{ "header": { "version": 1, "type": "record" }, "body": { "record1": { "<1>": "1010", "<2>": "22", "<3>": "" }, "record2": { "<1>": { "<1,1>": "NDW_TOOL_PARMS", "<1,2>": "", "<1,3>": "WINDOW", "<1,4>": "", "<1,5>": "273", "<1,6>": "441", "<1,7>": "-1029", "<1,8>": "-416", "<1,9>": "Tool Parameters", "<1,10>": { "<1,10,1>": "0x84CF0000", "<1,10,2>": "0x0" }, "<1,11>": { "<1,11,1>": "0x0", "<1,11,2>": "0x80000000" }, "<1,12>": "0", "<1,13>": "-2", "<1,14>": "0", "<1,15>": "", "<1,16>": "", "<1,17>": "WRITE", "<1,18>": { "<1,18,1>": { "<1,18,1,1>": "E", "<1,18,1,2>": "CLEAR", "<1,18,1,3>": "@WINDOW", "<1,18,1,4>": "", "<1,18,1,5>": "", "<1,18,1,6>": "" }, "<1,18,2>": { "<1,18,2,1>": "R", "<1,18,2,2>": "EXECUTE", "<1,18,2,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<1,18,2,4>": { "<1,18,2,4,1>": "@SELF", "<1,18,2,4,2>": "@EVENT", "<1,18,2,4,3>": "@PARAM1", "<1,18,2,4,4>": "@PARAM2", "<1,18,2,4,5>": "@PARAM3", "<1,18,2,4,6>": "@PARAM4", "<1,18,2,4,7>": "@PARAM5", "<1,18,2,4,8>": "@PARAM6" }, "<1,18,2,5>": "", "<1,18,2,6>": "" }, "<1,18,3>": { "<1,18,3,1>": "R", "<1,18,3,2>": "EXECUTE", "<1,18,3,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<1,18,3,4>": { "<1,18,3,4,1>": "@SELF", "<1,18,3,4,2>": "@EVENT", "<1,18,3,4,3>": "@PARAM1", "<1,18,3,4,4>": "@PARAM2", "<1,18,3,4,5>": "@PARAM3", "<1,18,3,4,6>": "@PARAM4", "<1,18,3,4,7>": "@PARAM5", "<1,18,3,4,8>": "@PARAM6" }, "<1,18,3,5>": "", "<1,18,3,6>": "" }, "<1,18,4>": { "<1,18,4,1>": "R", "<1,18,4,2>": "EXECUTE", "<1,18,4,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<1,18,4,4>": { "<1,18,4,4,1>": "@SELF", "<1,18,4,4,2>": "@EVENT", "<1,18,4,4,3>": "@PARAM1", "<1,18,4,4,4>": "@PARAM2", "<1,18,4,4,5>": "@PARAM3", "<1,18,4,4,6>": "@PARAM4", "<1,18,4,4,7>": "@PARAM5", "<1,18,4,4,8>": "@PARAM6" }, "<1,18,4,5>": "", "<1,18,4,6>": "" }, "<1,18,5>": { "<1,18,5,1>": "R", "<1,18,5,2>": "EXECUTE", "<1,18,5,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,5,4>": "Page", "<1,18,5,5>": "", "<1,18,5,6>": "" }, "<1,18,6>": { "<1,18,6,1>": "R", "<1,18,6,2>": "EXECUTE", "<1,18,6,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,6,4>": "Refresh", "<1,18,6,5>": "", "<1,18,6,6>": "" }, "<1,18,7>": { "<1,18,7,1>": "R", "<1,18,7,2>": "EXECUTE", "<1,18,7,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,7,4>": "Refresh", "<1,18,7,5>": "", "<1,18,7,6>": "" }, "<1,18,8>": { "<1,18,8,1>": "R", "<1,18,8,2>": "EXECUTE", "<1,18,8,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,8,4>": "Refresh", "<1,18,8,5>": "", "<1,18,8,6>": "" }, "<1,18,9>": { "<1,18,9,1>": "R", "<1,18,9,2>": "EXECUTE", "<1,18,9,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,9,4>": "Refresh", "<1,18,9,5>": "", "<1,18,9,6>": "" }, "<1,18,10>": { "<1,18,10,1>": "R", "<1,18,10,2>": "EXECUTE", "<1,18,10,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,10,4>": "Refresh", "<1,18,10,5>": "", "<1,18,10,6>": "" }, "<1,18,11>": { "<1,18,11,1>": "R", "<1,18,11,2>": "EXECUTE", "<1,18,11,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,11,4>": "Refresh", "<1,18,11,5>": "", "<1,18,11,6>": "" }, "<1,18,12>": { "<1,18,12,1>": "R", "<1,18,12,2>": "EXECUTE", "<1,18,12,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,12,4>": "Refresh", "<1,18,12,5>": "", "<1,18,12,6>": "" }, "<1,18,13>": { "<1,18,13,1>": "R", "<1,18,13,2>": "EXECUTE", "<1,18,13,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,13,4>": "Refresh", "<1,18,13,5>": "", "<1,18,13,6>": "" }, "<1,18,14>": { "<1,18,14,1>": "R", "<1,18,14,2>": "EXECUTE", "<1,18,14,3>": "LSL2*STPROCEXE**COMM_RDS_LAYER", "<1,18,14,4>": "Read", "<1,18,14,5>": "", "<1,18,14,6>": "" }, "<1,18,15>": "" }, "<1,19>": { "<1,19,1>": "CLEAR", "<1,19,2>": "CLOSE", "<1,19,3>": "CREATE", "<1,19,4>": "DELETE", "<1,19,5>": "PAGE", "<1,19,6>": "QBFABS", "<1,19,7>": "QBFCLOSE", "<1,19,8>": "QBFFIRST", "<1,19,9>": "QBFINIT", "<1,19,10>": "QBFLAST", "<1,19,11>": "QBFNEXT", "<1,19,12>": "QBFPREV", "<1,19,13>": "QBFRUN", "<1,19,14>": "READ", "<1,19,15>": "" }, "<1,20>": "", "<1,21>": "", "<1,22>": "", "<1,23>": "", "<1,24>": { "<1,24,1>": "0", "<1,24,2>": "0", "<1,24,3>": "0", "<1,24,4>": "0", "<1,24,5>": "0", "<1,24,6>": "0" }, "<1,25>": "0", "<1,26>": "0", "<1,27>": "", "<1,28>": "", "<1,29>": "", "<1,30>": "", "<1,31>": "", "<1,32>": { "<1,32,1>": "0x7FFFE", "<1,32,2>": "0xF001E808" }, "<1,33>": "", "<1,34>": "LSL2*IMAGE*ICO*INFINEON", "<1,35>": "", "<1,36>": "", "<1,37>": { "<1,37,1>": "0x10001", "<1,37,2>": "0x10001" }, "<1,38>": { "<1,38,1>": "1", "<1,38,2>": "1" }, "<1,39>": "", "<1,40>": "0", "<1,41>": "", "<1,42>": "", "<1,43>": "", "<1,44>": "", "<1,45>": "", "<1,46>": "", "<1,47>": "", "<1,48>": "", "<1,49>": "", "<1,50>": "", "<1,51>": "", "<1,52>": "" } }, "record3": { "<1>": { "<1,1>": "LBL_REACTOR", "<1,2>": "", "<1,3>": "STATIC", "<1,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<1,5>": "17", "<1,6>": "58", "<1,7>": "43", "<1,8>": "15", "<1,9>": "Reactor:", "<1,10>": { "<1,10,1>": "0x56000000", "<1,10,2>": "0x0" }, "<1,11>": { "<1,11,1>": "0x0", "<1,11,2>": "0x80000000" }, "<1,12>": "1", "<1,13>": "-1", "<1,14>": "0", "<1,15>": { "<1,15,1>": { "<1,15,1,1>": "Segoe