added LSL2 stored procedures
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Infineon\StieberD
433
LSL2/STPROC/PRINT_RDS_INSTRUCTION.txt
Normal file
433
LSL2/STPROC/PRINT_RDS_INSTRUCTION.txt
Normal file
@ -0,0 +1,433 @@
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COMPILE SUBROUTINE Print_RDS_Instruction(RDSNo)
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DECLARE FUNCTION Set_Printer, Get_Printer, Printer_Select, obj_Prod_Spec
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$INSERT OIPRINT_EQUATES
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$INSERT MSG_EQUATES
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$INSERT QUOTE_SPEC_EQU
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$INSERT PROD_SPEC_EQUATES
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$INSERT RDS_EQU
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$INSERT RECIPE_EQU
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$INSERT RDS_LAYER_EQUATES
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$INSERT RDS_TEST_EQUATES
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$INSERT PRS_LAYER_EQU
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$INSERT APPCOLORS
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EQU FONT_NAME$ TO 1
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EQU FONT_SIZE$ TO 2
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EQU FONT_JUST$ TO 3
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EQU FONT_BOLD$ TO 4
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EQU FONT_ITALIC$ TO 5
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EQU FONT_UNDERLINE$ TO 6
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IF RDSNo = '' THEN RETURN
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RDSRec = XLATE('RDS',RDSNo,'','X')
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PSNo = RDSRec<RDS_PROD_SPEC_ID$>
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WONo = RDSRec<RDS_WO$>
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PSNRec = XLATE( 'PROD_SPEC', PSNo, '', 'X' )
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SpecSubInfo = PSNRec<prod_spec_spec_substrate$>
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SpecialInst = SpecSubInfo<1,QSSubInstructions$>
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Orientation = SpecSubInfo<1,QSSubOrientation$>
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ProdType = SpecSubInfo<1,QSSubType$>
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SpecAddtl = PSNRec<prod_spec_spec_addtl$>
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ProveinInst = SpecAddtl<1,QSAddProveInInst$>
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SWAP @TM WITH CRLF$ IN SpecialInst
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SWAP @TM WITH CRLF$ IN ProveInInst
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PSNLayerProps = obj_Prod_Spec('GetLayerProp',PSNo)
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LSIDs = ''
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Dopants = ''
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colData = ''
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FOR I = 1 TO COUNT(PSNLayerProps,@RM) + (PSNLayerProps NE '')
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LayerSet = FIELD(PSNLayerProps,@RM,I)
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LSIDs<I> = LayerSet<1>
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LayerSet = FIELD(LayerSet,@FM,2,99)
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Dopants<1,I> = LayerSet<PRS_LAYER_DOPANT$>
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IF I = 1 THEN
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RecipeNo = LayerSet<PRS_LAYER_RECIPE$>
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RecipeRec = XLATE('RECIPE',RecipeNo,'','X')
