>": "", "<45,35>": "", "<45,36>": "", "<45,37>": "", "<45,38>": "", "<45,39>": "", "<45,40>": "", "<45,41>": "", "<45,42>": "", "<45,43>": "", "<45,44>": "", "<45,45>": "", "<45,46>": "", "<45,47>": "", "<45,48>": "", "<45,49>": "" }, "<46>": { "<46,1>": "TEXT_32", "<46,2>": "", "<46,3>": "STATIC", "<46,4>": "RDS_RECIPE", "<46,5>": "359", "<46,6>": "186", "<46,7>": "31", "<46,8>": "16", "<46,9>": "HCL:", "<46,10>": { "<46,10,1>": "0x56000000", "<46,10,2>": "0x" }, "<46,11>": { "<46,11,1>": "0x0", "<46,11,2>": "0x80000000" }, "<46,12>": "46", "<46,13>": "-1", "<46,14>": "0", "<46,15>": { "<46,15,1>": { "<46,15,1,1>": "MS Dialog", "<46,15,1,2>": "-11", "<46,15,1,3>": "700", "<46,15,1,4>": "0", "<46,15,1,5>": "0", "<46,15,1,6>": "0", "<46,15,1,7>": "0", "<46,15,1,8>": "34", "<46,15,1,9>": "0", "<46,15,1,10>": "1", "<46,15,1,11>": "2", "<46,15,1,12>": "1", "<46,15,1,13>": "0", "<46,15,1,14>": "0" } }, "<46,16>": "", "<46,17>": "", "<46,18>": "", "<46,19>": "", "<46,20>": "", "<46,21>": "", "<46,22>": "", "<46,23>": "", "<46,24>": "", "<46,25>": "0", "<46,26>": "0", "<46,27>": "", "<46,28>": "<>", "<46,29>": "<>", "<46,30>": "<>", "<46,31>": "0", "<46,32>": { "<46,32,1>": "0x7fffe", "<46,32,2>": "0xf0016c08" }, "<46,33>": "", "<46,34>": "", "<46,35>": "", "<46,36>": "", "<46,37>": "", "<46,38>": "", "<46,39>": "", "<46,40>": "", "<46,41>": "", "<46,42>": "", "<46,43>": "", "<46,44>": "", "<46,45>": "", "<46,46>": "", "<46,47>": "", "<46,48>": "", "<46,49>": "" }, "<47>": { "<47,1>": "TEXT_33", "<47,2>": "", "<47,3>": "STATIC", "<47,4>": "RDS_RECIPE", "<47,5>": "246", "<47,6>": "107", "<47,7>": "116", "<47,8>": "17", "<47,9>": "Susceptor Rotation:", "<47,10>": { "<47,10,1>": "0x56000000", "<47,10,2>": "0x" }, "<47,11>": { "<47,11,1>": "0x0", "<47,11,2>": "0x80000000" }, "<47,12>": "47", "<47,13>": "-1", "<47,14>": "0", "<47,15>": { "<47,15,1>": { "<47,15,1,1>": "MS Dialog", "<47,15,1,2>": "-11", "<47,15,1,3>": "700", "<47,15,1,4>": "0", "<47,15,1,5>": "0", "<47,15,1,6>": "0", "<47,15,1,7>": "0", "<47,15,1,8>": "34", "<47,15,1,9>": "0", "<47,15,1,10>": "1", "<47,15,1,11>": "2", "<47,15,1,12>": "1", "<47,15,1,13>": "0", "<47,15,1,14>": "0" } }, "<47,16>": "", "<47,17>": "", "<47,18>": "", "<47,19>": "", "<47,20>": "", "<47,21>": "", "<47,22>": "", "<47,23>": "", "<47,24>": "", "<47,25>": "0", "<47,26>": "0", "<47,27>": "", "<47,28>": "<>", "<47,29>": "<>", "<47,30>": "<>", "<47,31>": "0", "<47,32>": { "<47,32,1>": "0x7fffe", "<47,32,2>": "0xf0016d08" }, "<47,33>": "", "<47,34>": "", "<47,35>": "", "<47,36>": "", "<47,37>": "", "<47,38>": "", "<47,39>": "", "<47,40>": "", "<47,41>": "", "<47,42>": "", "<47,43>": "", "<47,44>": "", "<47,45>": "", "<47,46>": "", "<47,47>": "", "<47,48>": "", "<47,49>": "" }, "<48>": { "<48,1>": "TEXT_34", "<48,2>": "", "<48,3>": "STATIC", "<48,4>": "RDS_RECIPE", "<48,5>": "246", "<48,6>": "58", "<48,7>": "32", "<48,8>": "17", "<48,9>": "Time:", "<48,10>": { "<48,10,1>": "0x56000000", "<48,10,2>": "0x" }, "<48,11>": { "<48,11,1>": "0x0", "<48,11,2>": "0x80000000" }, "<48,12>": "48", "<48,13>": "-1", "<48,14>": "0", "<48,15>": { "<48,15,1>": { "<48,15,1,1>": "MS