UI", "<1,15,1,2>": "-12", "<1,15,1,3>": "400", "<1,15,1,4>": "0", "<1,15,1,5>": "0", "<1,15,1,6>": "0", "<1,15,1,7>": "0", "<1,15,1,8>": "34", "<1,15,1,9>": "0", "<1,15,1,10>": "3", "<1,15,1,11>": "2", "<1,15,1,12>": "1", "<1,15,1,13>": "0", "<1,15,1,14>": "0" } }, "<1,16>": "", "<1,17>": "", "<1,18>": "", "<1,19>": "", "<1,20>": "", "<1,21>": "", "<1,22>": "", "<1,23>": "", "<1,24>": "", "<1,25>": "0", "<1,26>": "0", "<1,27>": "", "<1,28>": "<>", "<1,29>": "<>", "<1,30>": "<>", "<1,31>": "0", "<1,32>": { "<1,32,1>": "0x7fffe", "<1,32,2>": "0xc0016908" }, "<1,33>": "", "<1,34>": "", "<1,35>": "", "<1,36>": "", "<1,37>": "", "<1,38>": "", "<1,39>": "", "<1,40>": "", "<1,41>": "", "<1,42>": "", "<1,43>": "", "<1,44>": "", "<1,45>": "", "<1,46>": "", "<1,47>": "", "<1,48>": "", "<1,49>": "", "<1,50>": "", "<1,51>": "", "<1,52>": "" }, "<2>": { "<2,1>": "COMBO_REACTOR", "<2,2>": "", "<2,3>": "COMBOBOX", "<2,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<2,5>": "64", "<2,6>": "54", "<2,7>": "51", "<2,8>": "21", "<2,9>": "", "<2,10>": { "<2,10,1>": "0x56200002", "<2,10,2>": "0x0" }, "<2,11>": { "<2,11,1>": "0x4", "<2,11,2>": "0x80000000" }, "<2,12>": "2", "<2,13>": "-2", "<2,14>": "0", "<2,15>": { "<2,15,1>": { "<2,15,1,1>": "Segoe UI", "<2,15,1,2>": "-12", "<2,15,1,3>": "400", "<2,15,1,4>": "0", "<2,15,1,5>": "0", "<2,15,1,6>": "0", "<2,15,1,7>": "0", "<2,15,1,8>": "34", "<2,15,1,9>": "0", "<2,15,1,10>": "3", "<2,15,1,11>": "2", "<2,15,1,12>": "1", "<2,15,1,13>": "0", "<2,15,1,14>": "0" } }, "<2,16>": "", "<2,17>": "", "<2,18>": { "<2,18,1>": { "<2,18,1,1>": "R", "<2,18,1,2>": "EXECUTE", "<2,18,1,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<2,18,1,4>": { "<2,18,1,4,1>": "@SELF", "<2,18,1,4,2>": "@EVENT", "<2,18,1,4,3>": "@PARAM1", "<2,18,1,4,4>": "@PARAM2", "<2,18,1,4,5>": "@PARAM3", "<2,18,1,4,6>": "@PARAM4", "<2,18,1,4,7>": "@PARAM5", "<2,18,1,4,8>": "@PARAM6" }, "<2,18,1,5>": "", "<2,18,1,6>": "" }, "<2,18,2>": { "<2,18,2,1>": "R", "<2,18,2,2>": "EXECUTE", "<2,18,2,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<2,18,2,4>": { "<2,18,2,4,1>": "@SELF", "<2,18,2,4,2>": "@EVENT", "<2,18,2,4,3>": "@PARAM1", "<2,18,2,4,4>": "@PARAM2", "<2,18,2,4,5>": "@PARAM3", "<2,18,2,4,6>": "@PARAM4", "<2,18,2,4,7>": "@PARAM5", "<2,18,2,4,8>": "@PARAM6" }, "<2,18,2,5>": "", "<2,18,2,6>": "" }, "<2,18,3>": "" }, "<2,19>": { "<2,19,1>": "CHANGED", "<2,19,2>": "LOSTFOCUS", "<2,19,3>": "" }, "<2,20>": "", "<2,21>": "", "<2,22>": "", "<2,23>": "", "<2,24>": "", "<2,25>": "0", "<2,26>": "0", "<2,27>": "", "<2,28>": "<>", "<2,29>": "<>", "<2,30>": "<>", "<2,31>": "0", "<2,32>": { "<2,32,1>": "0x7fffe", "<2,32,2>": "0xc0014008" }, "<2,33>": "", "<2,34>": "", "<2,35>": "", "<2,36>": "", "<2,37>": "", "<2,38>": "", "<2,39>": "", "<2,40>": "", "<2,41>": "", "<2,42>": "", "<2,43>": "", "<2,44>": "", "<2,45>": "", "<2,46>": "", "<2,47>": "", "<2,48>": "", "<2,49>": "", "<2,50>": "", "<2,51>": "", "<2,52>": "" }, "<3>": { "<3,1>": "LBL_RECIPE", "<3,2>": "", "<3,3>": "STATIC", "<3,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<3,5>": "17", "<3,6>": "90", "<3,7>": "41", "<3,8>": "15", "<3,9>": "Recipe:", "<3,10>": { "<3,10,1>": "0x56000000", "<3,10,2>": "0x0" }, "<3,11>": { "<3,11,1>": "0x0", "<3,11,2>": "0x80000000" }, "<3,12>": "3", "<3,13>": "-1", "<3,14>": "0", "<3,15>": { "<3,15,1>": { "<3,15,1,1>": "Segoe UI", "<3,15,1,2>": "-12", "<3,15,1,3>": "400", "<3,15,1,4>": "0", "<3,15,1,5>": "0", "<3,15,1,6>": "0", "<3,15,1,7>": "0", "<3,15,1,8>": "34", "<3,15,1,9>": "0", "<3,15,1,10>": "3", "<3,15,1,11>": "2", "<3,15,1,12>": "1", "<3,15,1,13>": "0", "<3,15,1,14>": "0" } }, "<3,16>": "", "<3,17>": "", "<3,18>": "", "<3,19>": "", "<3,20>": "", "<3,21>": "", "<3,22>": "", "<3,23>": "", "<3,24>": "", "<3,25>": "0", "<3,26>": "0", "<3,27>": "", "<3,28>": "<>", "<3,29>": "<>", "<3,30>": "<>", "<3,31>": "0", "<3,32>": { "<3,32,1>": "0x7fffe", "<3,32,2>": "0xc0016988" }, "<3,33>": "", "<3,34>": "", "<3,35>": "", "<3,36>": "", "<3,37>": "", "<3,38>": "", "<3,39>": "", "<3,40>": "", "<3,41>": "", "<3,42>": "", "<3,43>": "", "<3,44>": "", "<3,45>": "", "<3,46>": "", "<3,47>": "", "<3,48>": "", "<3,49>": "", "<3,50>": "", "<3,51>": "", "<3,52>": "" }, "<4>": { "<4,1>": "LBL_PSN", "<4,2>": "", "<4,3>": "STATIC", "<4,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<4,5>": "134", "<4,6>": "58", "<4,7>": "26", "<4,8>": "15", "<4,9>": "PSN:", "<4,10>": { "<4,10,1>": "0x56000002", "<4,10,2>": "0x0" }, "<4,11>": { "<4,11,1>": "0x0", "<4,11,2>": "0x80000000" }, "<4,12>": "4", "<4,13>": "-1", "<4,14>": "0", "<4,15>": { "<4,15,1>": { "<4,15,1,1>": "Segoe UI", "<4,15,1,2>": "-12", "<4,15,1,3>": "400", "<4,15,1,4>": "0", "<4,15,1,5>": "0", "<4,15,1,6>": "0", "<4,15,1,7>": "0", "<4,15,1,8>": "34", "<4,15,1,9>": "0", "<4,15,1,10>": "3", "<4,15,1,11>": "2", "<4,15,1,12>": "1", "<4,15,1,13>": "0", "<4,15,1,14>": "0" } }, "<4,16>": "", "<4,17>": "", "<4,18>": "", "<4,19>": "", "<4,20>": "", "<4,21>": "", "<4,22>": "", "<4,23>": "", "<4,24>": "", "<4,25>": "0", "<4,26>": "0", "<4,27>": "", "<4,28>": "<>", "<4,29>": "<>", "<4,30>": "<>", "<4,31>": "0", "<4,32>": { "<4,32,1>": "0x7fffe", "<4,32,2>": "0xc0016908" }, "<4,33>": "", "<4,34>": "", "<4,35>": "", "<4,36>": "", "<4,37>": "", "<4,38>": "", "<4,39>": "", "<4,40>": "", "<4,41>": "", "<4,42>": "", "<4,43>": "", "<4,44>": "", "<4,45>": "", "<4,46>": "", "<4,47>": "", "<4,48>": "", "<4,49>": "", "<4,50>": "", "<4,51>": "", "<4,52>": "" }, "<5>": { "<5,1>": "COMBO_PSN", "<5,2>": "", "<5,3>": "COMBOBOX", "<5,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<5,5>": "163", "<5,6>": "54", "<5,7>": "76", "<5,8>": "21", "<5,9>": "", "<5,10>": { "<5,10,1>": "0x5E200002", "<5,10,2>": "0x0" }, "<5,11>": { "<5,11,1>": "0x0", "<5,11,2>": "0x80000000" }, "<5,12>": "5", "<5,13>": "-2", "<5,14>": "0", "<5,15>": { "<5,15,1>": { "<5,15,1,1>": "Segoe