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RecipeName = RecipeRec<RECIPE_RECIPE_NAME$>
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CapGas = RecipeRec<RECIPE_CAP_BURST_GASES$>
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EpiGas = RecipeRec<RECIPE_EPI_GASES$>
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BEGIN CASE
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CASE EpiGas = 'SiH4' ; EpiGasName = 'Silane'
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CASE EpiGas = 'SiH2CL2' ; EpiGasName = 'DiChloroSilane (DCS)'
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CASE EpiGas = 'SiH1HCL3' ; EpiGasName = 'TriChloroSilane (TCS)'
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CASE 1 ; EpiGasName = ''
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END CASE
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BEGIN CASE
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CASE CapGas = 'SiH4' ; CapGasName = 'Silane'
|
||||
CASE CapGas = 'SiH2CL2' ; CapGasName = 'DiChloroSilane (DCS)'
|
||||
CASE CapGas = 'SiH1HCL3' ; CapGasName = 'TriChloroSilane (TCS)'
|
||||
CASE 1 ; CapGasName = ''
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END CASE
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colData<I,1> = PSNo
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colData<I,2> = Recipename
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colData<I,3> = EpiGas
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colData<I,4> = CapGas
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colData<I,5> = Orientation
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colData<I,6> = ProdType
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END
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LSIDs<I> = RDSNo:'*':LSIDs<I>
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NEXT I
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PrinterID = ''
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PrintPath = Printer_Select(PrinterID,1) ;* Get Default printer path
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Stat = Set_Printer( 'INIT', '', '', .25:@FM:.75:@FM:.25:@FM:.75, 0 ,'' ,PrintPath) ;* No Preview
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font = 'Arial' ;* Font basics
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font<2> = 10
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font<4> = 0
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stat = Set_Printer('FONTHEADFOOT', font)
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stat = Set_Printer('FOOTER',"Page 'P'":@VM:'Instructions for WO No. ':WONo:@VM:"'T' 'D'")
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Font = 'Arial'
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Font<FONT_SIZE$> = 18
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Font<FONT_JUST$> = 'C'
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Font<FONT_BOLD$> = 1 ;* Bold
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Font<FONT_UNDERLINE$> = 1 ;* Underlline
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Stat = set_printer( 'FONT', Font )
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Void = set_printer( 'TEXT', 'Instructions for WO No. ':WONo )
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stat = Set_Printer('TEXT') ;* blank line
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Font<FONT_JUST$> = 'L'
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Font<FONT_SIZE$> = 10
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Font<FONT_UNDERLINE$> = 0
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colHeader = 'Prod Spec No' ; colFormat = '^2520'
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colHeader<1,2> = 'Recipe' ; colFormat<1,2> = '^1800'
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colHeader<1,3> = 'Epi Gas' ; colFormat<1,3> = '^1800'