Dialog", "<48,15,1,2>": "-11", "<48,15,1,3>": "700", "<48,15,1,4>": "0", "<48,15,1,5>": "0", "<48,15,1,6>": "0", "<48,15,1,7>": "0", "<48,15,1,8>": "34", "<48,15,1,9>": "0", "<48,15,1,10>": "1", "<48,15,1,11>": "2", "<48,15,1,12>": "1", "<48,15,1,13>": "0", "<48,15,1,14>": "0" } }, "<48,16>": "", "<48,17>": "", "<48,18>": "", "<48,19>": "", "<48,20>": "", "<48,21>": "", "<48,22>": "", "<48,23>": "", "<48,24>": "", "<48,25>": "0", "<48,26>": "0", "<48,27>": "", "<48,28>": "<>", "<48,29>": "<>", "<48,30>": "<>", "<48,31>": "0", "<48,32>": { "<48,32,1>": "0x7fffe", "<48,32,2>": "0xf0016d08" }, "<48,33>": "", "<48,34>": "", "<48,35>": "", "<48,36>": "", "<48,37>": "", "<48,38>": "", "<48,39>": "", "<48,40>": "", "<48,41>": "", "<48,42>": "", "<48,43>": "", "<48,44>": "", "<48,45>": "", "<48,46>": "", "<48,47>": "", "<48,48>": "", "<48,49>": "" }, "<49>": { "<49,1>": "TEXT_35", "<49,2>": "", "<49,3>": "STATIC", "<49,4>": "RDS_RECIPE", "<49,5>": "339", "<49,6>": "58", "<49,7>": "35", "<49,8>": "17", "<49,9>": "Temp:", "<49,10>": { "<49,10,1>": "0x56000000", "<49,10,2>": "0x" }, "<49,11>": { "<49,11,1>": "0x0", "<49,11,2>": "0x80000000" }, "<49,12>": "49", "<49,13>": "-1", "<49,14>": "0", "<49,15>": { "<49,15,1>": { "<49,15,1,1>": "MS Dialog", "<49,15,1,2>": "-11", "<49,15,1,3>": "700", "<49,15,1,4>": "0", "<49,15,1,5>": "0", "<49,15,1,6>": "0", "<49,15,1,7>": "0", "<49,15,1,8>": "34", "<49,15,1,9>": "0", "<49,15,1,10>": "1", "<49,15,1,11>": "2", "<49,15,1,12>": "1", "<49,15,1,13>": "0", "<49,15,1,14>": "0" } }, "<49,16>": "", "<49,17>": "", "<49,18>": "", "<49,19>": "", "<49,20>": "", "<49,21>": "", "<49,22>": "", "<49,23>": "", "<49,24>": "", "<49,25>": "0", "<49,26>": "0", "<49,27>": "", "<49,28>": "<>", "<49,29>": "<>", "<49,30>": "<>", "<49,31>": "0", "<49,32>": { "<49,32,1>": "0x7fffe", "<49,32,2>": "0xf0016d08" }, "<49,33>": "", "<49,34>": "", "<49,35>": "", "<49,36>": "", "<49,37>": "", "<49,38>": "", "<49,39>": "", "<49,40>": "", "<49,41>": "", "<49,42>": "", "<49,43>": "", "<49,44>": "", "<49,45>": "", "<49,46>": "", "<49,47>": "", "<49,48>": "", "<49,49>": "" }, "<50>": { "<50,1>": "TEXT_36", "<50,2>": "", "<50,3>": "STATIC", "<50,4>": "RDS_RECIPE", "<50,5>": "246", "<50,6>": "160", "<50,7>": "32", "<50,8>": "17", "<50,9>": "Time:", "<50,10>": { "<50,10,1>": "0x56000000", "<50,10,2>": "0x" }, "<50,11>": { "<50,11,1>": "0x0", "<50,11,2>": "0x80000000" }, "<50,12>": "50", "<50,13>": "-1", "<50,14>": "0", "<50,15>": { "<50,15,1>": { "<50,15,1,1>": "MS