UI", "<5,15,1,2>": "-12", "<5,15,1,3>": "400", "<5,15,1,4>": "0", "<5,15,1,5>": "0", "<5,15,1,6>": "0", "<5,15,1,7>": "0", "<5,15,1,8>": "34", "<5,15,1,9>": "0", "<5,15,1,10>": "3", "<5,15,1,11>": "2", "<5,15,1,12>": "1", "<5,15,1,13>": "0", "<5,15,1,14>": "0" } }, "<5,16>": "", "<5,17>": "", "<5,18>": { "<5,18,1>": { "<5,18,1,1>": "R", "<5,18,1,2>": "EXECUTE", "<5,18,1,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<5,18,1,4>": { "<5,18,1,4,1>": "@SELF", "<5,18,1,4,2>": "@EVENT", "<5,18,1,4,3>": "@PARAM1", "<5,18,1,4,4>": "@PARAM2", "<5,18,1,4,5>": "@PARAM3", "<5,18,1,4,6>": "@PARAM4", "<5,18,1,4,7>": "@PARAM5", "<5,18,1,4,8>": "@PARAM6" }, "<5,18,1,5>": "", "<5,18,1,6>": "" }, "<5,18,2>": "" }, "<5,19>": { "<5,19,1>": "CHANGED", "<5,19,2>": "" }, "<5,20>": "", "<5,21>": "", "<5,22>": "", "<5,23>": "", "<5,24>": "", "<5,25>": "0", "<5,26>": "0", "<5,27>": "", "<5,28>": "<>", "<5,29>": "<>", "<5,30>": "<>", "<5,31>": "0", "<5,32>": { "<5,32,1>": "0x7fffe", "<5,32,2>": "0xc0014008" }, "<5,33>": "", "<5,34>": "", "<5,35>": "", "<5,36>": "", "<5,37>": "", "<5,38>": "", "<5,39>": "", "<5,40>": "", "<5,41>": "", "<5,42>": "", "<5,43>": "", "<5,44>": "", "<5,45>": "", "<5,46>": "", "<5,47>": "", "<5,48>": "", "<5,49>": "", "<5,50>": "", "<5,51>": "", "<5,52>": "" }, "<6>": { "<6,1>": "LBL_DTM", "<6,2>": "", "<6,3>": "STATIC", "<6,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<6,5>": "255", "<6,6>": "58", "<6,7>": "53", "<6,8>": "15", "<6,9>": "Datetime:", "<6,10>": { "<6,10,1>": "0x56000002", "<6,10,2>": "0x0" }, "<6,11>": { "<6,11,1>": "0x0", "<6,11,2>": "0x80000000" }, "<6,12>": "6", "<6,13>": "-1", "<6,14>": "0", "<6,15>": { "<6,15,1>": { "<6,15,1,1>": "Segoe UI", "<6,15,1,2>": "-12", "<6,15,1,3>": "400", "<6,15,1,4>": "0", "<6,15,1,5>": "0", "<6,15,1,6>": "0", "<6,15,1,7>": "0", "<6,15,1,8>": "34", "<6,15,1,9>": "0", "<6,15,1,10>": "3", "<6,15,1,11>": "2", "<6,15,1,12>": "1", "<6,15,1,13>": "0", "<6,15,1,14>": "0" } }, "<6,16>": "", "<6,17>": "", "<6,18>": "", "<6,19>": "", "<6,20>": "", "<6,21>": "", "<6,22>": "", "<6,23>": "", "<6,24>": "", "<6,25>": "0", "<6,26>": "0", "<6,27>": "", "<6,28>": "<>", "<6,29>": "<>", "<6,30>": "<>", "<6,31>": "0", "<6,32>": { "<6,32,1>": "0x7fffe", "<6,32,2>": "0xc0016908" }, "<6,33>": "", "<6,34>": "", "<6,35>": "", "<6,36>": "", "<6,37>": "", "<6,38>": "", "<6,39>": "", "<6,40>": "", "<6,41>": "", "<6,42>": "", "<6,43>": "", "<6,44>": "", "<6,45>": "", "<6,46>": "", "<6,47>": "", "<6,48>": "", "<6,49>": "", "<6,50>": "", "<6,51>": "", "<6,52>": "" }, "<7>": { "<7,1>": "COMBO_PARM_DTM", "<7,2>": "", "<7,3>": "COMBOBOX", "<7,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<7,5>": "311", "<7,6>": "54", "<7,7>": "158", "<7,8>": "21", "<7,9>": "", "<7,10>": { "<7,10,1>": "0x5E200002", "<7,10,2>": "0x0" }, "<7,11>": { "<7,11,1>": "0x0", "<7,11,2>": "0x80000000" }, "<7,12>": "7", "<7,13>": "16777215", "<7,14>": "0", "<7,15>": { "<7,15,1>": { "<7,15,1,1>": "Segoe UI", "<7,15,1,2>": "-12", "<7,15,1,3>": "400", "<7,15,1,4>": "0", "<7,15,1,5>": "0", "<7,15,1,6>": "0", "<7,15,1,7>": "0", "<7,15,1,8>": "34", "<7,15,1,9>": "0", "<7,15,1,10>": "3", "<7,15,1,11>": "2", "<7,15,1,12>": "1", "<7,15,1,13>": "0", "<7,15,1,14>": "0" } }, "<7,16>": "", "<7,17>": "", "<7,18>": { "<7,18,1>": { "<7,18,1,1>": "R", "<7,18,1,2>": "EXECUTE", "<7,18,1,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<7,18,1,4>": { "<7,18,1,4,1>": "@SELF", "<7,18,1,4,2>": "@EVENT", "<7,18,1,4,3>": "@PARAM1", "<7,18,1,4,4>": "@PARAM2", "<7,18,1,4,5>": "@PARAM3", "<7,18,1,4,6>": "@PARAM4", "<7,18,1,4,7>": "@PARAM5", "<7,18,1,4,8>": "@PARAM6" }, "<7,18,1,5>": "", "<7,18,1,6>": "" }, "<7,18,2>": "" }, "<7,19>": { "<7,19,1>": "CHANGED", "<7,19,2>": "" }, "<7,20>": "", "<7,21>": "", "<7,22>": "", "<7,23>": "", "<7,24>": "", "<7,25>": "0", "<7,26>": "0", "<7,27>": "", "<7,28>": "<>", "<7,29>": "DT/^3H", "<7,30>": "<>", "<7,31>": "0", "<7,32>": { "<7,32,1>": "0x7fffe", "<7,32,2>": "0xc0014808" }, "<7,33>": "", "<7,34>": "", "<7,35>": "", "<7,36>": "", "<7,37>": "", "<7,38>": "", "<7,39>": "", "<7,40>": "", "<7,41>": "", "<7,42>": "", "<7,43>": "", "<7,44>": "", "<7,45>": "", "<7,46>": "", "<7,47>": "", "<7,48>": "", "<7,49>": "", "<7,50>": "", "<7,51>": "", "<7,52>": "" }, "<8>": { "<8,1>": "EDL_RECIPE_NAME", "<8,2>": "", "<8,3>": "EDITFIELD", "<8,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<8,5>": "211", "<8,6>": "86", "<8,7>": "183", "<8,8>": "21", "<8,9>": "", "<8,10>": { "<8,10,1>": "0x56000080", "<8,10,2>": "0x200" }, "<8,11>": { "<8,11,1>": "0x80000", "<8,11,2>": "0x80000000" }, "<8,12>": "8", "<8,13>": "12639424", "<8,14>": "0", "<8,15>": { "<8,15,1>": { "<8,15,1,1>": "Tahoma", "<8,15,1,2>": "-11", "<8,15,1,3>": "400", "<8,15,1,4>": "0", "<8,15,1,5>": "0", "<8,15,1,6>": "0", "<8,15,1,7>": "0", "<8,15,1,8>": "34", "<8,15,1,9>": "0", "<8,15,1,10>": "3", "<8,15,1,11>": "2", "<8,15,1,12>": "1", "<8,15,1,13>": "0", "<8,15,1,14>": "0" } }, "<8,16>": "", "<8,17>": "", "<8,18>": "", "<8,19>": "", "<8,20>": "", "<8,21>": "", "<8,22>": "", "<8,23>": "", "<8,24>": "", "<8,25>": "0", "<8,26>": "0", "<8,27>": "", "<8,28>": "<>", "<8,29>": "<>", "<8,30>": "<>", "<8,31>": "0", "<8,32>": { "<8,32,1>": "0x7fffe", "<8,32,2>": "0xc0014908" }, "<8,33>": "", "<8,34>": "", "<8,35>": "", "<8,36>": "", "<8,37>": "", "<8,38>": "", "<8,39>": "", "<8,40>": "", "<8,41>": "", "<8,42>": "", "<8,43>": "", "<8,44>": "", "<8,45>": "", "<8,46>": "", "<8,47>": "", "<8,48>": "", "<8,49>": "", "<8,50>": "", "<8,51>": "", "<8,52>": "" }, "<9>": { "<9,1>": "DOPANT_LABEL", "<9,2>": "", "<9,3>": "STATIC", "<9,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<9,5>": "417", "<9,6>": "90", "<9,7>": "43", "<9,8>": "15", "<9,9>": "Dopant:", "<9,10>": { "<9,10,1>": "0x56000000", "<9,10,2>": "0x0" }, "<9,11>": { "<9,11,1>": "0x0", "<9,11,2>": "0x80000000" }, "<9,12>": "9", "<9,13>": "-1", "<9,14>": "0", "<9,15>": { "<9,15,1>": { "<9,15,1,1>": "Segoe