|
||||
colHeader<1,4> = 'Cap Gas' ; colFormat<1,4> = '^1800'
|
||||
colHeader<1,5> = 'Prod Orientation' ; colFormat<1,5> = '^1800'
|
||||
colHeader<1,6> = 'Prod Type' ; colFormat<1,6> = '^1800'
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||||
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||||
font<FONT_SIZE$> = 10 ;* 10 point
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font<FONT_BOLD$> = 1 ;* Bold
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stat = Set_Printer('FONT',font)
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||||
stat = Set_Printer('ADDTABLE', colFormat,colHeader,'',LTGREY$,'',0,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
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||||
Font<FONT_SIZE$> = 9
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||||
Font<FONT_BOLD$> = 0
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||||
Void = Set_Printer( 'FONT', Font )
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||||
stat = Set_Printer('ADDTABLE',colFormat,'',colData,LTGREY$,'',1,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
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||||
stat = Set_Printer('TEXT')
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||||
colHeader = 'LS':CRLF$:'Id':@VM ; colFormat = '^540':@VM
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||||
colHeader<1,2> = 'Dopant':@VM ; colFormat<1,2> = '^1260':@VM
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||||
colHeader<1,3> = 'Measure':@VM ; colFormat<1,3> = '<1440':@VM
|
||||
colHeader<1,4> = 'Minimum':@VM ; colFormat<1,4> = '^1260':@VM
|
||||
colHeader<1,5> = 'Target':@VM ; colFormat<1,5> = '^1260':@VM
|
||||
colHeader<1,6> = 'Maximum':@VM ; colFormat<1,6> = '^1260':@VM
|
||||
colHeader<1,7> = 'Tool':@VM ; colFormat<1,7> = '<720':@VM
|
||||
colHeader<1,8> = 'Monitor Type':@VM ; colFormat<1,8> = '<990':@VM
|
||||
colHeader<1,9> = 'Recipe':@VM ; colFormat<1,9> = '<1260':@VM
|
||||
colHeader<1,10> = 'Frq':@VM ; colFormat<1,10> = '^540':@VM
|
||||
colHeader<1,11> = 'ProveIn Type' ; colFormat<1,11> = '<990'
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||||
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||||
LayerCnt = COUNT(LSIDs,@FM) + (LSIDs NE '')
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colData = ''
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FOR I = 1 TO LayerCnt
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LSKey = LSIDs<I>
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LayerRec = XLATE('RDS_LAYER',LSKey,'','X')
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FirstTestKey = LayerRec<RDS_LAYER_RDS_TEST_KEYS$,1>
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TestRec = XLATE('RDS_TEST',FirstTestKey,'','X')
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||||
ThickMin = TestRec<RDS_TEST_SPEC_THICK_MIN$>
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||||
ThickTarget = TestRec<RDS_TEST_SPEC_THICK_TARGET$>
|
||||
ThickMax = TestRec<RDS_TEST_SPEC_THICK_MAX$>
|
||||
ThickUnits = TestRec<RDS_TEST_SPEC_THICK_UNITS$>
|
||||
ThickMTool = TestRec<RDS_TEST_SPEC_THICK_MTOOL$>
|
||||
ThickMType = TestRec<RDS_TEST_SPEC_THICK_MTYPE$>
|
||||
ThickMPIType = TestRec<RDS_TEST_SPEC_THICK_MPROVEIN$>
|
||||
ThickMRecipe = TestRec<RDS_TEST_SPEC_THICK_MRECIPE$>
|
||||
ThickMFreq = TestRec<RDS_TEST_SPEC_THICK_MFREQ$>
|
||||
|
||||
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||||
ResMin = TestRec<RDS_TEST_SPEC_RES_MIN$>
|
||||
ResTarget = TestRec<RDS_TEST_SPEC_RES_TARGET$>
|
||||
ResMax = TestRec<RDS_TEST_SPEC_RES_MAX$>
|
||||
ResUnits = TestRec<RDS_TEST_SPEC_RES_UNITS$>
|
||||
ResMTool = TestRec<RDS_TEST_SPEC_RES_MTOOL$>
|
||||
ResMType = TestRec<RDS_TEST_SPEC_RES_MTYPE$>
|
||||
ResMPIType = TestRec<RDS_TEST_SPEC_RES_MPROVEIN$>
|
||||