Dialog", "<50,15,1,2>": "-11", "<50,15,1,3>": "700", "<50,15,1,4>": "0", "<50,15,1,5>": "0", "<50,15,1,6>": "0", "<50,15,1,7>": "0", "<50,15,1,8>": "34", "<50,15,1,9>": "0", "<50,15,1,10>": "1", "<50,15,1,11>": "2", "<50,15,1,12>": "1", "<50,15,1,13>": "0", "<50,15,1,14>": "0" } }, "<50,16>": "", "<50,17>": "", "<50,18>": "", "<50,19>": "", "<50,20>": "", "<50,21>": "", "<50,22>": "", "<50,23>": "", "<50,24>": "", "<50,25>": "0", "<50,26>": "0", "<50,27>": "", "<50,28>": "<>", "<50,29>": "<>", "<50,30>": "<>", "<50,31>": "0", "<50,32>": { "<50,32,1>": "0x7fffe", "<50,32,2>": "0xf0016d08" }, "<50,33>": "", "<50,34>": "", "<50,35>": "", "<50,36>": "", "<50,37>": "", "<50,38>": "", "<50,39>": "", "<50,40>": "", "<50,41>": "", "<50,42>": "", "<50,43>": "", "<50,44>": "", "<50,45>": "", "<50,46>": "", "<50,47>": "", "<50,48>": "", "<50,49>": "" }, "<51>": { "<51,1>": "FTEXT", "<51,2>": "", "<51,3>": "STATIC", "<51,4>": "RDS_RECIPE", "<51,5>": "20", "<51,6>": "242", "<51,7>": "33", "<51,8>": "16", "<51,9>": "Front:", "<51,10>": { "<51,10,1>": "0x56000000", "<51,10,2>": "0x" }, "<51,11>": { "<51,11,1>": "0x0", "<51,11,2>": "0x80000000" }, "<51,12>": "51", "<51,13>": "-1", "<51,14>": "0", "<51,15>": { "<51,15,1>": { "<51,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<51,15,1,2>": "-11", "<51,15,1,3>": "700", "<51,15,1,4>": "0", "<51,15,1,5>": "0", "<51,15,1,6>": "0", "<51,15,1,7>": "0", "<51,15,1,8>": "34", "<51,15,1,9>": "0", "<51,15,1,10>": "1", "<51,15,1,11>": "2", "<51,15,1,12>": "1", "<51,15,1,13>": "0", "<51,15,1,14>": "0" } }, "<51,16>": "", "<51,17>": "", "<51,18>": "", "<51,19>": "", "<51,20>": "", "<51,21>": "", "<51,22>": "", "<51,23>": "", "<51,24>": "", "<51,25>": "0", "<51,26>": "0", "<51,27>": "", "<51,28>": "<>", "<51,29>": "<>", "<51,30>": "<>", "<51,31>": "0", "<51,32>": { "<51,32,1>": "0x7fffe", "<51,32,2>": "0xf0016c08" }, "<51,33>": "", "<51,34>": "", "<51,35>": "", "<51,36>": "", "<51,37>": "", "<51,38>": "", "<51,39>": "", "<51,40>": "", "<51,41>": "", "<51,42>": "", "<51,43>": "", "<51,44>": "", "<51,45>": "", "<51,46>": "", "<51,47>": "", "<51,48>": "", "<51,49>": "" }, "<52>": { "<52,1>": "STEXT", "<52,2>": "", "<52,3>": "STATIC", "<52,4>": "RDS_RECIPE", "<52,5>": "128", "<52,6>": "242", "<52,7>": "29", "<52,8>": "16", "<52,9>": "Side:", "<52,10>": { "<52,10,1>": "0x56000000", "<52,10,2>": "0x" }, "<52,11>": { "<52,11,1>": "0x0", "<52,11,2>": "0x80000000" }, "<52,12>": "52", "<52,13>": "-1", "<52,14>": "0", "<52,15>": { "<52,15,1>": { "<52,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<52,15,1,2>": "-11", "<52,15,1,3>": "700", "<52,15,1,4>": "0", "<52,15,1,5>": "0", "<52,15,1,6>": "0", "<52,15,1,7>": "0", "<52,15,1,8>": "34", "<52,15,1,9>": "0", "<52,15,1,10>": "1", "<52,15,1,11>": "2", "<52,15,1,12>": "1", "<52,15,1,13>": "0", "<52,15,1,14>": "0" } }, "<52,