UI", "<9,15,1,2>": "-12", "<9,15,1,3>": "400", "<9,15,1,4>": "0", "<9,15,1,5>": "0", "<9,15,1,6>": "0", "<9,15,1,7>": "0", "<9,15,1,8>": "34", "<9,15,1,9>": "0", "<9,15,1,10>": "3", "<9,15,1,11>": "2", "<9,15,1,12>": "1", "<9,15,1,13>": "0", "<9,15,1,14>": "0" } }, "<9,16>": "", "<9,17>": "", "<9,18>": "", "<9,19>": "", "<9,20>": "", "<9,21>": "", "<9,22>": "", "<9,23>": "", "<9,24>": "", "<9,25>": "0", "<9,26>": "0", "<9,27>": "", "<9,28>": "<>", "<9,29>": "<>", "<9,30>": "<>", "<9,31>": "0", "<9,32>": { "<9,32,1>": "0x7fffe", "<9,32,2>": "0xf0016c08" }, "<9,33>": "", "<9,34>": "", "<9,35>": "", "<9,36>": "", "<9,37>": "", "<9,38>": "", "<9,39>": "", "<9,40>": "", "<9,41>": "", "<9,42>": "", "<9,43>": "", "<9,44>": "", "<9,45>": "", "<9,46>": "", "<9,47>": "", "<9,48>": "", "<9,49>": "", "<9,50>": "", "<9,51>": "", "<9,52>": "" }, "<10>": { "<10,1>": "EDL_DOPANT", "<10,2>": "", "<10,3>": "EDITFIELD", "<10,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<10,5>": "463", "<10,6>": "86", "<10,7>": "102", "<10,8>": "21", "<10,9>": "", "<10,10>": { "<10,10,1>": "0x56000080", "<10,10,2>": "0x200" }, "<10,11>": { "<10,11,1>": "0x80000", "<10,11,2>": "0x80000000" }, "<10,12>": "10", "<10,13>": "12639424", "<10,14>": "0", "<10,15>": { "<10,15,1>": { "<10,15,1,1>": "Tahoma", "<10,15,1,2>": "-11", "<10,15,1,3>": "400", "<10,15,1,4>": "0", "<10,15,1,5>": "0", "<10,15,1,6>": "0", "<10,15,1,7>": "0", "<10,15,1,8>": "34", "<10,15,1,9>": "0", "<10,15,1,10>": "3", "<10,15,1,11>": "2", "<10,15,1,12>": "1", "<10,15,1,13>": "0", "<10,15,1,14>": "0" } }, "<10,16>": "", "<10,17>": "", "<10,18>": "", "<10,19>": "", "<10,20>": "", "<10,21>": "", "<10,22>": "", "<10,23>": "", "<10,24>": "", "<10,25>": "0", "<10,26>": "0", "<10,27>": "", "<10,28>": "<>", "<10,29>": "<>", "<10,30>": "<>", "<10,31>": "0", "<10,32>": { "<10,32,1>": "0x7fffe", "<10,32,2>": "0xc0014908" }, "<10,33>": "", "<10,34>": "", "<10,35>": "", "<10,36>": "", "<10,37>": "", "<10,38>": "", "<10,39>": "", "<10,40>": "", "<10,41>": "", "<10,42>": "", "<10,43>": "", "<10,44>": "", "<10,45>": "", "<10,46>": "", "<10,47>": "", "<10,48>": "", "<10,49>": "", "<10,50>": "", "<10,51>": "", "<10,52>": "" }, "<11>": { "<11,1>": "EPI_DILUENT_LABEL", "<11,2>": "", "<11,3>": "STATIC", "<11,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<11,5>": "587", "<11,6>": "90", "<11,7>": "61", "<11,8>": "15", "<11,9>": "Epi Diluent:", "<11,10>": { "<11,10,1>": "0x56000000", "<11,10,2>": "0x0" }, "<11,11>": { "<11,11,1>": "0x0", "<11,11,2>": "0x80000000" }, "<11,12>": "11", "<11,13>": "-1", "<11,14>": "0", "<11,15>": { "<11,15,1>": { "<11,15,1,1>": "Segoe UI", "<11,15,1,2>": "-12", "<11,15,1,3>": "400", "<11,15,1,4>": "0", "<11,15,1,5>": "0", "<11,15,1,6>": "0", "<11,15,1,7>": "0", "<11,15,1,8>": "34", "<11,15,1,9>": "0", "<11,15,1,10>": "3", "<11,15,1,11>": "2", "<11,15,1,12>": "1", "<11,15,1,13>": "0", "<11,15,1,14>": "0" } }, "<11,16>": "", "<11,17>": "", "<11,18>": "", "<11,19>": "", "<11,20>": "", "<11,21>": "", "<11,22>": "", "<11,23>": "", "<11,24>": "", "<11,25>": "0", "<11,26>": "0", "<11,27>": "", "<11,28>": "<>", "<11,29>": "<>", "<11,30>": "<>", "<11,31>": "0", "<11,32>": { "<11,32,1>": "0x7fffe", "<11,32,2>": "0xf0016c08" }, "<11,33>": "", "<11,34>": "", "<11,35>": "", "<11,36>": "", "<11,37>": "", "<11,38>": "", "<11,39>": "", "<11,40>": "", "<11,41>": "", "<11,42>": "", "<11,43>": "", "<11,44>": "", "<11,45>": "", "<11,46>": "", "<11,47>": "", "<11,48>": "", "<11,49>": "", "<11,50>": "", "<11,51>": "", "<11,52>": "" }, "<12>": { "<12,1>": "EDL_DILUENT", "<12,2>": "", "<12,3>": "EDITFIELD", "<12,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<12,5>": "651", "<12,6>": "86", "<12,7>": "102", "<12,8>": "21", "<12,9>": "", "<12,10>": { "<12,10,1>": "0x56000080", "<12,10,2>": "0x200" }, "<12,11>": { "<12,11,1>": "0x80000", "<12,11,2>": "0x80000000" }, "<12,12>": "12", "<12,13>": "12639424", "<12,14>": "0", "<12,15>": { "<12,15,1>": { "<12,15,1,1>": "Tahoma", "<12,15,1,2>": "-11", "<12,15,1,3>": "400", "<12,15,1,4>": "0", "<12,15,1,5>": "0", "<12,15,1,6>": "0", "<12,15,1,7>": "0", "<12,15,1,8>": "34", "<12,15,1,9>": "0", "<12,15,1,10>": "3", "<12,15,1,11>": "2", "<12,15,1,12>": "1", "<12,15,1,13>": "0", "<12,15,1,14>": "0" } }, "<12,16>": "", "<12,17>": "", "<12,18>": "", "<12,19>": "", "<12,20>": "", "<12,21>": "", "<12,22>": "", "<12,23>": "", "<12,24>": "", "<12,25>": "0", "<12,26>": "0", "<12,27>": "", "<12,28>": "<>", "<12,29>": "<>", "<12,30>": "<>", "<12,31>": "0", "<12,32>": { "<12,32,1>": "0x7fffe", "<12,32,2>": "0xc0014908" }, "<12,33>": "", "<12,34>": "", "<12,35>": "", "<12,36>": "", "<12,37>": "", "<12,38>": "", "<12,39>": "", "<12,40>": "", "<12,41>": "", "<12,42>": "", "<12,43>": "", "<12,44>": "", "<12,45>": "", "<12,46>": "", "<12,47>": "", "<12,48>": "", "<12,49>": "", "<12,50>": "", "<12,51>": "", "<12,52>": "" }, "<13>": { "<13,1>": "EDT_RECIPE_PARMS", "<13,2>": "", "<13,3>": "EDITTABLE", "<13,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<13,5>": "16", "<13,6>": "150", "<13,7>": "998", "<13,8>": "87", "<13,9>": "", "<13,10>": { "<13,10,1>": "0x5E0001D1", "<13,10,2>": "0x200" }, "<13,11>": { "<13,11,1>": "0x60000", "<13,11,2>": "0x80000001" }, "<13,12>": "13", "<13,13>": "16777215", "<13,14>": "0", "<13,15>": { "<13,15,1>": { "<13,15,1,1>": "Segoe