ResMRecipe = TestRec<RDS_TEST_SPEC_RES_MRECIPE$>
|
||||
ResMFreq = TestRec<RDS_TEST_SPEC_RES_MFREQ$>
|
||||
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||||
IF I = 1 THEN FirstResUnits = ResUnits
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||||
ConMin = TestRec<RDS_TEST_SPEC_CON_MIN$>
|
||||
ConTarget = TestRec<RDS_TEST_SPEC_CON_TARGET$>
|
||||
ConMax = TestRec<RDS_TEST_SPEC_CON_MAX$>
|
||||
ConUnits = TestRec<RDS_TEST_SPEC_CON_UNITS$>
|
||||
ConMTool = TestRec<RDS_TEST_SPEC_CON_MTOOL$>
|
||||
ConMType = TestRec<RDS_TEST_SPEC_CON_MTYPE$>
|
||||
ConMPIType = TestRec<RDS_TEST_SPEC_CON_MPROVEIN$>
|
||||
ConMRecipe = TestRec<RDS_TEST_SPEC_CON_MRECIPE$>
|
||||
ConMFreq = TestRec<RDS_TEST_SPEC_CON_MFREQ$>
|
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||||
colData<I,1> = FIELD(LSKey,'*',2):CRLF$
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||||
colData<I,2> = Dopants<1,I>:CRLF$
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||||
colData<I,3> = 'Thickness':CRLF$:'Resistivity'
|
||||
colData<I,4> = OCONV(ThickMin,'MD2'):ThickUnits:CRLF$:OCONV(ResMin,'MD3'):ResUnits
|
||||
colData<I,5> = OCONV(ThickTarget,'MD2'):ThickUnits:CRLF$:OCONV(ResTarget,'MD3'):ResUnits
|
||||
colData<I,6> = OCONV(ThickMax,'MD2'):ThickUnits:CRLF$:OCONV(ResMax,'MD3'):ResUnits
|
||||
colData<I,7> = ThickMTool:CRLF$:ResMTool
|
||||
colData<I,8> = ThickMType:CRLF$:ResMType
|
||||
colData<I,9> = ThickMRecipe:CRLF$:ResMRecipe
|
||||
colData<I,10> = ThickMFreq:CRLF$:ResMFreq
|
||||
colData<I,11> = ThickMPIType:CRLF$:ResMPIType
|
||||
|
||||
IF ConTarget NE '' THEN
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||||
colData<I,1> = colData<I,1>:CRLF$
|
||||
colData<I,2> = colData<I,2>:CRLF$
|
||||
colData<I,3> = colData<I,3>:CRLF$:'Concentration'
|
||||
colData<I,4> = colData<I,4>:CRLF$:OCONV(ConMin,'MS21'):ConUnits
|
||||
colData<I,5> = colData<I,5>:CRLF$:OCONV(ConTarget,'MS21'):ConUnits
|
||||
colData<I,6> = colData<I,6>:CRLF$:OCONV(ConMax,'MS21'):ConUnits
|
||||
colData<I,7> = colData<I,7>:CRLF$:ConMTool
|
||||
colData<I,8> = colData<I,8>:CRLF$:ConMType
|
||||
colData<I,9> = colData<I,9>:CRLF$:ConMRecipe
|
||||
colData<I,10> = colData<I,10>:CRLF$:ConMFreq
|
||||
colData<I,11> = colData<I,11>:CRLF$:ConMPIType
|
||||
END ELSE
|
||||
colData<I,1> = colData<I,1>:CRLF$
|
||||
colData<I,2> = colData<I,2>:CRLF$
|
||||
colData<I,3> = colData<I,3>:CRLF$
|
||||
colData<I,4> = colData<I,4>:CRLF$
|
||||
colData<I,5> = colData<I,5>:CRLF$
|
||||
colData<I,6> = colData<I,6>:CRLF$
|
||||
colData<I,7> = colData<I,7>:CRLF$
|
||||
colData<I,8> = colData<I,8>:CRLF$
|
||||
colData<I,9> = colData<I,9>:CRLF$
|
||||
colData<I,10> = colData<I,10>:CRLF$
|
||||
colData<I,11> = colData<I,11>:CRLF$
|
||||
END
|
||||
|
||||
NEXT I
|
||||
|
||||
font<FONT_NAME$> = 'MS LineDraw'
|
||||
font<FONT_SIZE$> = 8 ;* 10 point
|
||||
font<FONT_BOLD$> = 1 ;* Bold
|
||||
stat = Set_Printer('FONT',font)
|
||||
|
||||
stat = Set_Printer('ADDTABLE', colFormat,colHeader,'',LTGREY$,'',0,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
|
||||
|
||||
Font<FONT_BOLD$> = 0
|
||||
Void = Set_Printer( 'FONT', Font )
|
||||
|
||||
stat = Set_Printer('ADDTABLE',colFormat,'',colData,LTGREY$,'',1,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
|
||||
|
||||
stat = Set_Printer('TEXT')
|
||||
|
||||
font<FONT_BOLD$> = 0 ;* Bold off
|
||||
stat = Set_Printer('FONT',font)
|
||||
|
||||
Dopant = XLATE('PROD_SPEC',PSNo,'DOPANT_ALL','X')
|
||||
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||||
Font<FONT_NAME$> = 'Arial'
|
||||
Font<FONT_SIZE$> = 14
|
||||
Font<FONT_JUST$> = 'L'
|
||||
Font<FONT_UNDERLINE$> = 0
|
||||
|
||||
Void = set_printer( 'TEXT', '' )
|
||||
Void = set_printer( 'FONT', Font )
|
||||
Void = set_printer( 'TEXT', 'Special Instructions:' )
|
||||
Table = ''
|
||||
Table<-1> = SpecialInst
|
||||
TableColInfo = '<+11520'
|