16>": "", "<52,17>": "", "<52,18>": "", "<52,19>": "", "<52,20>": "", "<52,21>": "", "<52,22>": "", "<52,23>": "", "<52,24>": "", "<52,25>": "0", "<52,26>": "0", "<52,27>": "", "<52,28>": "<>", "<52,29>": "<>", "<52,30>": "<>", "<52,31>": "0", "<52,32>": { "<52,32,1>": "0x7fffe", "<52,32,2>": "0xf0016c08" }, "<52,33>": "", "<52,34>": "", "<52,35>": "", "<52,36>": "", "<52,37>": "", "<52,38>": "", "<52,39>": "", "<52,40>": "", "<52,41>": "", "<52,42>": "", "<52,43>": "", "<52,44>": "", "<52,45>": "", "<52,46>": "", "<52,47>": "", "<52,48>": "", "<52,49>": "" }, "<53>": { "<53,1>": "RTEXT", "<53,2>": "", "<53,3>": "STATIC", "<53,4>": "RDS_RECIPE", "<53,5>": "236", "<53,6>": "242", "<53,7>": "31", "<53,8>": "16", "<53,9>": "Rear:", "<53,10>": { "<53,10,1>": "0x56000000", "<53,10,2>": "0x" }, "<53,11>": { "<53,11,1>": "0x0", "<53,11,2>": "0x80000000" }, "<53,12>": "53", "<53,13>": "-1", "<53,14>": "0", "<53,15>": { "<53,15,1>": { "<53,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<53,15,1,2>": "-11", "<53,15,1,3>": "700", "<53,15,1,4>": "0", "<53,15,1,5>": "0", "<53,15,1,6>": "0", "<53,15,1,7>": "0", "<53,15,1,8>": "34", "<53,15,1,9>": "0", "<53,15,1,10>": "1", "<53,15,1,11>": "2", "<53,15,1,12>": "1", "<53,15,1,13>": "0", "<53,15,1,14>": "0" } }, "<53,16>": "", "<53,17>": "", "<53,18>": "", "<53,19>": "", "<53,20>": "", "<53,21>": "", "<53,22>": "", "<53,23>": "", "<53,24>": "", "<53,25>": "0", "<53,26>": "0", "<53,27>": "", "<53,28>": "<>", "<53,29>": "<>", "<53,30>": "<>", "<53,31>": "0", "<53,32>": { "<53,32,1>": "0x7fffe", "<53,32,2>": "0xf0016c08" }, "<53,33>": "", "<53,34>": "", "<53,35>": "", "<53,36>": "", "<53,37>": "", "<53,38>": "", "<53,39>": "", "<53,40>": "", "<53,41>": "", "<53,42>": "", "<53,43>": "", "<53,44>": "", "<53,45>": "", "<53,46>": "", "<53,47>": "", "<53,48>": "", "<53,49>": "" }, "<54>": { "<54,1>": "TEXT_4", "<54,2>": "", "<54,3>": "STATIC", "<54,4>": "RDS_RECIPE", "<54,5>": "370", "<54,6>": "226", "<54,7>": "54", "<54,8>": "12", "<54,9>": "Injectors:", "<54,10>": { "<54,10,1>": "0x56000000", "<54,10,2>": "0x" }, "<54,11>": { "<54,11,1>": "0x0", "<54,11,2>": "0x80000000" }, "<54,12>": "54", "<54,13>": "-1", "<54,14>": "0", "<54,15>": { "<54,15,1>": { "<54,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<54,15,1,2>": "-11", "<54,15,1,3>": "700", "<54,15,1,4>": "0", "<54,15,1,5>": "0", "<54,15,1,6>": "0", "<54,15,1,7>": "0", "<54,15,1,8>": "34", "<54,15,1,9>": "0", "<54,15,1,10>": "1", "<54,15,1,11>": "2", "<54,15,1,12>": "1", "<54,15,1,13>": "0", "<54,15,1,14>": "0" } }, "<54,16>": "", "<54,17>": "", "<54,18>": "", "<54,19>": "", "<54,20>": "", "<54,21>": "", "<54,22>": "", "<54,23>": "", "<54,24>": "", "<54,25>": "0", "<54,26>": "0", "<54,27>": "", "<54,28>": "<>", "<54,29>": "<>", "<54,30>": "<>", "<54,31>": "0", "<54,32>": { "<54,32,1>": "0x7fffe", "<54,32,2>": "0xf0016c08" }, "<54,33>": "", "<54,34>": "", "<54,35>": "", "<54,36>": "", "<54,37>": "", "<54,38>": "", "<54,39>": "", "<54,40>": "", "<54,41>": "", "<54,42>": "", "<54,43>": "", "<54,44>": "", "<54,45>": "", "<54,46>": "", "<54,47>": "", "<54,48>": "", "<54,49>": "" }, "<55>": { "<55,1>": "INJECTORS", "<55,2>": "", "<55,3>": "EDITFIELD", "<55,4>": "RDS_RECIPE", "<55,5>": "363", "<55,6>": "241", "<55,7>": "68", "<55,8>": "21", "<55,9>": "", "<55,10>": { "<55,10,1>": "0x56800080", "<55,10,2>": "0x" }, "<55,11>": { "<55,11,1>": "0x80000", "<55,11,2>": "0x80000000" }, "<55,12>": "55", "<55,13>": "-2", "<55,14>": "12632256", "<55,15>": { "<55,15,1>": { "<55,15,1,1>": "MS Sans Serif", "<55,15,1,2>": "-11", "<55,15,1,3>": "700", "<55,15,1,4>": "0", "<55,15,1,5>": "0", "<55,15,1,6>": "0", "<55,15,1,7>": "0", "<55,15,1,8>": "34", "<55,15,1,9>": "0", "<55,15,1,10>": "1", "<55,15,1,11>": "2", "<55,15,1,12>": "1", "<55,15,1,13>": "0", "<55,15,1,14>": "0" } }, "<55,16>": "", "<55,17>": "", "<55,18>": "", "<55,19>": "", "<55,20>": "", "<55,21>": "", "<55,22>": "", "<55,23>": "", "<55,24>": "", "<55,25>": "0", "<55,26>": "0", "<55,27>": "", "<55,28>": "(MD0)", "<55,29>": "MD0", "<55,30>": "<>", "<55,31>": "0", "<55,32>": { "<55,32,1>": "0x7fffe", "<55,32,2>": "0xc0012908" }, "<55,33>": "", "<55,34>": "", "<55,35>": "", "<55,36>": "", "<55,37>": "", "<55,38>": "", "<55,39>": "", "<55,40>": "", "<55,41>": "", "<55,42>": "", "<55,43>": "", "<55,44>": "", "<55,45>": "", "<55,46>": "", "<55,47>": "", "<55,48>": "", "<55,49>": "" }, "<56>": "" }, "record4": { "<1>": { "<1,1>": { "<1,1,1>": "MENU", "<1,1,2>": "1", "<1,1,3>": "", "<1,1,4>": "", "<1,1,5>": "0", "<1,1,6>": "0", "<1,1,7>": "0", "<1,1,8>": "0", "<1,1,9>": "4", "<1,1,10>": "", "<1,1,11>": "0" }, "<1,2>": { "<1,2,1>": "POPUP", "<1,2,2>": "2", "<1,2,3>": "", "<1,2,4>": "&Help", "<1,2,5>": "0", "<1,2,6>": "0", "<1,2,7>": "0", "<1,2,8>": "0", "<1,2,9>": "", "<1,2,10>": "", "<1,2,11>": "0" }, "<1,3>": { "<1,3,1>": "ITEM", "<1,3,2>": "", "<1,3,3>": "", "<1,3,4>": "&Help\tF1", "<1,3,5>": "0", "<1,3,6>": "0", "<1,3,7>": "0", "<1,3,8>": "112", "<1,3,9>": "", "<1,3,10>": "", "<1,3,11>": "0" }, "<1,4>": { "<1,4,1>": "ITEM", "<1,4,2>": "", "<1,4,3>": "", "<1,4,4>": "&Context Help\tCtrl+F1", "<1,4,5>": "0", "<1,4,6>": "0", "<1,4,7>": "0", "<1,4,8>": "624", "<1,4,9>": "", "<1,4,10>": "", "<1,4,11>": "0" } }, "<2>": { "<2,1>": "", "<2,2>": { "<2,2,1>": { "<2,2,1,1>": "E", "<2,2,1,2>": "HELP", "<2,2,1,3>": "@FOCUS", "<2,2,1,4>": "RDS_RECIPE", "<2,2,1,5>": "", "<2,2,1,6>": "" }, "<2,2,2>": { "<2,2,2,1>": "E", "<2,2,2,2>": "HELP", "<2,2,2,3>": "@WINDOW", "<2,2,2,4>": "", "<2,2,2,5>": "", "<2,2,2,6>": "" }, "<2,2,3>": "" }, "<2,3>": { "<2,3,1>": "HELP.HELP", "<2,3,2>": "HELP.CONTEXT_HELP", "<2,3,3>": "" }, "<2,4>": "0" } } } }