UI", "<13,15,1,2>": "-12", "<13,15,1,3>": "400", "<13,15,1,4>": "0", "<13,15,1,5>": "0", "<13,15,1,6>": "0", "<13,15,1,7>": "0", "<13,15,1,8>": "34", "<13,15,1,9>": "0", "<13,15,1,10>": "3", "<13,15,1,11>": "2", "<13,15,1,12>": "1", "<13,15,1,13>": "0", "<13,15,1,14>": "0" } }, "<13,16>": "", "<13,17>": "", "<13,18>": { "<13,18,1>": { "<13,18,1,1>": "R", "<13,18,1,2>": "EXECUTE", "<13,18,1,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<13,18,1,4>": { "<13,18,1,4,1>": "@SELF", "<13,18,1,4,2>": "@EVENT", "<13,18,1,4,3>": "@PARAM1", "<13,18,1,4,4>": "@PARAM2", "<13,18,1,4,5>": "@PARAM3", "<13,18,1,4,6>": "@PARAM4", "<13,18,1,4,7>": "@PARAM5", "<13,18,1,4,8>": "@PARAM6" }, "<13,18,1,5>": "", "<13,18,1,6>": "" }, "<13,18,2>": { "<13,18,2,1>": "R", "<13,18,2,2>": "EXECUTE", "<13,18,2,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<13,18,2,4>": { "<13,18,2,4,1>": "@SELF", "<13,18,2,4,2>": "@EVENT", "<13,18,2,4,3>": "@PARAM1", "<13,18,2,4,4>": "@PARAM2", "<13,18,2,4,5>": "@PARAM3", "<13,18,2,4,6>": "@PARAM4", "<13,18,2,4,7>": "@PARAM5", "<13,18,2,4,8>": "@PARAM6" }, "<13,18,2,5>": "", "<13,18,2,6>": "" }, "<13,18,3>": { "<13,18,3,1>": "R", "<13,18,3,2>": "EXECUTE", "<13,18,3,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<13,18,3,4>": { "<13,18,3,4,1>": "@SELF", "<13,18,3,4,2>": "@EVENT", "<13,18,3,4,3>": "@PARAM1", "<13,18,3,4,4>": "@PARAM2", "<13,18,3,4,5>": "@PARAM3", "<13,18,3,4,6>": "@PARAM4", "<13,18,3,4,7>": "@PARAM5", "<13,18,3,4,8>": "@PARAM6" }, "<13,18,3,5>": "", "<13,18,3,6>": "" }, "<13,18,4>": "" }, "<13,19>": { "<13,19,1>": "CHANGED", "<13,19,2>": "DELETEROW", "<13,19,3>": "INSERTROW", "<13,19,4>": "" }, "<13,20>": "", "<13,21>": "", "<13,22>": "", "<13,23>": "", "<13,24>": "", "<13,25>": "0", "<13,26>": "0", "<13,27>": "", "<13,28>": { "<13,28,1>": "<>", "<13,28,2>": "<>", "<13,28,3>": "<>", "<13,28,4>": "<>", "<13,28,5>": "<>", "<13,28,6>": "[SECONDS_CONV]", "<13,28,7>": "<>", "<13,28,8>": "<>", "<13,28,9>": "<>", "<13,28,10>": "<>", "<13,28,11>": "<>", "<13,28,12>": "<>", "<13,28,13>": "<>", "<13,28,14>": "<>", "<13,28,15>": "<>", "<13,28,16>": "<>", "<13,28,17>": "<>", "<13,28,18>": "<>", "<13,28,19>": "<>" }, "<13,29>": { "<13,29,1>": "<>", "<13,29,2>": "<>", "<13,29,3>": "<>", "<13,29,4>": "<>", "<13,29,5>": "<>", "<13,29,6>": "[SECONDS_CONV]", "<13,29,7>": "<>", "<13,29,8>": "<>", "<13,29,9>": "<>", "<13,29,10>": "<>", "<13,29,11>": "<>", "<13,29,12>": "<>", "<13,29,13>": "<>", "<13,29,14>": "<>", "<13,29,15>": "<>", "<13,29,16>": "<>", "<13,29,17>": "<>", "<13,29,18>": "<>", "<13,29,19>": "<>" }, "<13,30>": { "<13,30,1>": "<>", "<13,30,2>": "<>", "<13,30,3>": "<>", "<13,30,4>": "<>", "<13,30,5>": "<>", "<13,30,6>": "<>", "<13,30,7>": "<>", "<13,30,8>": "<>", "<13,30,9>": "<>", "<13,30,10>": "<>", "<13,30,11>": "<>", "<13,30,12>": "<>", "<13,30,13>": "<>", "<13,30,14>": "<>", "<13,30,15>": "<>", "<13,30,16>": "<>", "<13,30,17>": "<>", "<13,30,18>": "<>", "<13,30,19>": "<>" }, "<13,31>": { "<13,31,1>": "0", "<13,31,2>": "0", "<13,31,3>": "0", "<13,31,4>": "0", "<13,31,5>": "0", "<13,31,6>": "0", "<13,31,7>": "0", "<13,31,8>": "0", "<13,31,9>": "0", "<13,31,10>": "0", "<13,31,11>": "0", "<13,31,12>": "0", "<13,31,13>": "0", "<13,31,14>": "0", "<13,31,15>": "0", "<13,31,16>": "0", "<13,31,17>": "0", "<13,31,18>": "0", "<13,31,19>": "0" }, "<13,32>": { "<13,32,1>": "0x7e07e", "<13,32,2>": "0xc0014a08" }, "<13,33>": "", "<13,34>": "", "<13,35>": "", "<13,36>": "", "<13,37>": "", "<13,38>": "", "<13,39>": { "<13,39,1>": "80", "<13,39,2>": "20", "<13,39,3>": "20", "<13,39,4>": "85", "<13,39,5>": "20", "<13,39,6>": "20", "<13,39,7>": "20", "<13,39,8>": "20", "<13,39,9>": "20", "<13,39,10>": "20", "<13,39,11>": "20", "<13,39,12>": "20", "<13,39,13>": "20", "<13,39,14>": "20", "<13,39,15>": "14", "<13,39,16>": "20", "<13,39,17>": "20", "<13,39,18>": "20", "<13,39,19>": "20" }, "<13,40>": "19", "<13,41>": { "<13,41,1>": "1", "<13,41,2>": "", "<13,41,3>": "", "<13,41,4>": "", "<13,41,5>": "", "<13,41,6>": "", "<13,41,7>": "", "<13,41,8>": "40" }, "<13,42>": { "<13,42,1>": "16400", "<13,42,2>": "16400", "<13,42,3>": "16400", "<13,42,4>": "16400", "<13,42,5>": "16400", "<13,42,6>": "16400", "<13,42,7>": "16400", "<13,42,8>": "16400", "<13,42,9>": "16400", "<13,42,10>": "16400", "<13,42,11>": "16400", "<13,42,12>": "16400", "<13,42,13>": "16400", "<13,42,14>": "16400", "<13,42,15>": "16400", "<13,42,16>": "16400", "<13,42,17>": "16400", "<13,42,18>": "16400", "<13,42,19>": "16400" }, "<13,43>": { "<13,43,1>": "50", "<13,43,2>": "80", "<13,43,3>": "70", "<13,43,4>": "85", "<13,43,5>": "70", "<13,43,6>": "70", "<13,43,7>": "80", "<13,43,8>": "80", "<13,43,9>": "80", "<13,43,10>": "70", "<13,43,11>": "70", "<13,43,12>": "70", "<13,43,13>": "70", "<13,43,14>": "70", "<13,43,15>": "80", "<13,43,16>": "70", "<13,43,17>": "70", "<13,43,18>": "70", "<13,43,19>": "80" }, "<13,44>": { "<13,44,1>": "Layer ID", "<13,44,2>": "Deposit", "<13,44,3>": "Diluent", "<13,44,4>": "Dopant Flow", "<13,44,5>": "HCL Flow", "<13,44,6>": "Bake Time", "<13,44,7>": "H2 Flow", "<13,44,8>": "TCS Flow", "<13,44,9>": "DCS Flow", "<13,44,10>": "Aux 1 Flow", "<13,44,11>": "Aux 2 Flow", "<13,44,12>": "F Offset", "<13,44,13>": "S Offset", "<13,44,14>": "R Offset", "<13,44,15>": "Susc Etch", "<13,44,16>": "Etch 1", "<13,44,17>": "Etch 2", "<13,44,18>": "Etch 3", "<13,44,19>": "Unload