||||
|
||||
Font<2> = 12
|
||||
Font<4> = 0
|
||||
Void = set_printer( 'FONT', Font )
|
||||
x = Set_Printer("ADDTABLE", TableColInfo, '', Table, '', '', 0, TB_ALL)
|
||||
|
||||
Void = set_printer( 'TEXT', '' )
|
||||
Font<2> = 14
|
||||
Font<3> = 'L'
|
||||
Font<4> = 1
|
||||
Font<6> = 0
|
||||
Void = set_printer( 'TEXT', '' )
|
||||
Void = set_printer( 'FONT', Font )
|
||||
Void = set_printer( 'TEXT', 'Prove-In Instructions:' )
|
||||
Table = ''
|
||||
Table<-1> = ProveinInst
|
||||
TableColInfo = '<+11520'
|
||||
|
||||
Font<2> = 12
|
||||
Font<4> = 0
|
||||
Void = set_printer( 'FONT', Font )
|
||||
x = Set_Printer("ADDTABLE", TableColInfo, '', Table, '', '', 0, TB_ALL)
|
||||
|
||||
Void = set_printer( 'TEXT', '' )
|
||||
Font<2> = 14
|
||||
Font<3> = 'L'
|
||||
Font<4> = 1
|
||||
Void = set_printer( 'FONT', Font )
|
||||
Void = set_printer( 'TEXT', 'Recipe Limits' )
|
||||
|
||||
Font<2> = 12
|
||||
Font<4> = 0
|
||||
Void = set_printer( 'FONT', Font )
|
||||
|
||||
|
||||
colHeader = 'LS Id' ; colFormat = '^1080'
|
||||
colHeader<1,2> = 'Deposit' ; colFormat<1,2> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,3> = 'Diluent' ; colFormat<1,3> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,4> = 'Dopant Flow' ; colFormat<1,4> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,5> = 'HCL Flow' ; colFormat<1,5> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,6> = 'Bake Time' ; colFormat<1,6> = '^+1440'
|
||||
|
||||
colData = ''
|
||||
|
||||
LayerCnt = COUNT(LSIDs,@FM) + (LSIDs NE '')
|
||||
|
||||
FOR I = 1 TO LayerCnt
|
||||
LSKey = LSIDs<I>
|
||||
colData<I,1> = FIELD(LSKey,'*',2)
|
||||
colData<I,2> = XLATE('RDS_LAYER',LSKey,'EPI_TIME_LIMITS','X')
|
||||
colData<I,3> = XLATE('RDS_LAYER',LSKey,'DILUENT_LIMITS','X')
|
||||
colData<I,4> = XLATE('RDS_LAYER',LSKey,'DOPANT_FLOW_LIMITS','X')
|
||||
colData<I,5> = XLATE('RDS_LAYER',LSKey,'HCL_FLOW_LIMITS','X')
|
||||
colData<I,6> = XLATE('RDS_LAYER',LSKey,'BAKE_TIME_LIMITS','X')
|
||||
|
||||
NEXT I
|
||||
|
||||
font<FONT_SIZE$> = 8 ;* 10 point
|
||||
font<FONT_BOLD$> = 1 ;* Bold
|
||||
stat = Set_Printer('FONT',font)
|
||||
|
||||
stat = Set_Printer('CALCTABLE',colFormat:@FM:colData)
|
||||
TableSize = Get_Printer('CALCTABLE')
|
||||
TableHeight = TableSize<2>
|
||||
Test = Get_Printer('POS')<2>
|
||||
|
||||
IF Get_Printer('POS')<2> + TableHeight > 7.0 THEN
|
||||
stat = Set_Printer('PAGEBREAK')
|
||||
END
|
||||
|
||||
stat = Set_Printer('ADDTABLE', colFormat,colHeader,'',LTGREY$,'',0,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
|
||||
|
||||
Font<FONT_SIZE$> = 8
|
||||
Font<FONT_BOLD$> = 0
|
||||
Void = Set_Printer( 'FONT', Font )
|
||||
|
||||
stat = Set_Printer('ADDTABLE',colFormat,'',colData,LTGREY$,'',1,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
|
||||
|
||||
colHeader = 'LS Id' ; colFormat = '^1080'
|
||||
colHeader<1,2> = 'H2 Flow' ; colFormat<1,2> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,3> = 'TCS Flow' ; colFormat<1,3> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,4> = 'DCS Flow' ; colFormat<1,4> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,5> = 'Aux 1 Flow' ; colFormat<1,5> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,6> = 'Aux 2 Flow' ; colFormat<1,6> = '^+1440'
|
||||
|
||||
colData = ''
|
||||
|
||||
LayerCnt = COUNT(LSIDs,@FM) + (LSIDs NE '')
|
||||
|
||||
FOR I = 1 TO LayerCnt
|
||||
LSKey = LSIDs<I>
|
||||
colData<I,1> = FIELD(LSKey,'*',2)
|
||||
colData<I,2> = XLATE('RDS_LAYER',LSKey,'EPI_H2_FLOW_LIMITS','X')
|
||||
colData<I,3> = XLATE('RDS_LAYER',LSKey,'TCS_FLOW_LIMITS','X')
|
||||
colData<I,4> = XLATE('RDS_LAYER',LSKey,'DCS_FLOW_LIMITS','X')
|
||||
colData<I,5> = XLATE('RDSLayer',LSKey,'AUX1_LIMITS','X')
|
||||
colData<I,6> = XLATE('RDSLayer',LSKey,'AUX2_LIMITS','X')
|
||||
NEXT I
|
||||
|
||||
font<FONT_SIZE$> = 8 ;* 10 point
|
||||