Temp" }, "<13,45>": "", "<13,46>": "", "<13,47>": "", "<13,48>": "", "<13,49>": "", "<13,50>": "", "<13,51>": { "<13,51,1>": "", "<13,51,2>": "", "<13,51,3>": "", "<13,51,4>": "", "<13,51,5>": "", "<13,51,6>": "", "<13,51,7>": "", "<13,51,8>": "", "<13,51,9>": "", "<13,51,10>": "", "<13,51,11>": "", "<13,51,12>": "", "<13,51,13>": "", "<13,51,14>": "", "<13,51,15>": "", "<13,51,16>": "", "<13,51,17>": "", "<13,51,18>": "", "<13,51,19>": "" }, "<13,52>": "", "<13,53>": "", "<13,54>": "", "<13,55>": "", "<13,56>": "", "<13,57>": "", "<13,58>": "", "<13,59>": "", "<13,60>": { "<13,60,1>": "18", "<13,60,2>": "18", "<13,60,3>": "18", "<13,60,4>": "18", "<13,60,5>": "18", "<13,60,6>": "18", "<13,60,7>": "18", "<13,60,8>": "18", "<13,60,9>": "18", "<13,60,10>": "18", "<13,60,11>": "18", "<13,60,12>": "18", "<13,60,13>": "18", "<13,60,14>": "18", "<13,60,15>": "18", "<13,60,16>": "18", "<13,60,17>": "18", "<13,60,18>": "18", "<13,60,19>": "18" } }, "<14>": { "<14,1>": "EDT_RECIPE_LIMITS", "<14,2>": "", "<14,3>": "EDITTABLE", "<14,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<14,5>": "16", "<14,6>": "276", "<14,7>": "998", "<14,8>": "87", "<14,9>": "", "<14,10>": { "<14,10,1>": "0x560000D0", "<14,10,2>": "0x200" }, "<14,11>": { "<14,11,1>": "0x0", "<14,11,2>": "0x80000001" }, "<14,12>": "14", "<14,13>": "12639424", "<14,14>": "0", "<14,15>": { "<14,15,1>": { "<14,15,1,1>": "Segoe UI", "<14,15,1,2>": "-12", "<14,15,1,3>": "400", "<14,15,1,4>": "0", "<14,15,1,5>": "0", "<14,15,1,6>": "0", "<14,15,1,7>": "0", "<14,15,1,8>": "34", "<14,15,1,9>": "0", "<14,15,1,10>": "3", "<14,15,1,11>": "2", "<14,15,1,12>": "1", "<14,15,1,13>": "0", "<14,15,1,14>": "0" } }, "<14,16>": "", "<14,17>": "", "<14,18>": "", "<14,19>": "", "<14,20>": "", "<14,21>": "", "<14,22>": "", "<14,23>": "", "<14,24>": "", "<14,25>": "0", "<14,26>": "0", "<14,27>": "", "<14,28>": { "<14,28,1>": "<>", "<14,28,2>": "<>", "<14,28,3>": "<>", "<14,28,4>": "<>", "<14,28,5>": "<>", "<14,28,6>": "<>", "<14,28,7>": "<>", "<14,28,8>": "<>", "<14,28,9>": "<>", "<14,28,10>": "<>", "<14,28,11>": "<>", "<14,28,12>": "<>", "<14,28,13>": "<>", "<14,28,14>": "<>", "<14,28,15>": "<>", "<14,28,16>": "<>", "<14,28,17>": "<>", "<14,28,18>": "<>", "<14,28,19>": "<>" }, "<14,29>": { "<14,29,1>": "<>", "<14,29,2>": "<>", "<14,29,3>": "<>", "<14,29,4>": "<>", "<14,29,5>": "<>", "<14,29,6>": "[SECONDS_CONV]", "<14,29,7>": "<>", "<14,29,8>": "<>", "<14,29,9>": "<>", "<14,29,10>": "<>", "<14,29,11>": "<>", "<14,29,12>": "<>", "<14,29,13>": "<>", "<14,29,14>": "<>", "<14,29,15>": "<>", "<14,29,16>": "<>", "<14,29,17>": "<>", "<14,29,18>": "<>", "<14,29,19>": "<>" }, "<14,30>": { "<14,30,1>": "<>", "<14,30,2>": "<>", "<14,30,3>": "<>", "<14,30,4>": "<>", "<14,30,5>": "<>", "<14,30,6>": "<>", "<14,30,7>": "<>", "<14,30,8>": "<>", "<14,30,9>": "<>", "<14,30,10>": "<>", "<14,30,11>": "<>", "<14,30,12>": "<>", "<14,30,13>": "<>", "<14,30,14>": "<>", "<14,30,15>": "<>", "<14,30,16>": "<>", "<14,30,17>": "<>", "<14,30,18>": "<>", "<14,30,19>": "<>" }, "<14,31>": { "<14,31,1>": "0", "<14,31,2>": "0", "<14,31,3>": "0", "<14,31,4>": "0", "<14,31,5>": "0", "<14,31,6>": "0", "<14,31,7>": "0", "<14,31,8>": "0", "<14,31,9>": "0", "<14,31,10>": "0", "<14,31,11>": "0", "<14,31,12>": "0", "<14,31,13>": "0", "<14,31,14>": "0", "<14,31,15>": "0", "<14,31,16>": "0", "<14,31,17>": "0", "<14,31,18>": "0", "<14,31,19>": "0" }, "<14,32>": { "<14,32,1>": "0x7e07e", "<14,32,2>": "0xc0014a08" }, "<14,33>": "", "<14,34>": "", "<14,35>": "", "<14,36>": "", "<14,37>": "", "<14,38>": "", "<14,39>": { "<14,39,1>": "80", "<14,39,2>": "20", "<14,39,3>": "20", "<14,39,4>": "80", "<14,39,5>": "20", "<14,39,6>": "80", "<14,39,7>": "80", "<14,39,8>": "20", "<14,39,9>": "20", "<14,39,10>": "20", "<14,39,11>": "20", "<14,39,12>": "20", "<14,39,13>": "20", "<14,39,14>": "20", "<14,39,15>": "80", "<14,39,16>": "80", "<14,39,17>": "80", "<14,39,18>": "80", "<14,39,19>": "80" }, "<14,40>": "19", "<14,41>": { "<14,41,1>": "1", "<14,41,2>": "", "<14,41,3>": "", "<14,41,4>": "", "<14,41,5>": "", "<14,41,6>": "", "<14,41,7>": "", "<14,41,8>": "40" }, "<14,42>": { "<14,42,1>": "16400", "<14,42,2>": "16402", "<14,42,3>": "16402", "<14,42,4>": "16402", "<14,42,5>": "16402", "<14,42,6>": "16402", "<14,42,7>": "16402", "<14,42,8>": "16402", "<14,42,9>": "16402", "<14,42,10>": "16402", "<14,42,11>": "16402", "<14,42,12>": "16402", "<14,42,13>": "16402", "<14,42,14>": "16402", "<14,42,15>": "16400", "<14,42,16>": "16402", "<14,42,17>": "16402", "<14,42,18>": "16402", "<14,42,19>": "16402" }, "<14,43>": { "<14,43,1>": "50", "<14,43,2>": "80", "<14,43,3>": "70", "<14,43,4>": "85", "<14,43,5>": "70", "<14,43,6>": "70", "<14,43,7>": "80", "<14,43,8>": "80", "<14,43,9>": "80", "<14,43,10>": "70", "<14,43,11>": "70", "<14,43,12>": "70", "<14,43,13>": "70", "<14,43,14>": "70", "<14,43,15>": "80", "<14,43,16>": "80", "<14,43,17>": "80", "<14,43,18>": "80", "<14,43,19>": "80" }, "<14,44>": { "<14,44,1>": "Layer ID", "<14,44,2>": "Deposit", "<14,44,3>": "Diluent", "<14,44,4>": "Dopant Flow", "<14,44,5>": "HCL Flow", "<14,44,6>": "Bake Time", "<14,44,7>": "H2 Flow", "<14,44,8>": "TCS Flow", "<14,44,9>": "DCS Flow", "<14,44,10>": "Aux 1 Flow", "<14,44,11>": "Aux 2 Flow", "<14,44,12>": "F Offset", "<14,44,13>": "S Offset", "<14,44,14>": "R Offset", "<14,44,15>": "Susc Etch", "<14,44,16>": "Etch 1", "<14,44,17>": "Etch 2", "<14,44,18>": "Etch 3", "<14,44,19>": "Unload Temp" }, "<14,45>": "", "<14,46>": "", "<14,47>": "", "<14,48>": "", "<14,49>": "", "<14,50>": "", "<14,51>": { "<14,51,1>": "", "<14,51,2>": "", "<14,51,3>": "", "<14,51,4>": "", "<14,51,5>": "", "<14,51,6>": "", "<14,51,7>": "", "<14,51,8>": "", "<14,51,9>": "", "<14,51,10>": "", "<14,51,11>": "", "<14,51,12>": "", "<14,51,13>": "", "<14,51,14>": "", "<14,51,15>": "", "<14,51,16>": "", "<14,51,17>": "", "<14,51,18>": "", "<14,51,19>": "" }, "<14,52>": "", "<14,53>": "", "<14,54>": "", "<14,55>": "", "<14,56>": "", "<14,57>": "", "<14,58>": "", "<14,59>": "", "<14,60>": { "<14,60,1>": "18", "<14,60,2>": "18", "<14,60,3>": "18", "<14,60,4>": "18", "<14,60,5>": "18", "<14,60,6>": "18", "<14,60,7>": "18", "<14,60,8>": "18", "<14,60,9>": "18", "<14,60,10>": "18", "<14,60,11>": "18", "<14,60,12>": "18", "<14,60,13>": "18", "<14,60,14>": "18", "<14,60,15>": "18", "<14,60,16>": "18", "<14,60,17>": "18", "<14,60,18>": "18", "<14,60,19>": "18" } }, "<15>": { "<15,1>": "LBL_WINDOW", "<15,2>": "", "<15,3>": "STATIC", "<15,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<15,5>": "675", "<15,6>": "8", "<15,7>": "186", "<15,8>": "30", "<15,9>": "Tool