font<FONT_BOLD$> = 1 ;* Bold
|
||||
stat = Set_Printer('FONT',font)
|
||||
|
||||
stat = Set_Printer('CALCTABLE',colFormat:@FM:colData)
|
||||
TableSize = Get_Printer('CALCTABLE')
|
||||
TableHeight = TableSize<2>
|
||||
Test = Get_Printer('POS')<2>
|
||||
|
||||
IF Get_Printer('POS')<2> + TableHeight > 7.0 THEN
|
||||
stat = Set_Printer('PAGEBREAK')
|
||||
END
|
||||
|
||||
|
||||
stat = Set_Printer('ADDTABLE', colFormat,colHeader,'',LTGREY$,'',0,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
|
||||
|
||||
Font<FONT_SIZE$> = 8
|
||||
Font<FONT_BOLD$> = 0
|
||||
Void = Set_Printer( 'FONT', Font )
|
||||
|
||||
stat = Set_Printer('ADDTABLE',colFormat,'',colData,LTGREY$,'',1,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
|
||||
|
||||
colHeader = 'LS Id' ; colFormat = '^1080'
|
||||
colHeader<1,2> = 'F Offset' ; colFormat<1,2> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,3> = 'S Offset' ; colFormat<1,3> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,4> = 'R Offset' ; colFormat<1,4> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,5> = 'Etch 1' ; colFormat<1,5> = '^+1440'
|
||||
colHeader<1,6> = 'Etch 2' ; colFormat<1,6> = '^+1440'
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colHeader<1,7> = 'Etch 3' ; colFormat<1,7> = '^+1440'
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colData = ''
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LayerCnt = COUNT(LSIDs,@FM) + (LSIDs NE '')
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FOR I = 1 TO LayerCnt
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LSKey = LSIDs<I>
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colData<I,1> = FIELD(LSKey,'*',2)
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colData<I,2> = XLATE('RDSLayer',LSKey,'F_OFFSET_LIMITS','X')
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colData<I,3> = XLATE('RDSLayer',LSKey,'S_OFFSET_LIMITS','X')
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||||
colData<I,4> = XLATE('RDSLayer',LSKey,'R_OFFSET_LIMITS','X')
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||||
colData<I,5> = XLATE('RDSLayer',LSKey,'ETCH1_LIMITS','X')
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||||
colData<I,6> = XLATE('RDSLayer',LSKey,'ETCH2_LIMITS','X')
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colData<I,7> = XLATE('RDSLayer',LSKey,'ETCH3_LIMITS','X')
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NEXT I
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font<FONT_BOLD$> = 1 ;* Bold
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stat = Set_Printer('FONT',font)
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stat = Set_Printer('CALCTABLE',colFormat:@FM:colData)
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TableSize = Get_Printer('CALCTABLE')
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TableHeight = TableSize<2>
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Test = Get_Printer('POS')<2>
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IF Get_Printer('POS')<2> + TableHeight > 7.0 THEN
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stat = Set_Printer('PAGEBREAK')
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END
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stat = Set_Printer('ADDTABLE', colFormat,colHeader,'',LTGREY$,'',0,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
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Font<FONT_BOLD$> = 0
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Void = Set_Printer( 'FONT', Font )
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stat = Set_Printer('ADDTABLE',colFormat,'',colData,LTGREY$,'',1,TB_COLUMNS_TOP_BOTTOM)
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stat = set_printer( 'TERM' )
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RETURN 0
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