Parameters", "<15,10>": { "<15,10,1>": "0x56000001", "<15,10,2>": "0x0" }, "<15,11>": { "<15,11,1>": "0x0", "<15,11,2>": "0x80000000" }, "<15,12>": "15", "<15,13>": "-1", "<15,14>": "8388608", "<15,15>": { "<15,15,1>": { "<15,15,1,1>": "Segoe UI", "<15,15,1,2>": "-24", "<15,15,1,3>": "400", "<15,15,1,4>": "0", "<15,15,1,5>": "0", "<15,15,1,6>": "0", "<15,15,1,7>": "0", "<15,15,1,8>": "34", "<15,15,1,9>": "0", "<15,15,1,10>": "3", "<15,15,1,11>": "2", "<15,15,1,12>": "1", "<15,15,1,13>": "0", "<15,15,1,14>": "0" } }, "<15,16>": "", "<15,17>": "", "<15,18>": "", "<15,19>": "", "<15,20>": "", "<15,21>": "", "<15,22>": "", "<15,23>": "", "<15,24>": "", "<15,25>": "0", "<15,26>": "0", "<15,27>": "", "<15,28>": "<>", "<15,29>": "<>", "<15,30>": "<>", "<15,31>": "0", "<15,32>": { "<15,32,1>": "0x7fffe", "<15,32,2>": "0xf0012808" }, "<15,33>": "", "<15,34>": "", "<15,35>": "", "<15,36>": "", "<15,37>": "", "<15,38>": "", "<15,39>": "", "<15,40>": "", "<15,41>": "", "<15,42>": "", "<15,43>": "", "<15,44>": "", "<15,45>": "", "<15,46>": "", "<15,47>": "", "<15,48>": "", "<15,49>": "", "<15,50>": "", "<15,51>": "", "<15,52>": "" }, "<16>": { "<16,1>": "OLE_PIC_RECIPE_DIVIDER", "<16,2>": "", "<16,3>": "OLECONTROL.SRP.Picture.1", "<16,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<16,5>": "16", "<16,6>": "123", "<16,7>": "-15", "<16,8>": "14", "<16,9>": "SRP.Picture.1", "<16,10>": { "<16,10,1>": "0x56000000", "<16,10,2>": "0x0" }, "<16,11>": { "<16,11,1>": "0x4000", "<16,11,2>": "0x80000000" }, "<16,12>": "16", "<16,13>": "16053492", "<16,14>": "0", "<16,15>": { "<16,15,1>": { "<16,15,1,1>": "Segoe UI", "<16,15,1,2>": "-12", "<16,15,1,3>": "400", "<16,15,1,4>": "0", "<16,15,1,5>": "0", "<16,15,1,6>": "0", "<16,15,1,7>": "0", "<16,15,1,8>": "34", "<16,15,1,9>": "0", "<16,15,1,10>": "3", "<16,15,1,11>": "2", "<16,15,1,12>": "1", "<16,15,1,13>": "0", "<16,15,1,14>": "0" } }, "<16,16>": "", "<16,17>": "", "<16,18>": "", "<16,19>": "", "<16,20>": "", "<16,21>": "", "<16,22>": "", "<16,23>": "", "<16,24>": "", "<16,25>": "0", "<16,26>": "0", "<16,27>": "", "<16,28>": "<>", "<16,29>": "<>", "<16,30>": "<>", "<16,31>": "0", "<16,32>": { "<16,32,1>": "0x7fffe", "<16,32,2>": "0xf0014400" }, "<16,33>": "", "<16,34>": "", "<16,35>": "", "<16,36>": "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", "<16,37>": "" }, "<17>": { "<17,1>": "OLECONTROL_2", "<17,2>": "", "<17,3>": "OLECONTROL.SRP.Picture.1", "<17,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<17,5>": "16", "<17,6>": "253", "<17,7>": "-15", "<17,8>": "14", "<17,9>": "SRP.Picture.1", "<17,10>": { "<17,10,1>": "0x56000000", "<17,10,2>": "0x0" }, "<17,11>": { "<17,11,1>": "0x4000", "<17,11,2>": "0x80000000" }, "<17,12>": "17", "<17,13>": "16053492", "<17,14>": "0", "<17,15>": { "<17,15,1>": { "<17,15,1,1>": "Segoe UI", "<17,15,1,2>": "-12", "<17,15,1,3>": "400", "<17,15,1,4>": "0", "<17,15,1,5>": "0", "<17,15,1,6>": "0", "<17,15,1,7>": "0", "<17,15,1,8>": "34", "<17,15,1,9>": "0", "<17,15,1,10>": "3", "<17,15,1,11>": "2", "<17,15,1,12>": "1", "<17,15,1,13>": "0", "<17,15,1,14>": "0" } }, "<17,16>": "", "<17,17>": "", "<17,18>": "", "<17,19>": "", "<17,20>": "", "<17,21>": "", "<17,22>": "", "<17,23>": "", "<17,24>": "", "<17,25>": "0", "<17,26>": "0", "<17,27>": "", "<17,28>": "<>", "<17,29>": "<>", "<17,30>": "<>", "<17,31>": "0", "<17,32>": { "<17,32,1>": "0x7fffe", "<17,32,2>": "0xf0014400" }, "<17,33>": "", "<17,34>": "", "<17,35>": "", "<17,36>": "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", "<17,37>": "" }, "<18>": { "<18,1>": "BTN_SET_CURR_RUN_PARMS", "<18,2>": "", "<18,3>": "PUSHBUTTON", "<18,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<18,5>": "37", "<18,6>": "380", "<18,7>": "165", "<18,8>": "21", "<18,9>": "Set Run Parameters", "<18,10>": { "<18,10,1>": "0x46002000", "<18,10,2>": "0x0" }, "<18,11>": { "<18,11,1>": "0x108", "<18,11,2>": "0x80000000" }, "<18,12>": "18", "<18,13>": "-2", "<18,14>": "0", "<18,15>": { "<18,15,1>": { "<18,15,1,1>": "Tahoma", "<18,15,1,2>": "-11", "<18,15,1,3>": "400", "<18,15,1,4>": "0", "<18,15,1,5>": "0", "<18,15,1,6>": "0", "<18,15,1,7>": "0", "<18,15,1,8>": "34", "<18,15,1,9>": "0", "<18,15,1,10>": "3", "<18,15,1,11>": "2", "<18,15,1,12>": "1", "<18,15,1,13>": "0", "<18,15,1,14>": "0" } }, "<18,16>": "", "<18,17>": "", "<18,18>": { "<18,18,1>": { "<18,18,1,1>": "R", "<18,18,1,2>": "EXECUTE", "<18,18,1,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<18,18,1,4>": { "<18,18,1,4,1>": "@SELF", "<18,18,1,4,2>": "@EVENT", "<18,18,1,4,3>": "@PARAM1", "<18,18,1,4,4>": "@PARAM2", "<18,18,1,4,5>": "@PARAM3", "<18,18,1,4,6>": "@PARAM4", "<18,18,1,4,7>": "@PARAM5", "<18,18,1,4,8>": "@PARAM6" }, "<18,18,1,5>": "", "<18,18,1,6>": "" }, "<18,18,2>": "" }, "<18,19>": { "<18,19,1>": "CLICK", "<18,19,2>": "" }, "<18,20>": "", "<18,21>": "", "<18,22>": "", "<18,23>": "", "<18,24>": "", "<18,25>": "0", "<18,26>": "0", "<18,27>": "", "<18,28>": "<>", "<18,29>": "<>", "<18,30>": "<>", "<18,31>": "0", "<18,32>": { "<18,32,1>": "0x7fffe", "<18,32,2>": "0xf0016008" }, "<18,33>": "", "<18,34>": "", "<18,35>": "", "<18,36>": "", "<18,37>": "", "<18,38>": "", "<18,39>": "", "<18,40>": "1", "<18,41>": "", "<18,42>": "", "<18,43>": "", "<18,44>": "", "<18,45>": "", "<18,46>": "", "<18,47>": "", "<18,48>": "", "<18,49>": "", "<18,50>": "", "<18,51>": "" }, "<19>": { "<19,1>": "OLE_POPUP", "<19,2>": "", "<19,3>": "OLECONTROL.SRP.Popup.1", "<19,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<19,5>": "829", "<19,6>": "54", "<19,7>": "116", "<19,8>": "28", "<19,9>": "SRP.Popup.1", "<19,10>": { "<19,10,1>": "0x46000000", "<19,10,2>": "0x0" }, "<19,11>": { "<19,11,1>": "0x0", "<19,11,2>": "0x80000000" }, "<19,12>": "19", "<19,13>": "16053492", "<19,14>": "0", "<19,15>": { "<19,15,1>": { "<19,15,1,1>": "Segoe UI", "<19,15,1,2>": "-12", "<19,15,1,3>": "400", "<19,15,1,4>": "0", "<19,15,1,5>": "0", "<19,15,1,6>": "0", "<19,15,1,7>": "0", "<19,15,1,8>": "34", "<19,15,1,9>": "0", "<19,15,1,10>": "3", "<19,15,1,11>": "2", "<19,15,1,12>": "1", "<19,15,1,13>": "0", "<19,15,1,14>": "0" } }, "<19,16>": "", "<19,17>": "", "<19,18>": "", "<19,19>": "", "<19,20>": "", "<19,21>": "", "<19,22>": "", "<19,23>": "", "<19,24>": "", "<19,25>": "0", "<19,26>": "0", "<19,27>": "", "<19,28>": "<>", "<19,29>": "<>", "<19,30>": "<>", "<19,31>": "0", "<19,32>": { "<19,32,1>": "0x7fffe", "<19,32,2>": "0xf0014800" }, "<19,33>": "", "<19,34>": "", "<19,35>": "", "<19,36>": "", "<19,37>": "" }, "<20>": { "<20,1>": "OLE_SUBCLASS", "<20,2>": "", "<20,3>": "OLECONTROL.SRP.Subclass.1", "<20,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<20,5>": "829", "<20,6>": "91", "<20,7>": "116", "<20,8>": "28", "<20,9>": "SRP.Subclass.1", "<20,10>": { "<20,10,1>": "0x46000000", "<20,10,2>": "0x0" }, "<20,11>": { "<20,11,1>": "0x0", "<20,11,2>": "0x80000000" }, "<20,12>": "20", "<20,13>": "16053492", "<20,14>": "0", "<20,15>": { "<20,15,1>": { "<20,15,1,1>": "Segoe UI", "<20,15,1,2>": "-12", "<20,15,1,3>": "400", "<20,15,1,4>": "0", "<20,15,1,5>": "0", "<20,15,1,6>": "0", "<20,15,1,7>": "0", "<20,15,1,8>": "34", "<20,15,1,9>": "0", "<20,15,1,10>": "3", "<20,15,1,11>": "2", "<20,15,1,12>": "1", "<20,15,1,13>": "0", "<20,15,1,14>": "0" } }, "<20,16>": "", "<20,17>": "", "<20,18>": "", "<20,19>": "", "<20,20>": "", "<20,21>": "", "<20,22>": "", "<20,23>": "", "<20,24>": "", "<20,25>": "0", "<20,26>": "0", "<20,27>": "", "<20,28>": "<>", "<20,29>": "<>", "<20,30>": "<>", "<20,31>": "0", "<20,32>": { "<20,32,1>": "0x7fffe", "<20,32,2>": "0xf0014800" }, "<20,33>": "", "<20,34>": "", "<20,35>": "", "<20,36>": "", "<20,37>": "" }, "<21>": { "<21,1>": "TEXT_8", "<21,2>": "", "<21,3>": "STATIC", "<21,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<21,5>": "134", "<21,6>": "90", "<21,7>": "73", "<21,8>": "15", "<21,9>": "Recipe Name:", "<21,10>": { "<21,10,1>": "0x56000002", "<21,10,2>": "0x0" }, "<21,11>": { "<21,11,1>": "0x0", "<21,11,2>": "0x80000000" }, "<21,12>": "21", "<21,13>": "-1", "<21,14>": "0", "<21,15>": { "<21,15,1>": { "<21,15,1,1>": "Segoe UI", "<21,15,1,2>": "-12", "<21,15,1,3>": "400", "<21,15,1,4>": "0", "<21,15,1,5>": "0", "<21,15,1,6>": "0", "<21,15,1,7>": "0", "<21,15,1,8>": "34", "<21,15,1,9>": "0", "<21,15,1,10>": "3", "<21,15,1,11>": "2", "<21,15,1,12>": "1", "<21,15,1,13>": "0", "<21,15,1,14>": "0" } }, "<21,16>": "", "<21,17>": "", "<21,18>": "", "<21,19>": "", "<21,20>": "", "<21,21>": "", "<21,22>": "", "<21,23>": "", "<21,24>": "", "<21,25>": "0", "<21,26>": "0", "<21,27>": "", "<21,28>": "<>", "<21,29>": "<>", "<21,30>": "<>", "<21,31>": "0", "<21,32>": { "<21,32,1>": "0x7fffe", "<21,32,2>": "0xc0016908" }, "<21,33>": "", "<21,34>": "", "<21,35>": "", "<21,36>": "", "<21,37>": "", "<21,38>": "", "<21,39>": "", "<21,40>": "", "<21,41>": "", "<21,42>": "", "<21,43>": "", "<21,44>": "", "<21,45>": "", "<21,46>": "", "<21,47>": "", "<21,48>": "", "<21,49>": "", "<21,50>": "", "<21,51>": "", "<21,52>": "" }, "<22>": { "<22,1>": "EDL_RECIPE", "<22,2>": "", "<22,3>": "EDITFIELD", "<22,4>": "NDW_TOOL_PARMS", "<22,5>": "64", "<22,6>": "86", "<22,7>": "51", "<22,8>": "21", "<22,9>": "", "<22,10>": { "<22,10,1>": "0x56000080", "<22,10,2>": "0x200" }, "<22,11>": { "<22,11,1>": "0x80000", "<22,11,2>": "0x80000000" }, "<22,12>": "22", "<22,13>": "12639424", "<22,14>": "0", "<22,15>": { "<22,15,1>": { "<22,15,1,1>": "Tahoma", "<22,15,1,2>": "-11", "<22,15,1,3>": "400", "<22,15,1,4>": "0", "<22,15,1,5>": "0", "<22,15,1,6>": "0", "<22,15,1,7>": "0", "<22,15,1,8>": "34", "<22,15,1,9>": "0", "<22,15,1,10>": "3", "<22,15,1,11>": "2", "<22,15,1,12>": "1", "<22,15,1,13>": "0", "<22,15,1,14>": "0" } }, "<22,16>": "", "<22,17>": "", "<22,18>": { "<22,18,1>": { "<22,18,1,1>": "R", "<22,18,1,2>": "EXECUTE", "<22,18,1,3>": "SYSPROG*STPROCEXE**OBJ_CALL_EVENT", "<22,18,1,4>": { "<22,18,1,4,1>": "@SELF", "<22,18,1,4,2>": "@EVENT", "<22,18,1,4,3>": "@PARAM1", "<22,18,1,4,4>": "@PARAM2", "<22,18,1,4,5>": "@PARAM3", "<22,18,1,4,6>": "@PARAM4", "<22,18,1,4,7>": "@PARAM5", "<22,18,1,4,8>": "@PARAM6" }, "<22,18,1,5>": "", "<22,18,1,6>": "" }, "<22,18,2>": "" }, "<22,19>": { "<22,19,1>": "CALCULATE", "<22,19,2>": "" }, "<22,20>": "", "<22,21>": "", "<22,22>": "", "<22,23>": "", "<22,24>": "", "<22,25>": "0", "<22,26>": "0", "<22,27>": "", "<22,28>": "<>", "<22,29>": "<>", "<22,30>": "<>", "<22,31>": "0", "<22,32>": { "<22,32,1>": "0x7fffe", "<22,32,2>": "0xc0014908" }, "<22,33>": "", "<22,34>": "", "<22,35>": "", "<22,36>": "", "<22,37>": "", "<22,38>": "", "<22,39>": "", "<22,40>": "", "<22,41>": "", "<22,42>": "", "<22,43>": "", "<22,44>": "", "<22,45>": "", "<22,46>": "", "<22,47>": "", "<22,48>": "", "<22,49>": "", "<22,50>": "", "<22,51>": "", "<22,52>": "" }, "<23>": "" }, "record4": { "<1>": "", "<2>": { "<2,1>": "", "<2,2>": "", "<2,3>": "", "<2,4>": "0" } } } }